2022年第三代半导体行业发展现状及前景分析 三代半导体有望掀起底层材料端革命

1、什么是第三代半导体技术？

1.1 三代半导体衬底材料改变引领半导体新时代

半导体材料是半导体产业链上游中的重要组成部分。半导体材料分为制造材料 和封装材料，其中制造材料主要是制造硅晶圆半导体、砷化镓（GaAs）、碳化硅（SiC） 等化合物半导体的芯片过程中所需的各类材料，在集成电路、分立器件等半导体产 品生产制造中起到关键性的作用。半导体制造材料包括硅材料和砷化镓（GaAs）、碳 化硅（SiC）、氮化镓（GaN）等化合物半导体材料。

硅衬底占据主要市场，三代半导体有望掀起底层材料端革命。硅（Si）是目前技术 最成熟、使用范围最广、市场占比最大的衬底材料，近年来硅材料的潜力已经开发殆尽， 在高压、高频、高温领域以碳化硅和氮化镓为代表的第三代半导体衬底材料市场规模有 望迎来快速发展。

半导体衬底材料发展至今经历了三个阶段：

1）第一阶段（代表材料：Si，Ge）：20 世纪 50 年代开始，以硅（Si）、锗（Ge）为 代表的第一代半导体材料制成的二极管和晶体管取代了电子管，引发以集成电路为核心 的微电子产业的迅速发展，主要应用于低压、低频、低功率的部分功率器件、集成电路 中。硅基半导体材料是目前产量最大、应用最广的半导体材料，90%以上的半导体产品是 用硅基材料制作的。

2）第二阶段（代表材料：GaAs，InP）：20 世纪 90 年代开始，随着半导体产业的发 展，硅材料的物理瓶颈日益突出，以砷化镓（GaAs）、磷化铟（InP）、锑化铟（InSb）、 部分三元化合物半导体等为代表的第二代化合物半导体材料崭露头角。砷化镓材料的电 子迁移率约是硅的 6 倍，具有直接带隙，故其器件相对硅基器件具有高频、高速的光电 性能，因此被广泛应用于光电子和微电子领域，是制作半导体发光二极管和通信器件的 关键衬底材料。

3）第三阶段（代表材料：SiC、GaN）：近年来，以碳化硅（SiC）、氮化镓（GaN）、 氧化锌（ZnO）、金刚石、氮化铝（AlN）为代表的宽禁带（禁带宽度大于 2.2eV）第三代 半导体材料逐渐兴起，其介电常数、导热率及最高工作温度等等关键参数方面具有显著 优势，可以满足电力电子技术对高温、高功率、高压、高频及抗辐射等恶劣工作条件的 新要求，从而成为半导体材料领域最具前景的材料之一。目前，5G 通信、新能源汽车、 光伏等领域头部企业逐步开始使用第三代半导体，待成本下降后，第三代半导体有望实 现对硅基材料的全面替代。

就功率和频率两个维度而言，第一代半导体材料的代表硅，功率在 100Wz 左右，频 率只有大约 3GHz；第二代的代表砷化镓，功率不足 100W，但频率却能达到 100GHz。因 此前两代半导体材料更多是互为补充的关系。而第三代半导体的代表氮化镓和碳化硅， 功率可以在 1000W 以上，频率也可以接近 100GHz，优势非常明显，因此未来有可能是取 代前两代半导体材料的存在。

1.2 主流制备工艺：SiC 采用物理气相传输法，GaN 采用氢化 物气相外延法

1.2.1 SiC 制备工艺：PVT 优势显著，系商业化首选

PVT 成本低，系商业化主流路线。SiC 制备方法主要有三种：物理气相传输法（PVT）、 顶部籽晶溶液生长法（TSSG）及高温化学气相沉积法（HT-CVD）。顶部籽晶溶液生长法主要用于实验室生长较小尺寸晶体，而物理气相传输法与高温化学气相沉积法主要用于商 业生产。其中 PVT 法制备 SiC 所需设备简单且价格低，操作控制相对容易故为商业生产 主流方法。 PVT 原理：将高纯度碳粉与硅粉，按特定比例混合，形成高纯度 SiC 微粉与籽晶分 别放置生长炉内坩埚下部，顶部后，温度升高至 2000℃以上，通过控制坩埚下部温度略 高于顶部，形成温度差。SiC 微粉升华成气态 Si2C、SiC2、Si 等，后由于温度差在温度 较低籽晶处形成 SiC 晶锭。

