2022年富创精密研究报告 半导体设备精密零部件的领军企业，充分受益国产替代

1、富创精密：半导体设备精密零部件的领军企业

1.1、 主营四大类产品，工艺完备性领先

富创精密产品为半导体设备、泛半导体设备及其他领域的精密零部件，具体包括工艺 零部件、结构零部件、模组产品和气体管路。

工艺零部件主要是半导体设备中晶圆制备工艺的关键零部件，少量应用于泛半导体设 备及其他领域。经过高精密机械制造和复杂的表面处理特种工艺过程后，工艺零部件具备 高精密、高洁净、超强耐腐蚀能力、耐击穿电压等特点；主要应用于刻蚀设备、薄膜沉积 设备，也少量应用于离子注入设备和高温扩散设备等；公司代表性工艺零部件包括腔体 （按使用功能分为过渡腔、传输腔和反应腔）、内衬和匀气盘。 结构零部件应用于半导体设备、面板及光伏等泛半导体设备和其他领域中，一般起链 接、支撑和冷却等作用，对平面度和平行度有较高的要求，部分结构零部件同样需具备高 洁净、强耐腐蚀能力和耐击穿电压等性能。公司结构零部件种类繁多，代表性产品包括流 量计底座、托盘轴、铸钢平台、定子冷却套和冷却版等。

此外，工艺零部件、结构零部件等自制零部件与外购的电子标准件和机械标准件等经 过组装、测试等环节，可以制成具有特定功能的模组产品，主要应用于半导体设备。公司 主要模组产品有离子注入机模组、传输腔模组、过渡腔模组、刻蚀阀体模组和气柜模组等。 气体管路产品主要应用于半导体设备中的特殊工艺气体传送，是连接气源到反应腔的 传输管道。由于晶圆加工过程中的气体具有纯度高、腐蚀性强、易燃易爆及毒性的特点， 对管路的密封性、洁净度及耐腐蚀能力有较高要求。由于气体污染后来源排查难度高，下 游设备厂对气体管路制造商的过程管控能力及体系认证要求极高。公司需要在洁净间环境内，利用超洁净管路焊接技术及清洗技术并结合专属生产设备及自制工装来保证气体管路 无漏点且管路内焊缝无氧化和缺陷，以保证气体在传输过程中的洁净度且不发生泄漏。

1.2、 营收及归母净利润双进入快速上升通道

公司 2019-2021 年分别实现营业收入 2.53/4.81/8.43 亿元，2019-2021 年 CAGR 为 82.5%，主要系行业景气度回升及设备国产化驱动，公司境内外客户收入均大幅增长所致； 2022 年上半年，受益于行业高景气度驱动，公司产能持续提升，实现营业收入 5.98 亿元， 同比大幅增长 73.2%。

公司毛利率水平在 2018-2021 年之间基本处于 30-35%区间，其中 2019 年毛利率仅为 17.2%，主要系 2019 年行业景气度偏低，且当年公司预投产能转固大幅增加折旧与摊销， 产能利用率较低所致，各类产品及整体毛利率处于较低水平。2022 年上半年，公司毛利率 水平达 33.6%，或主要源于高附加值产品占比提升。费用端来看，公司管理费用率、研发费 用率、销售费用率在 2020 年大幅下降，主要原因系 2020 年后，公司收入规模快速提升带 来规模效应，管理、研发费用增长幅度均低于收入增长规模增长幅度；此外，公司客户集 中度相对较高，通过主要客户认证后，合作关系稳定，整体销售费用规模较低，销售费用 率下降幅度较大。2022 年上半年，受益于公司经营规模进一步大幅扩大，规模效应进一步 凸显，管理/研发/销售/财务费用率同比分别下滑 0.32/0.04/0.45/0.23pct。

公司 2019 年实现归母净利润-0.33 亿元，主要系行业景气度偏低，各类产品毛利率较 低所致；2020 年以来公司规模效应逐渐显现，同时广泛拓展国内市场，归母净利润进入上 升通道，2019-2021 年 CAGR 为 256.3%；2022 年上半年，受益产能提升叠加产品结构优化， 同时费用端规模效应凸显，公司实现归母净利润 1.01 亿元，同比增长 130%，增长势头强劲。

