2026年中科仪公司研究报告：半导体真空设备龙头，国产替代与下游扩产驱动业绩稳健增长

国内真空技术主力军，具领先技术实力与先发优势

公司是中国领先的半导体制造设备核心部件提供商及真空科学仪器设备供应商，主营业 务为干式真空泵和真空科学仪器设备的研发、生产、销售，及相关技术服务。公司产品主要 包括用于集成电路晶圆制造及光伏电池等泛半导体产品制造的干式真空泵，以及面向国家重 大科技基础设施和科研领域的真空科学仪器设备。公司致力于引领真空技术、支撑科技创新、 促进产业发展，为国家战略新兴产业发展和重大科技创新体系建设提供支撑。 公司拥有真空技术装备国家工程研究中心、国家真空仪器装置工程技术研究中心、国家 企业技术中心三个国家级研发平台，具备持续的创新研发能力。公司是集成电路领域出货量 最大的国产干式真空泵制造企业，是唯一在集成电路先进制程实现批量应用的国产企业，是 唯一在清洁、中等、苛刻工艺均实现批量应用的国产企业，有效保障了我国集成电路制造设 备关键零部件的自主可控和供应链安全。真空科学仪器设备领域，公司先后承担北京正负电 子对撞机、兰州重离子加速器、合肥国家同步辐射装置、上海三代光源、北京高能同步辐射 光源、上海硬 X 射线自由电子激光装置等 11 项国家重大科技基础设施的建设工作，是我国 大科学装置关键真空部件光束线、波荡器、前端区等的最主要研制单位，其中公司作为上海 光源主要参与单位，于 2013 年获得国家科技进步一等奖。另外，公司前身成功研制了第一 台国产分子束外延设备（MBE），打破国外长期禁运，在科研用 MBE 设备研制领域居于国内 领先地位。

1.1 股权结构稳定：国资+产业资本双轮驱动

截至 2025 年 12 月 31 日，国科科仪持有公司 35.2%股份，为公司控股股东；国科控股 持有国科科仪 100%股权，其通过国科科仪控制公司 35.2%股份，为公司的实际控制人。

1.2 干式真空泵为核心业务，公司围绕其开展各项配套服务

公司是中国领先的半导体制造设备核心部件提供商及真空科学仪器设备供应商，主营业 务为干式真空泵和真空科学仪器设备的研发、生产、销售，及相关技术服务。公司产品主要 包括用于集成电路晶圆制造及光伏电池等泛半导体产品制造的干式真空泵，以及面向国家重 大科技基础设施和科研领域的真空科学仪器设备。公司致力于引领真空技术、支撑科技创新、 促进产业发展，为国家战略新兴产业发展和重大科技创新体系建设提供支撑。公司销售的干 式真空泵主要为罗茨干泵。公司研制的罗茨干泵分为三大系列：L 系列主要面向半导体清洁 工艺流程，如装载、传输；M 系列主要面向半导体中等工艺流程，如刻蚀、离子注入等；H 系列主要面向半导体苛刻工艺流程，如薄膜沉积等，也可应用于光伏等泛半导体领域的工艺 流程，如管式 PECVD 等。公司研制的三大系列近四十款型号干式真空泵产品已实现大批量 应用，可适配 ASML、KLA、LAMResearch、AMAT、TEL、HITACHI 等 30 余家国内外主 流设备厂商的数百种机台，全面满足市场多样化需求。截至 4 月 10 日，公司在研的干式真 空泵型号超过 40 项。除罗茨干泵，公司成功自主研发螺杆干泵并实现向客户批量交付。此 外，公司销售少量涡旋干泵，涡旋干泵主要应用于科研领域。公司真空科学仪器设备主要面 向国家重大科技基础设施和前沿科学领域研究使用，包括用于薄膜制备的仪器设备（PVD、 CVD）和用于重大科技基础设施的高能物理真空装置。另外，公司为北京高能同步辐射光 源、上海同步辐射光源、上海硬 X 射线自由电子激光装置等大科学装置研制各类波荡器 90 余台套。

