2026年中科飞测公司研究报告：量检测领军企业，明暗场产品有望迎来突破

中科飞测：聚焦半导体量检测设备，检测+量测双轮驱动国产 替代

深圳中科飞测科技股份有限公司主要从事半导体质量控制设备的研发、生产和销售，是国 产高端半导体质量控制设备领军企业。公司成立于 2014 年，专注于高端半导体质量控制 领域，为半导体行业客户提供涵盖设备产品、智能软件产品和相关服务的全流程良率管理 解决方案。作为国家级专精特新“小巨人”企业，中科飞测打破在质量控制设备领域国际 设备厂商对国内市场的长期垄断局面，致力于解决国家重大科技需求，降低下游客户对国 外检测和量测设备厂商的依赖程度，促进国内集成电路产业链持续稳定发展。 中科飞测九大系列设备和三大系列软件产品构成全方位良率管理解决方案。在设备产品方 面，公司在光学检测技术、大数据检测算法和自动化软件领域不断研发创新，在多项半导 体质量控制设备关键核心技术上达到国际领先水平，使得公司能够为不同类型的集成电路 客户提供全面覆盖的检测和量测设备供应保障。在智能软件产品方面，公司将人工智能和 大数据技术应用到半导体质量控制数据上，形成了一系列提升高端半导体制造良率的软件 产品。软件产品在检测和量测设备的基础上进一步为客户在良率管理中赋能，形成完整的 质量控制设备和智能软件相结合的良率管理闭环，为客户实现最大化的质量控制对良率管 理的提升效果。

1.1. 发展历程：持续拓展产品与客户，量检测设备出货突破千台

1）2014-2018 成立初期

公司从无图形晶圆缺陷检测设备起步，完成了技术从实验室到产线的验证。2014 年 12 月 岭南晟业、中科院微电子所及苏州翌流明共同出资设立飞测有限。2016 年,第一台无图形 晶圆缺陷检测设备进入国内头部客户产线验证。2017 年，产品进入国内第一大先进封装厂； 无图形品圆缺陷检测设备通过中芯国际产线验证；三维形貌量测设备通过长电先进产线验 证。2018 年，公司承担科技部“国家科技重大专项 02 专项”；图形品圆缺陷检测设备通过 长电先进产线验证。

2）2019-2022 成长与扩张期

公司量测设备通过蓝思科技、长江存储、士兰集科产线验证，2020 年营收跃升至 2.38 亿 成行业领头。自 2019 年起，公司全系列设备开始进入国内集成电路前道和先进封装市场， 营收实现快速增长，从 2019 年的 5598 万元跃升至 2020 年的 2.38 亿元。2019 年，公司 3D 曲面玻璃量测设备通过蓝思科技产线验证；三维形貌量测设备通过长江存储产线验证， 应用在集成电路前道领域。2020 年，公司为国内领先集成电路芯片厂商批量出货集成电路 质量控制设备；薄膜膜厚量测设备通过士兰集科产线验证，应用在集成电路前道领域；2021 年，公司无图形品圆缺陷检测设备通过国家科技重大专项验收，中科飞测成长为中国集成 电路质量控制设备领头企业。2022 年,公司 5 大产品系列累计批量销售接近 700 台。

3）2023 至今 规模化与研发驱动期

公司登陆科创板，2024 年量测设备出货量达千台，稳固行业龙头地位。2023 年 5 月 19 日,公司登陆科创板上市(股票代码:688361)，迈上全新发展台阶。2024 年,中科飞测半导体 量检测设备出货达 1000 台；公司客户群体已广泛覆盖前道制程企业、化合物半导体企业、 先进封装企业、半导体材料企业和制程设备企业。中科飞测始终坚持自主研发、自主创新 的研发模式，已逐步构建起了一套集研发、生产、销售于一体的创新机制。通过持续高水 平研发投入，公司稳步推进各系列设备产业化进程。

1.2. 公司治理：股权结构清晰，管理团队具备产业与科研背景

公司股权较为分散，投资者类型多元，股权结构明晰。截至 2026 年 2 月 13 日，苏州翌流 明光电科技有限公司以 10.8%的持股比例成为公司第一大股东，陈鲁、哈承姝夫妇为公司 实际控制人。陈鲁、哈承姝夫妇（实际控制人）对控股股东苏州翌流明 100%持股；同时， 哈承姝直接持有公司 4.75%股份。

中科飞测子公司设立于全国多地，业务布局清晰。其中，广州、北京及上海的中科飞测是 公司主营业务的直接组成部分，核心从事半导体质量控制设备的研发、生产及销售；而厦 门、武汉、成都的中科飞测则主要承担研发辅助与客户服务支持职能，为核心业务提供有 力支撑。这一体系形成了以核心制造与研发基地为中心、以技术支持与服务网点为延伸的 业务网络。 中科飞测核心董事会与管理团队拥有深厚的半导体行业背景与国际化视野，其产业经验推 动公司在高端质量控制设备领域快速发展。公司核心成员多数具备国内外知名企业与科研 机构的从业经历，董事长兼总经理陈鲁博士曾任职于全球领先的半导体设备公司科磊半导 体及中科院微电子所，兼具顶尖企业实战与前沿科研经验；战略副总裁哈承姝女士拥有耶 鲁大学及华盛顿大学学术背景及国际机构工作经历，为公司战略与资本运作提供强大支持。