1.3、 结构零部件占比约 4 成，气体管路占比快速提升

公司 2021 年实现收入 8.43 亿元，其中结构零部件占比 41.9%，工艺零部件占比 21.1%， 模组产品占比 19.1%，气体管路产品占比 16.4%。2019-2021 年期间公司工艺零部件、结构 零部件、模组产品、气体管路销售收入 CAGR 分别为 63.6%、72.5%、65.7%和 397.1%。 模组产品和气体管路在 2018-2021 年内占比大幅提升（分别从 10.4%/0.2%提升至 19.1%/16.3%），主要系模组产品及气体管路产品属新开拓品类，公司选择的产品型号标准 化程度较高，通过客户验证后批量生产难度较低，对公司收入和利润规模增长驱动更为强 劲，预计未来随着模组和气体管理产品的开发和业务承接，占公司收入比重有望进一步提 升。

工艺零部件收入基数相对较高，且由于工艺制程复杂、技术要求高、客户验证周期长 等原因，收入整体呈现渐进式增长,占收入比重呈现小幅下滑趋势。 结构零部件工艺制程相对简单，技术要求低于工艺零部件，且公司与客户的合作往往 从结构零部件开始，不断向性能更高的工艺零部件延伸，从而结构零部件放量更快，基本 占公司收入比重 4 成左右。 随着半导体行业景气度持续高涨和国内半导体设备厂商崛起，公司应用于半导体设备 产品收入占营收比由 2019 年的 69.7%提升至 2021 年的 88.2%。

在公司收入结构中，海外客户占比相对较高（公司已经进入客户 A、东京电子、ASMI 等全球半导体设备龙头厂商供应链体系），2021 年海外占比近 6 成；目前随着全球半导体 产业链转移及半导体设备国产化的发展趋势，2018 至 2021 年间，公司海外客户收入占比呈 现下滑趋势，从 86.3%下滑至 61.3%；顺应行业趋势公司积极拓展国内市场，中国大陆收入 占比大幅提升，从 13.6%提升至 38.7%，预计未来中国大陆收入占比有望进一步提升。 2019-2021 年，客户 A 占营业收入比重从 69.0%逐年下降至 56.0%，主要系公司不断拓 展国内业务所致。

1.4、 股权结构集中度高，实控人控制权稳定

上市发行前，公司实际控制人为公司董事长、总经理郑广文先生，控制公司 34.03%的 股份表决权；第二大股东为宁波祥浦，持股 21.56%，第三大股东为上海国投，持股 18.22%， 其次是辽宁科发，持股 6.38%。公司此次上市共发行 5226 万股，占发行后总股本约 25%。

2、半导体零部件是设备行业的支柱

半导体零部件在产业链中处于中上游位置，其上游是金属及非金属等原材料，下游主 要为半导体设备及晶圆厂。

2.1、 零部件占设备市场 50%以上，预计 2023 年全球零 部件行业规模超 600 亿美元

公司所处的半导体设备精密零部件行业，处于半导体产业的中上游，主要需求来自下 游的半导体设备厂商采购需求及晶圆厂零部件更替需求，整体受终端消费市场的需求波动 影响较大。据 SEMI 预计，至 2030 年全球半导体设备规模有望达 1400 亿美元。

考虑到国内及国际半导体设备公司毛利率一般在 38%-45%左右，对应设备企业成本一般 占比 55%-62%左右；根据国内外半导体设备厂商公开披露信息，设备成本构成中一般 90%以 上为原材料；我们保守假设设备成本中原材料占比为 85%，对应原材料占设备市场比例约在 47%-55%之间；我们粗略取 50%占比，根据 SEMI 预计，2022/2023 年全球半导体设备市场规 模有望达 1175/1208 亿美元，对应 2022 年全球半导体零部件规模约为 584/601 亿美元。