1.3 公司处于快速发展阶段，销售业绩逐年增长

营业收入持续高增，归母净利润实现跨越式增长。2023-2025 年，公司营收由 8.5 亿元 增长至 12.9 亿元，年化复合增长率达 23.2%。受益于半导体真空装备国产化替代加速及科 研仪器需求释放，公司营收持续保持双位数增长，2023-2025 年同比增速分别为 22.0%、 27.1%、19.3%，业务规模与市场份额稳步提升。公司业绩轨迹符合高端装备行业规律，经 历“研发投入期—扭亏—反弹”的成长周期。2025 年归母净利润反弹至 8.4 亿元，同比大增 337.8%，创历史新高，其中扣非净利润为 1 亿元，同比增长 17%，说明当期归母净利润高 增核心系公司持有的上市公司股票产生大额公允价值变动收益与投资收益，该部分非经常性 损益显著增厚了公司全年盈利水平。 公司非经常性损益占比偏高，主要包括政府补助、投资收益、公允价值变动损益等。 2023-2025 年，公司非经常性损益净额分别为 5.3 亿元、1.0 亿元和 7.4 亿元，占归母净利 润的 87.8%、54.4%和 87.8%。公司公允价值变动损益波动较大，主要原因是公司持有上市 公司拓荆科技、中科信息股份，2025 年公允价值变动收益为 7.5 亿元，同比增长 9207.2%。 截至 2025 年 12 月 31 日，公司持有拓荆科技 1.52%股份，持有中科信息 0.80%股份，分别 作为交易性金融资产和其他非流动金融资产核算。

干式真空泵为公司核心收入来源，产品结构持续优化，核心技术产品收入占比稳居高位。 2023-2025 年，公司干式真空泵收入占比始终保持在 64%以上，2024 年占比达 72.4%，为 公司第一大核心业务，是营收增长的核心驱动力；真空科学仪器设备收入占比稳定在 16%-19% 区间，2025 年占比 18.5%，与干式真空泵形成业务协同；维修及维护等服务、零部件及其 他产品销售占比比较稳定，2023-2025 年分别为 5.6%、4.1%和 6.2%，公司业务持续向高附 加值的核心装备制造聚焦，产品结构持续优化。干式真空泵作为公司的核心硬件产品， 2023-2025 年毛利率从 31.6%持续下滑至 24.2%，三年累计下降超 7 个百分点。毛利率下滑 主要是由于市场整体竞争环境以及公司市场扩张战略综合影响所致。光伏领域订单萎缩， 2025 年收入近乎出清，前期低毛利订单拖累显著；集成电路领域国产替代加速，新进入者 加剧竞争，核心客户议价权提升，产品单价持续下行；单位成本受原材料、外协加工及工艺 研发投入影响上升；中低端型号占比提升拉低整体结构。公司在成本端，通过工艺改进、提 高自制率、扩大生产规模、加强供应链管控等方面，有望进一步降低产品生产成本，因此公 司集成电路领域真空泵产品毛利率持续下滑的风险较小。

公司期间费用率持续优化，规模效应凸显，结构持续改善。2023-2025 年销售毛利率稳 定在 17%以上，销售净利率呈现高弹性增长，2025 年回升至 65.4%，盈利质量持续改善。 费用管控成效显著，期间费用率从 2023 年 21.1%降至 2025 年 19.1%，结构整体优化；研 发费用率维持 8%-10%的高位，在费用优化的同时保障技术迭代，为长期成长奠定坚实基础。 整体来看，公司期间费用率的持续下降，核心源于营收规模的高速增长带来的规模效应，叠 加精细化费用管控，盈利空间持续打开；同时，公司始终保持高强度研发投入，在费用率优 化的同时保障技术壁垒，实现“短期盈利改善”与“长期成长动能”的平衡，符合高端装备 制造企业的成长规律。

真空装备行业国产替代加速，公司位处国内龙头

2.1 政策法规助力，支持真空装备行业发展

公司的干式真空泵产品主要面向集成电路和光伏产业，是晶圆和光伏电池生产过程中形 成真空环境的必备部件。其中，集成电路产业是我国信息产业的基础与核心，对国民经济和 社会发展起到基础性、先导性和战略性作用；光伏产业是我国保障能源安全、实现“双碳” 目标的重点领域。真空科学仪器设备是进行科学研究，尤其是基础科学和前沿科学研究的重 要支撑。以上产业均对我国实现高质量发展、高水平科技自立自强以及保障重点产业链自主 可控具有重要意义。公司的干式真空泵产品主要面向集成电路、光伏等半导体和泛半导体产 业，真空科学仪器设备产品主要面向科学仪器领域。集成电路、光伏、科学仪器产业均是我 国实现高质量发展、高水平科技自立自强和“双碳”目标，以及保障重点产业链自主可控的 关键领域。因此，近年来国家从产业规划、财政税收、金融、人才技术等各方面给予上述产 业极为有力的政策支持，为公司的业务发展营造了良好的政策环境，在市场、技术、资金、 人才等多领域为公司健康发展提供有力支撑。