1.2.2 GaN 制备工艺：HVPE 工艺简单，系生产主流方式

HVPE 工艺简单，生长速率快，系生产主流路线。氮化镓制备主要分气相法及熔体法， 其中气相法细分为氢化物气相外延法（HVPE）、气相传输法。熔体法细分为高压氮气溶液 法（HNPSG）、助溶剂法/溶盐法、氨热法、提拉法。相较而言，HVPE 法厚膜质量及生长速 率更高，系主流生方式。 HVPE 原理：整个过程在一个多层次温区热壁反应系统的完成，在温度为 850 度温区 内放入金属 Ga，呈液态，后从热璧上层注入 HCl 气体，形成 GaCl 气体，后将 CaCl 气体 传送至衬底，在 1000 度-1100 度温度下与氨气（NH3）反应，最终生成 GaN 晶体。

2、第三代半导体发展前景如何？

2.1 市场端：整体产值超 7100 亿元，2023 年渗透率接近 5%

第三代半导体材料渗透率逐年提升，2023 年有望接近 5%。根据 Yole 数据显示，Si 仍是半导体材料主流，占比 95%。第三代半导体渗透率逐年上升，SiC 渗透率在 2023 年 有望达到 3.75%，GaN 渗透率在 2023 年达到 1.0%，第三代半导体渗透率总计 4.75%。

2020 年，我国第三代半导体整体产值超过 7100 亿，电力电子及微波射频持续增长。 根据 CASA 数据，我国第三代半导体整体产值超过 7100 亿。其中，半导体照明整体产值 预计 7013 亿元，受新冠疫情影响较 2019 年下降 7.1%；SiC、GaN 电力电子产值规模达 44.7 亿元，同比增长 54%；GaN 微波射频产值达到 60.8 亿元，同比增长 80.3%。（报告来源：未来智库）

2.2 性能端：高压、高频领域或将实现对硅基的全面替代

SiC MOSFET 主攻高压领域，GaN MOSFET 主攻高频领域。依据功率、频率两个维 度，我们对主流功率器件的物理特性和适用场合进行了梳理：Si-IGBT 在高压领域有 优势但无法胜任高频领域的要求，Si-MOSFET 能胜任高频领域但对电压有所限制，SiCMOSFET 完美得解决了高压和高频在硅基上难以兼得的问题，在兼容高压中频的基础上 SiC-MOSFET 并凭借其高效率、小体积的特性成为电动汽车、充电桩、光伏逆变等领域 的最佳解决方案（不考虑成本），GaN-MOSFET 凭借其超高频率的特性在 5G 射频领域大 有可为，当前主要为 5G 基站 PA 未来有望拓宽到终端设备射频（手机等），此外 GaNMOSFET 在 1000V 以下的中低压领域比如快充、电动汽车有较大的应用潜力。

第三代半导体节能效益显现。在消费电子领域节能 40%以上；工业机电领域节能 30%- 50%；在高铁方面，更高的功率密度，减少动铁系统体积的同时节能 20%；在光伏逆变器 领域，降低 25%以上的光电转换损失；智能电网领域提高 40%以上供电效率并降低 60%的 电力损失。

SiC 主要应用于白色家电、电动汽车及工业应用领域。在白色家电中主要应用于家 电/个人电脑、不间断电源等；在电动汽车领域主要应用于 DC/AC 逆变器、DC/DC 转换器 等；在工业领域中主要应用于电力配送、铁路运输、光伏产业、电机控制、风电涡轮机 等。

GaN 主要用于光电子、射频电子及电子电力领域。在光电子领域住用应用于激光显 示、LED 照明等；在射频电子领域主要应用于卫星通讯、移动终端、国防军工、无线通信 基站等；在电力电子领域中主要应用于电源转化系统、新能源汽车与数据中心、工业电 机及智能电网等。