2.2、 零部件竞争格局分散，细分品类国产化率不均

半导体零部件产品中包含机械类（含金属件及非金属件）、电气类（含射频电源等）、 机电一体类（如 EFEM、机械手等）、气体/液体/真空系统类（如泵、阀门等）、仪器仪表 类（如气体流量计等）及光学类（光学元件、光栅等）产品。其中机械类零部件占半导体 设备市场比例约 12%，是应用最广、市场份额最大的零部件类别，品类繁多，整体国产化 率相对较高，但高端产品国产化率较低；机电一体类占半导体设备市场比例约在 8%，品类 较为繁多，部分供应商进入国际半导体设备厂商供应链，大多品类国内厂商主要供应国内 半导体设备厂商，整体国产化率不高，产品稳定性和一致性与国外有差距，功能复杂的高 端产品未国产化；气体/液体/真空系统类占半导体设备市场比例约在 9%，品类较为繁多， 少数企业通过自研或收购部分产品已进入国际半导体设备厂商，整体国产化率处于中等水 平，产品稳定性和一致性与国外有差距，大部分品类的高端产品未国产化；光学类占半导体设备市场比例约在 8%，国内企业尚未进入国际半导体设备厂商，光刻设备国际市场高度 垄断，国产化率较低，高端产品尚未国产化。电气类占半导体设备市场比例约在 6%，对于 核心模块（射频电源等），国内企业尚未进入国际半导体设备厂商，少量应用于国内半导 体设备厂商。

2.3、 公司核心产品占设备价值量 22%，对应 2021 年本 土客户约 40 亿元市场

富创精密主要包含工艺零部件、结构零部件、模组产品和气体管路四大类产品，根据 公司招股说明书测算，工艺/结构零部件、模组产品、气体管路产品占设备市场比重分别为 11.8%/5.6%/5%。

考虑到富创精密国内业务收入占比逐年提升，我们对富创精密所做产品对应国内市场 空间做进一步测算，根据 Gartner 2022 数据，2021 年全球芯片生产线前端设备市场规模 为 923 亿美元，其中中国大陆占比 25%左右，对应中国大陆芯片生产线前端设备市场规模 为 226 亿美元；我们假设 2021 年中国大陆前道设备国产化率在 11%-13%，则中国大陆芯片 生产线前端设备市场中来自中国大陆设备厂商规模在 25-29 亿美元之间；根据富创精密招 股说明书测算，工艺/结构零部件、模组产品、气体管路产品占设备市场比重分别为 11.8%/5.6%/5%，合计占设备市场比重 22.4%，则对应富创精密 2021 年国内设备客户市场 规模在 36-42 亿元之间。

此外，我们根据富创精密披露客户情况，公司产品已进入包括北方华创、屹唐股份、中微公司、拓荆科技、华海清科、芯源微、中科信装备、凯世通等主流国产半导体设备厂 商；基于下游客户 2021 年营业收入进行测算，对应 2021 年富创精密对应国内客户市场规 模约为 40 亿元左右。基于以上两种方式测算，富创精密 2021 年中国大陆收入为 3.26 亿元， 对应市占率仍相对较低，国内发展空间广阔。

根据 2022 年部分客户中报披露，北方华创/中微公司/拓荆科技/华海清科/芯源微 2022 年上半年营业收入分别增长 50.9%/47.3%/364.9%/144.3%/43.7%，叠加设备企业合同 负债情况，预计富创精密 2022 年国内客户市场规模将有较大程度增长，市场空间持续增大。

3、专家&技术&客户铸造三维竞争力

3.1、 海外专家团队来自北美半导体设备厂商

富创精密核心团队由海外专家、核心管理团队及本土核心技术人员组成，海外专家团 队多来自 AMAT、Lam research、KLA 等，其中李茂程博士是国际半导体龙头企业 AMAT 的资 深华人专家及前北美华人半导体协会会长，指导公司建立体系及质量标准；王思明为前 KLA 总管及 AMAT 战略顾问；侯涛为前 AMAT 资深机械设计专家；CTO 杨登亮博士曾在 Lam Research 任技术主管主导研发五纳米机台，后在英特尔领导工艺开发。公司核心技术人员 如李吉亮、褚依辉等均有十余年机械、半导体行业从业经验，掌握工艺设计技术、零部件 研发加工程序及特殊工艺技术等。海内外技术专家的加盟对富创零部件产品和技术研发方 向起到了引领作用。

