屹唐股份：干法去胶热处理全球领先，国产替代加速

并购筑基与国产替代双轮驱动

屹唐股份作为全球领先的半导体前道设备制造商，专注于为集成电路客户提供干法去胶、快速热处理、干法刻蚀等核心设备。公司通过2016年收购美国硅谷设备厂商MTI，获取了干法去胶与快速热处理等核心技术，确立了“本土运营+国际技术”的双轮驱动模式。随着北京制造基地的投产及供应链本土化战略的推进，公司境内收入占比显著提升，2024年境内收入占比已达66.7%，有效受益于中国半导体产业的第三次转移及国产替代机遇。

干法去胶设备：全球第二，本土化驱动盈利优化

干法去胶设备是公司核心业务之一，2025年全球市占率提升至33.7%，位居全球第二。该业务近年来保持高速增长，2019-2024年收入复合年增长率约26%。随着供应链本土化进程的深入，公司核心零部件如硅片传输系统、反应腔室等已完成国产替代，带动毛利率从2022年的15.0%提升至2024年的27.4%。公司产品已广泛应用于长江存储、华虹等国内头部客户，国内去胶设备国产化率超过80%，公司凭借技术优势持续巩固市场地位。

快速热处理设备：高端市场进口替代先锋

快速热处理设备方面，公司全球市占率约13.8%，稳居全球第二。该业务毛利率长期维持在40%以上的高位，主要得益于其在5nm逻辑芯片及先进存储制造领域的技术突破。公司通过自主研发的双面加热技术及毫秒级退火技术，解决了高温退火中的晶圆变形和热应力问题，技术指标达到国际领先水平。在200mm以上高端市场，公司正加速替代进口产品，成长空间广阔。

干法刻蚀设备：量价齐升，成长动能强劲

干法刻蚀设备业务处于高速成长期，2019-2025年收入复合年增长率约59%。尽管目前全球市占率仅为0.5%，位居全球第九，但凭借ParadigmE、Novyka及Hydrilis XT三大系列产品矩阵，公司正逐步切入主流芯片制造市场。2024年，随着下游客户验证通过，该业务实现规模化销售，毛利率大幅提升至20.1%，成为公司新的利润增长点。

备品备件：高毛利配套服务增强客户粘性

依托庞大的专用设备装机规模，公司延伸布局备品备件后市场服务。该业务覆盖设备全生命周期需求，包括耗材与非耗材类备件，毛利率稳定在56%左右的高位。截至2024年底，公司全球专用设备装机量突破4800台，备品备件业务不仅贡献了稳定的现金流，更通过原厂匹配备件及专业运维支持，显著增强了客户粘性，形成了与设备销售协同的高价值服务模式。