此外，首席科学家黄有为博士等核心技术人员长期深耕半导体光学检测技术研发，是公司 技术突破与产品创新的中坚力量。

公司 2024 年股权激励拟授 800 万股，覆盖 113 名骨干人员。中科飞测拟定 2024 年限制 性股票激励计划，采用第二类限制性股票方式，拟授予总量 800 万股（占总股本 2.50%）， 本激励计划限制性股票的授予价格（含预留授予）为 30.69 元/股。激励对象覆盖 113 人， 包括公司董事、高级管理人员、核心技术人员及技术（业务）骨干人员（不包括独立董事、 监事），占 2023 年底员工总数的 12.91%。

1.3. 财务分析：营收保持高增长，检测设备贡献主要收入，量测业务占比持 续提升

公司近年来营业收入持续稳健增长，经营规模持续扩大，2021-2024 年复合增长率为 56.44%。2024 年公司营业收入 13.80 亿元，同比增长 54.94%；2025Q1-Q3 公司营业收入 12.02 亿元，同比增长 47.92%。公司营业收入的增长主要系受益于公司核心技术的不断突 破和产品种类的日趋丰富，以及国产替代需求的快速发展和公司市场认可度的稳步提升等 因素积极影响，公司客户群体和客户订单持续增长，有力推动了公司经营业绩增长。 分板块看，检测设备贡献主要收入，量测设备营收占比提升。2025H1 公司检测设备业务 收入占比为 60.72%，虽逐年略有下降，但仍是公司业务收入的主要部分；2025H1 公司量 测设备业务收入占比为 36.40%，整体呈上升趋势。

检测设备与量测设备毛利率提升幅度明显，2025H1 设备毛利率均达新高，检测设备毛利 率突破 60%。2021 年以来检测设备毛利率持续向好，由 2021 年的 51.66%提升至 2025 年 上半年的 62.18%；量测设备毛利率小范围波动，近年来一直维持在 35%-42%区间。公司经 营规模持续扩大，带来毛利率提升。 公司处于投入期，期待长期发展动能。公司 2024 年归母净利润为-0.12 亿元，同比减少 108.21%；2025Q1-Q3 公司归母净利润为-0.15 亿元，同比增加 71.67%。2024 年公司扣非 归母净利润为-1.24 亿元，较上年同期减少 1.56 亿元，主要原因为：（1）公司作为国内高 端半导体质量控制设备行业领军企业，2024 年进一步加大新产品及现有产品向更前沿工艺 的迭代升级等方面的研发投入，公司研发投入共 4.98 亿元，较上年同期增加 2.70 亿元， 同比增长 118.17%；（2）为进一步促进公司核心人才队伍的建设和稳定，公司制定并实施 了《2024 年限制性股票激励计划》，股份支付费用增加。2025H1 公司扣非归母净利润为 -1.10 亿元，亏损幅度有所收窄，主要得益于公司营收规模的持续稳定增长等因素。

公司高度重视研发，研发费用率高位波动，2025H1 研发费用率达 40.65%；研发人员规模 稳步扩大，2025H1 研发人员数量占比 45.47%。2021 年至 2024 年，公司研发费用从 0.95 亿元逐年增长至 4.98 亿元，呈现明显的上升趋势，2024 年同比增长 118.17%；2025 年 H1， 公司研发费用为 2.85 亿元。与此同时，公司研发费用率高位波动，2025H1 达 40.65%新高。 自 2022 年以来，公司研发人员数量持续增长，2025H1 公司研发人员数量已达 577 人，占 比 45.47%。公司持续研发、升级基于光学检测技术的检测和量测设备及良率管理软件，在 职工薪酬、技术服务费及股份支付费用均有较大幅度的增加。对于套刻精度量测设备、介 质薄膜膜厚量测设备等多种设备，公司持续开展面向最前沿工艺及多种技术方案的新产品 研发。截至 2025H1，公司拥有专利 642 项，其中发明专利 214 项。

2025Q1-Q3 公司销售费用率、管理费用率及财务费用有所上升。2025Q1-Q3 公司销售费 用率提升至 7.60%，主要系公司业务持续上升，公司销售和客户相关服务人员有所增长， 职工薪酬及股份支付费用增加。2025Q1-Q3 公司管理费用率增长至 12.33%，主要系随着 公司业务持续上升，公司管理人员规模有所增长，职工薪酬及股份支付费用增加。 2021-2024 年，公司销售、管理、财务费用率保持相对稳定。