3.2、 两次承接“02 专项”，产品应用于 7 纳米制程设 备

公司于 2011 年承担国家“02 重大专项”中的“IC 设备关键零部件集成制造技术与 加工平台”项目，依托“02 重大专项”进行自主研发，掌握了部分精密零部件的制造技术， 并取得了相应专利保护。2014 年，公司再次承担了国家“02 重大专项”中“基于焊接和 表面涂覆技术的大型铝件制造技术开发”项目，依托项目成果公司加紧针对 22 nm 以下大 型铝合金零部件超强耐腐蚀、特种焊接等技术的产业化应用，并具备了一套完整的复合焊 接工艺，掌握了特种涂层喷涂工艺等表面处理特种工艺核心技术，半导体设备精密零部件 的焊接及表面处理特种工艺技术达到主流国际客户标准。

随着设备制程演进，芯片线宽更低，工艺气体更加复杂，反应均匀性要求更高，工艺 零部件的耐腐蚀性、密封性、真空度、洁净度、机械加工精度和一致性的要求显著提升。 在两次“02 专项”技术的积累下，目前富创精密的产品技术性能与主流客户标准相比，过 度腔、传输腔以及反应腔的密封性与真空度均优于主流客户标准，富创的反应腔及内衬更 耐击穿电压，匀气盘在洁净度和微孔加工上均优于主流客户标准。目前除富创精密外尚无 内资企业通过主流国际客户认证，在市场上具有竞争力。

结构零部件的技术要求低工艺零部件，工艺制程相对简单，性能和加工工艺在已配套 设备的制程演进中相对稳定。在两次“02 专项“的技术积累下，目前富创精密的结构零部 件产品中，在托盘轴的平面度与平行度上均优于主流客户标准，定子冷却套的尺寸公差精 度及流量计底座的耐腐蚀性与密封性均优于主流客户标准，冷却板在平整度、洁净度、耐 电压性、密封性的各项指标均优于主流客户标准。靖江先锋、托伦斯等境内厂商同样能为 主流国内客户提供托盘轴、铸钢平台、定子冷却套产品的部分结构零部件，在具体产品类 别与公司存在一定差异；除这些产品外，在结构零部件产品中除富创精密外尚无内资企业 通过主流国际客户认证。

模组产品不仅需满足自制零部件的技术要求，还需满足组装后产品定制化要求，在两 次“02 专项”的技术积累下，目前富创精密的模组产品如离子注入模组、传输腔模组、过 度腔模组、阀体模组的密封性均优于主流客户标准；气柜模组在精准控制上优于主流客户 标准。少量境内厂商同样能为主流国内客户提供离子注入模组，具体产品类别与富创存在一定差异，其他模组产品在大陆地区仅有富创精密通过了主要客户的认证，技术水平具备 竞争优势及一定先进性，主要与大陆以外的地区厂商竞争。

气体管路产品用于半导体设备中的特殊工艺气体传送，对气体管路的洁净度、密封性 及抗腐蚀能力要求高，富创精密气体管路产品在密封性和洁净度上优于主流客户标准，目 前除公司外尚无内资企业通过主流客户的认证。

公司在晶圆制造和半导体设备已向 7 纳米及更先进的工艺制程演进，是在全球为数不 多的能够量产应用于 7 纳米工艺制程半导体设备的精密零部件制造商，在工艺和结构零部 件中部分腔体、内衬、匀气盘等高端产品已应用于客户 7 纳米制程的前道设备中。7nm 制 程设备收入占比从 2019 年至 2021 年分别为 3.54%、8.42%、2.52%，其中工艺零部件占比更高些。

截至 2021 年 12 月 31 日，公司共有研发人员 225 名，占公司全部员工比例为 20.7%， 技术人员占比较高。同时公司持续加大技术研发投入，截至 2021 年 12 月 31 日公司研发投 入为 0.74 亿元，同比增速达 101%，占当年营业收入 8.80%，2022 年上半年研发支出已经达 到 0.46 亿，较去年同比增长 72%。