2.2 下游稳步增长，我国已成为全球最重要的集成电路市场

集成电路产业作为现代信息产业的基础和核心产业之一，是关系国民经济和社会发展全 局的基础性、先导性和战略性产业，在保障国家安全、推动国家经济发展以及社会进步等方 面发挥着广泛而重要的作用，是衡量一个国家现代化程度以及综合国力的重要标志。经过 60 余年的发展，集成电路已成为现代日常生活和未来科技进步中必不可少的组成部分。集成 电路行业下游应用广泛，包括消费电子、数字图像、网络通信、云计算、大数据、人工智能 等。全球半导体贸易统计组织（WSTS）统计数据显示，2016 年至 2024 年期间，全球集成 电路行业市场规模由 2767 亿美元增至 5395 亿美元，年均复合增长率为 8.7%，呈稳步增长 态势。随着存储芯片市场的强劲复苏，以及逻辑、模拟芯片的稳步增长，WSTS 预计 2025 年全球集成电路市场规模将增至 6116 亿美元，较 2024 年大幅增长 13.4%。 我国大陆集成电路产业起步较晚，但近年来发展迅速，行业增速领先全球。在国家及地 方各级政府部门多项产业政策的支持、国家集成电路产业投资基金和各地方专项扶持基金的 推动，以及社会各界的共同努力下，我国集成电路产业规模从弱小到壮大，企业创新能力逐 步提升，已经在全球集成电路产业中占据重要地位，在部分细分领域初步具备了国际领先的 技术和研发水平。中国半导体行业协会（CSIA）统计数据显示，2023 年中国大陆集成电路 产业销售额达 12277 亿元，2016 年至 2023 年产业收入年复合增长率达 16%。

集成电路设备产业规模持续稳步增长，我国晶圆产能快速增加促进设备增速需求快于全 球。全球集成电路产业长期稳步增长，带动相关制造设备需求持续扩张。根据 SEMI 统计数 据，全球晶圆厂设备销售额近年来总体保持增长态势，并于 2024 年实现创纪录的 1,042.7 亿美元，预计 2025 年晶圆厂设备销售额将增长至 1107.7 亿美元，增幅为 6.2%。随着晶圆 厂新项目开工、产能扩张及技术迁移，SEMI 预计 2026 年晶圆厂设备销售额将达 1221 亿美 元，较 2025 年大幅增长 10.2%。受益于我国庞大的集成电路市场规模，以及在该领域的大 量投资和产业政策支持，近年来我国晶圆厂建设及产能扩张加快，自 2020 年以来我国已连 续四年成为全球最大的半导体设备市场，占比达 30%。SEMI 统计数据显示，2024 年我国 半导体设备市场规模达 495.5 亿美元，2020-2024 年均复合增长率达 27.6%。

中国光伏行业协会（CPIA）统计数据显示：全球光伏年新增装机容量从 2020年的 130GW 增至 2024 年的 530GW，年均复合增长率达 42.1%。根据国际能源署（IEA）在《2024 年 可再生能源分析与展望》中的预测，2030 年全球光伏新增装机容量在各种电源形式中的占 比将达到 70%。未来在光伏发电成本持续下降和新兴市场需求增长等有利因素的推动下，全 球光伏新增装机仍将持续增长。中国光伏行业协会（CPIA）统计数据显示，我国光伏年新增 装机容量从 2020 年的 48.2GW 增至 2024 年的 277.6GW，年均复合增长率达 54.9%。另外， 在光伏新增装机容量，以及多晶硅、硅片、电池片组件产量同比增长的同时，2024 年多晶 硅、硅片、电池片组件的价格下滑，光伏产品出口额下降。因此，CPIA 预计 2025 年我国光 伏新增装机容量可能下滑至约 200-250GW。受益于产业政策推动、技术持续进步和成本不 断下降，我国光伏产业中长期仍将持续向好，CPIA 预计 2030 年我国光伏新增装机容量将达 280-300GW。

能源向低碳、零碳方向发展对光伏发电需求巨大，同时我国在多晶硅、硅片、电池片、 组件的产能方面占据全球领先的市场份额，因此我国光伏产业发展对包括干式真空泵在内的 光伏设备存在持续、大量的需求。经过公司多年以来在此领域的持续研发创新，以及“02 专项”等国家政策大力推动，中科仪在我国集成电路市场中占据了一定市场份额，且份额持 续提升。公司是集成电路领域干式真空泵出货量最大的国产企业，是唯一在集成电路先进制 程实现干式真空泵批量交付的国产企业，是唯一在清洁、中等、苛刻工艺均实现干式真空泵 批量交付的国产企业。