2.3 政策及科研端：政策持续加码第三代半导体，科技创新如 火如荼

国家陆续出台相关政策，第三代半导体蓬勃发展。国家持续出台相关政策支持第三 代半导体发展，2016 年 7 月，国务院《关于印发“十三五”国家科技创新规划的通知》 明确发展第三代半导体芯片；2019 年 11 月工信部将第三代半导体产品写入《重点新材 料首批次应用示范指导目录》，2019 年 12 月，在《长江三角洲区域一体化发展规划纲要》 中明确要求加快培育布局第三代半导体产业，推动制造业高质量发展；2020 年 7 月为鼓 励企业积极发展集成电路，国家减免相关企业税收；2021 年 3 月，十四五规划中特别提 出第三代半导体要取得发展；2021 年 8 月，工信部将第三代半导体纳入“十四五”产业 科技创新相关发展规划。

我国专利数量高于美国，占世界 22%。目前全球有关氮化镓和 SiC 半导体领域专利 总计 23738 项，其中我国专利 5232 项，占 22%，美国专利 2722 项，占 12%，我国专利总 量高于美国。 高校系我国创新总体，企业系美国创新主体。中国涉及氮化镓和 SiC 半导体相关专 利 Top10 中高校及研究所为创新主体，占比 60%，而美国企业为创新主体，占比 80%，即 国内创新还处于研发阶段，距商业化还有一定距离。

中美专利领域相同，创新活跃度领域不同。中美专利数量前三领域相同，分别为 H01L21、H01L29 及 H01L33，中国前十 IPC 大组活跃度普遍高于 50%，而美国技术活跃度 最高 50%。中国的热点领域为 C30B29 及 C30B25，而美国的热点领域为 H01S5 及 C23C16。

3、第三代半导体主要玩家梳理

3.1 产业链企业梳理：国内 SiC、GaN 产业链布局逐步完善， 全产业链基本均实现覆盖

目前，国内布局 SiC 的上市公司从产业链角度可以分为 5 类：1）专注衬底材料，如 天岳先进和天科合达（中止 IPO）；2）器件端 IDM 布局，如华润微、斯达半导、闻泰科技 等；3）从材料到器件一体化布局，如三安光电；4）芯片设计厂商，如新洁能；5）其他： 露笑科技布局设备+材料，中微公司布局外延设备。 从公司原生业务角度出发，可以分为三类，1）传统功率半导体公司（晶闸管 /MOSFET/IGBT）延伸布局三代半导体 SiC，如斯达半导、时代电气等；2）LED 芯片公司， 如三安光电在光电器件材料 GaN 上有多年研发生产积累，顺势转型三代半导体；3）专注 材料/设备的公司，如天岳先进、中微公司。

国内 GaN 功率半导体产业链已经实现全面布局。GaN 产业链玩家的分类和 SiC 类似， GaN 功率半导体全球布局方面，海外企业在技术及产能上均有较高的领先地位。海外龙 头企业以 IDM 模式为主，主要包括德国英飞凌、美国 Qorvo 等。目前，国内 GaN 产业链 也在加速布局中，成长较为迅速，国内企业在衬底、外延、设计、制造等领域均已实现 布局，其中包括 GaN 衬底制造商苏州纳维、东莞中镓；外延制造商晶湛半导体、江苏能 华；设计企业安谱隆、海思半导体；制造企业三安集成、海威华芯等。此外，新进入厂商不只有传统功率半导体厂商，更多地是做射频器件出身或者有军工背景的企业进入 GaN 领域，如主营军工电子的亚光科技，主营 TR 组件及射频模组的国博电子。

3.2 上市公司梳理：SiC 相关公司 104 家，GaN 相关公司 43 家

目前国内第三代半导体主要制造商共 147 家，SiC 产业链相关公司共 104 家 ，其中 有 15 家公司已上市。SiC 全产业链公司（生产设备、衬底、外延、器件）的有三安集成、 中电科 55 所、中电科 13 所、世纪金光、中宏新晶。 国内 GaN 产业链相关公司有 43 家，其中 3 家公司已上市。全产业链公司仅有英诺 赛科。

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