根据富创精密研发计划，公司在未来将持续加大技术研发投入，持续扩大 7nm 工艺制 程的半导体设备精密零部件的品类，持续提升工艺水平和产品性能，针对原子层沉积技术 制备零部件保护薄膜研发、高端管路制造工艺研发项目、化学机械抛光设备关键零部件研 发等进展已达 30%；同时，加快研制应用于 5 纳米及更先进工艺制程的半导体设备精密零 部件，匀气盘类产品流量均匀性和超高洁净度技术研发项目、气体流量控制器基座工艺技 术研发等进度已达 80%左右。同时富创也在加快数字化工厂建设进度，积极参与客户新产品 的开发设计，强化与客户联合开发，使公司的产品结构实现从单件定制化到模组化、再到 复杂模块独立设计及制造的优化。

3.3、 客户 A 战略供应商，国内主流设备企业大部分已 进入

公司设立至 2014 年间依托“02 重大专项”进行自主研发，掌握了部分精密零部件的 制造技术，并取得了相应专利保护，在此期间成功向国际半导体设备龙头客户 A 交付了首 款精密零部件产品，并通过其质量体系认证供应结构零部件，成为客户 A 的合格供应商并 进入其供应链系统，之后四年左右的时间富创陆续完成了更高级别的体系认证、工艺认证 和产品认证，逐步承接工艺零部件批量业务。在富创精密第二次承接“02 重大专项”期间，公司成为客户 A 的战略供应商，近几年随着双方合作不断深入，陆续扩展了模组产品、气 体管路产品合作。

2011 年至 2014 年间，富创精密在国产市场上迅速推进，向北方微电子、上海微电子、 拓荆科技等 10 余家企业交付了 1000 余种精密零部件，富创精密的工艺零部件、结构零部 件等产品在国产设备上得到了应用验证，实现了半导体设备部分精密零部件国产化的自主 可控。同时在第二次承接“02 重大专项”期间，富创精密成为东京电子、VAT 等国际知名 企业的供应商，并为北方华创、中科信装备、拓荆科技等国内知名半导体设备企业提供精 密零部件的研发及量产配套服务。

2019-2021 年富创精密前五大客户销售收入占比总和超过 85%，客户集中度相对较高。 其中客户 A 占比分别为 69.01%、66.23%、55.97%，且前五大客户中帆宣科技和 TOCALO 的 最终客户均为客户 A，公司最终销往客户 A 的销售收入占当期营业收入比例为 75.24%、 74.54%和 58.26%，近年来呈降低趋势。

4、α及β共振，充分受益国产替代

工艺零部件和结构零部件或主要受益国内设备客户国产化率提升及下游晶圆厂扩产： 经过两次承接国家“02 重大专项”，富创精密在精密机械制造、表面处理特种工艺、焊接 等半导体零部件关键环节的工艺技术上实现了积累和突破，工艺零部件产品和结构零部件 产品在性能指标上优于国际主流客户标准，同时在产品耐腐蚀性、耐击穿电压、洁净度、 精密度上均有较好表现，工艺技术在内资企业中领先。富创精密的工艺零部件和结构零部 件的部分产品如腔体、内衬、匀气盘等已经应用于 7 纳米制程的半导体前道设备，进一步 印证其技术水平的先进性。目前随着美国限制逐步加大，自主可控重要性不断凸显，在政 策扶持和需求驱动下，预计国内厂商未来扩产计划相对明确；未来国产新机台的验证工作 有望积极推进，半导体设备国产化的进程有望加快；带动设备精密零部件的国产化率不断 提升。富创精密与国内主流半导体设备商已经建立了较为稳定的长期合作关系，未来有望 受益于下游晶圆厂扩产进程推进及设备企业国产化率的提升，工艺零部件和结构零部件收 入取得持续稳健增长。

模组产品国内设备厂商采购有望增加，客户 A 份额占比有望提升：富创精密目前模组 产品的收入占比仍相对较低，2019 年至 2021 年模组产品收入占当期营业收入的比例分别为 23.6%、21.2%、19.4%。根据前文对模组产品国内客户 2021 年市场规模测算，富创精密目 前市占率仍处于较低水平，未来具备较大国内市占率提升空间；富创精密利用积累为大陆地区客户提供一定模组设计附加值，因此内销产品模组毛利率较高，未来随着国内业务占 比提升，盈利水平或有望提升。同时，考虑到富创给客户 A 供应模组产品的时间较短， 2021 年客户 A 的模组产品测算市场约为 6.44 亿，富创精密 2021 年模组产品营收仅 0.59 亿， 在客户 A 中模组份额占比具备进一步提升的空间；公司工艺技术和产品结构日趋完善，多 种模组产品通过客户 A 认证后有望批量供货，预计未来 A 公司需求有望进一步增长，叠加 国内客户需求一同驱动模组产品收入增长。

