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中科飞测公司研究报告：量检测领军企业，明暗场产品有望迎来突破。深圳中科飞测科技股份有限公司主要从事半导体质量控制设备的研发、生产和销售，是国产 高端半导体质量控制设备领军企业。中科飞测深耕高端半导体质控领域，提供全流程良率管 理解决方案。公司核心服务涵盖设备、智能软件及相关服务。公司近年来营业收入持续稳健 增长，经营规模持续扩大，2021-2024 年复合增长率为 56.44%。2024 年公司营业收入 13.80 亿元，同比增长 54.94%；2025Q1-Q3 公司营业收入 12.02 亿元，同比增长 47.92%。2024 年公 司归母净利润为-0.12 亿元，同比减少 108.21%；2025Q1-Q3 公司归母净利润为-0.15 亿元，同 比增加 71.67%。

半导体量检测设备行业是保障芯片制造良率的关键环节，2024 年全球市场规模达 143.5 亿 美元，占全球半导体制造设备约 13%，仅次于刻蚀、薄膜沉积和光刻设备，国产化率仍处低 位，国产替代空间广阔。半导体质量控制设备按检测类型分类，检测量测设备是保障良品率 关键。半导体质量控制对芯片良品率至关重要，检测和量测设备 2024 年全球市场规模达 143.5 亿美元，占全球半导体制造设备约 13%，仅次于刻蚀、薄膜沉积和光刻设备。中国半导体检 测量测设备虽国产化率低，但市场增长快，国产化有望加速。中国大陆半导体检测量测设备 市场高速增长，受益于行业发展和政策扶持。据 SEMI 预测，2024 年中国大陆晶圆产能同比 增 15%至 885 万片/月，2025 年再增 14%至 1010 万片/月，增速全球第一。中国大陆半导体 检测量测设备市场高速增长，受益于行业发展和政策扶持。据 VLSI 数据，2020-2024 年中国 大陆半导体检测与量测设备市场规模的年均复合增长率为 27.73%。

公司检测与量测环节的量检测设备产品品类齐全，核心设备在头部客户产线持续验证并加快 导入。公司检测设备实现品类全覆盖，涵盖无图形、图形、明场及暗场纳米图形晶圆缺陷检 测系列。其中无图形检测设备累计交付超 300 台，图形检测设备超 400 台，通过国内头部客 户验证，暗场纳米图形检测设备填补了国内产品空白，打破了国外垄断，并逐步实现国产替 代。中科飞测量测设备品类齐全，涵盖三维形貌、套刻精度、薄膜膜厚等系列。截至 2025 年上半年，三维形貌量测设备累计交付超 200 台，套刻精度量测设备实现批量销售，两类薄 膜膜厚量测设备覆盖国内主流集成电路客户产线。