中科仪：全工艺覆盖干泵龙头，存储扩产驱动国产替代

中科院体系真空装备“小巨人”，半导体干泵放量驱动业绩高增

中科仪是国内唯一在集成电路先进制程及清洁、中等、苛刻工艺均实现批量应用的国产干泵企业，2023年获评国家级专精特新“小巨人”。公司业绩持续高增，2025年营收/归母/扣非净利润分别为12.91/8.44/1.03亿元，YoY+19.30%/+337.77%/+17.19%，其中归母净利高增主要系公司持有拓荆科技、中科信息股权，投资收益及公允价值变动高增。受益于国内晶圆厂扩产、半导体设备国产替代加速及核心零部件自主可控需求提升，公司2025年集成电路领域真空泵收入为7.62亿元，YoY+14.90%，已成为公司核心增长极。

AI算力驱动半导体真空泵市场快速扩容，高端干泵国产替代空间广阔

干式真空泵是半导体制造前道核心基础设备，覆盖晶圆传输、刻蚀、薄膜沉积、离子注入等关键制程，集成电路制造主要工艺中约70%需要使用。受AI算力及存储升级需求拉动，国内晶圆厂及存储厂有望进入新一轮扩产周期，带动用泵数量提升；先进制程推进及NAND/DRAM工艺升级提升苛刻工艺占比，推动单线价值提升。根据“新增扩产+存量替换”双轮模型测算，我们预计26/27E国内半导体干式真空泵价格为11.00/11.05万元，中国半导体真空泵市场规模分别为63.4/74.3亿元。当前全球半导体真空泵市场CR5市占率达78.4%，Edwards、Ebara、Kashiyama、Pfeiffer等国际厂商仍占主导。公司作为目前国内极少数真正跨越前道“苛刻工况”深水区的稀缺标的，也是唯一在先进制程实现批量应用的国产企业，24年在国内半导体领域市占率稳步升至12.72%，且已实现清洁、中等、苛刻工艺全覆盖，部分产品关键指标与国际竞争对手处于同一水平，有望在国产替代加速背景下持续提升份额。

绑定头部客户打开订单空间，维保后市场贡献长期增量

公司深度导入长江存储、长鑫存储等头部晶圆厂、设备厂及泛半导体客户，并通过台积电、SK海力士等国际客户测试验证。半导体干泵验证周期长、工艺适配要求高，进入核心产线后客户粘性较强。随着核心客户进入新一轮产能扩张和工艺升级周期，干式真空泵需求有望持续提升，公司凭借既有导入基础和国产供应链优势，有望通过募投项目产能释放承接增量订单。同时，随着累计装机量提升，维修、维护及零部件更换需求有望持续增长；相较海外厂商，公司在本地化服务响应、备件供应周期和维保成本方面具备优势，维保后市场长坡厚雪，有望成为公司新增长极。