气体管路产品产能利用率低，所选型号标准化程度高有望上量：气体管路产品充分利 用了公司焊接和表面处理工艺技术，工艺制程相对标准化且所选产品标准化程度高，经过 客户认证后，有望实现批量生产；2021 年公司气体管路产品产能利用率仅为 63.18%，预计 随着需求驱动下，产能利用率有望快速增加，实现营收快速增长。根据测算，2020 年全球 气体管路产品市场规模有 36 亿美元，2021 年富创精密的气体管路产品业务收入仅为 1.5 亿 元，全球市占率不到 1%；根据前文测算，国内客户 2021 年气体管路市场规模约为 8 亿元； 未来具备较大增长空间。

5、募投加码产能建设，实现全工艺智能制造生产基地

公司本次发行募集资金项目投资总额 16 亿元，投资拟围绕公司主营业务建设“集成 电路装备零部件全工艺智能制造生产基地”。募投项目将新建精密机械制造、焊接、表面 处理特种工艺、钣金、管路、组装生产线，并搭建智能信息化管理平台，打造具备核心技 术能力的集成电路装备零部件全工艺智能制造生产基地。生产基地建设项目计划总投资 10 亿元，建设期 2 年，建设地点为江苏省南通市南通高新技术产业开发区，总用地面积约 114047 平方米，总建设面积 89050 平方米。 本次募集资金投资项目通过精密机械制造、焊接、表面处理特种工艺以及精密零部 件、气体管路和模组产品生产线，搭建智能信息化管理平台，有望扩大公司现有产品产能， 提高产品科技含量，提升生产的信息化水平，满足下游市场需求，充分受益下游行业发展； 同时有助于公司拓宽产品应用领域，提升产品供货能力。 公司目前初步规划辽宁沈阳、江苏南通和北京三大产能基地，未来 3-5 年进一步加 快公司产能建设。

6、盈利预测

工艺零部件及结构零部件：工艺零部件及结构零部件均属于机械件，相较来说国产化 率水平较高；公司两次承接“02 专项”，工艺完备性领先，工艺及结构零部件产品具备较 强的国内国际竞争力，已经可以实现 7nm 制程设备，国内主流设备企业客户大部分已经进 入，有望充分受益国内设备企业国产化水平提高及下游晶圆厂扩产；预计工艺零部件 2022- 2024 年营收分别同比增长 65%/47%/45%;结构零部件 2022-2024 年营收分别同比增长 62%/42%/37%；考虑到规模效应下有望降本，及内销毛利率水平较低等，预计工艺/结构毛 利率水平分别维持在 34.02%/32.38%。

模组产品：公司模组产品发展时间相对工艺/结构零部件来说较晚，预计随着客户验证 通过后，国内设备客户采购有望增加，同时占客户 A 份额有望提升；模组产品为公司大力 发展的方向，预计 2022-2024 年营收同比增长 82%/57%/55%；公司能够利用积累为大陆地区 客户提供一定模组设计附加值，因此内销产品模组毛利率较高，预计未来随着国内业务占 比提升，模组产品的整体盈利水平或有望提升，预计 2022-2024 年模组产品毛利率分别为 22.89%/23.39%/23.69%。

气体管路：2021 年公司气体管路产品产能利用率仅为 63.18%，且公司选择得产品型号 标准化程度较高，预计随着国内需求驱动下，产能利用率有望快速增加；同时公司向客户 A 供应气体管路的时间也相对较短，未来在客户 A 的占比有望进一步提升，国内外需求双驱 动下，预计 2022-2024 年营业同比增长；预计 2022-2024 年毛利率维持在 34.5%。

编辑：JACK