2024年通信行业专题报告:AI浪潮来袭,硅光子迎来黄金发展机遇
- 来源:中信建投
- 发布时间:2024/01/02
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通信行业专题报告:AI浪潮来袭,硅光子迎来黄金发展机遇.pdf
通信行业专题报告:AI浪潮来袭,硅光子迎来黄金发展机遇。硅光子技术优势显著,数通光模块为下游主要应用场景。海外科技巨头纷纷布局硅光子技术,有望实现高速发展。硅光具有兼容成熟的CMOS工艺、集成度高、封装工艺简化、低成本和低功耗等优势。根据Yole的数据,2022年到2028年硅光子芯片的市场规模的CAGR达到44%,其中数通光模块在硅光子芯片市场中占比达到90%以上,为主要应用场景。Nvidia、Intel、TSMC和Broadcom等科技巨头在光互连等领域争相布局硅光子技术,突破在即。与传统光模块相比,硅光模块在有源和无源器件上均有明显区别,硅光技术可以使光模块成本有明显下降,但工艺是影响硅...
一、硅光子技术应用广泛,海外巨头纷纷布局
硅光子技术是利用CMOS工艺制造光器件,下游应用领域广泛
硅光子技术是以硅或者硅基材料(Si, SiO2,SiGe)作为衬底材料,利用与集成电路兼容的CMOS工艺制造对应的光 子器件和光电器件,以实现对光的激发,调制,响应等功能,广泛应用于设备互连、光计算等下游多个领域中。 硅光子技术的发展阶段主要分为技术探索阶段,技术突破阶段,集成应用阶段,以及应用拓展阶段。目前硅光子技术 处在应用拓展阶段,先进的硅光子集成平台有望取得广泛应用。
硅基材料具备兼容CMOS工艺、低成本和低功耗等优势
材料是影响光学器件性能的重要因素之一,不同材料对于光的作用不一样,包括对光的吸收、折射、反射,以及激发 辐射产生光,因此材料的进步在光学器件行业发展中起到关键的推动作用。 硅材料的优点:能够兼容成熟的CMOS工艺,集成度高,封装工艺步骤减少,低成本和低功耗。 硅材料的缺点:间接带隙,直接发光难度高,光源集成难度较高,偏振敏感且耦合损耗较大。
数通光模块在硅光子芯片应用市场中占据主要地位
根据Yole的统计数据,2022年全球硅光子芯片的市场规模为0.68亿美元,数据中心领域占比达94%,其中数据中心用 到的数通光模块占比高达91%。预计2028年全球硅光子芯片市场规模增长至6.13亿美元,CAGR为44%,其中数据中 心市场为5.68亿美元,CAGR为44%,NPO/CPO市场规模为300万美元,CAGR为16%,光互连I/O市场规模为0.14亿 美元,CAGR为21%,光计算市场为0.05亿美元,CAGR为16%。
海外科技巨头争相布局硅光子技术
布局硅光子技术的海外巨头厂商较多,有望在AI浪潮下实现快速发展。随着AI的快速发展,硅光子技术从通信逐步拓 展到算力基础设施及下游应用领域,包括板间芯片光互连、芯片内chiplet光互连、光计算和激光雷达等领域。海外巨 头厂商纷纷布局硅光子技术,有望实现快速发展。
二、硅光模块与传统光模块的比较分析
硅光技术在光通信领域的应用呈现出距离变短、端口变多的趋势
从硅光技术在光通信领域的应用来看,呈现传输距离越来越短,端口数越来越多的趋势。光通信在铜退光进的演进过 程中,也伴随着传输距离的逐步减短。根据英特尔的观点,硅光通信技术早期应用于电信长距离传输网络之中,逐步 往数通领域以及未来的板与板、芯片与芯片互连发展。电信传输中使用到的硅光产品数量较少,随着距离越来越短, 需要连接的终端越来越多,因此硅光产品也将越来越多。
传统分立式光模块的工作原理及结构
光模块全称为光收发模块(Transceiver),由发射端(Transmitter)和接收端(Receiver)组成。数据传输过程如下: 光发射过程:电信号从交换机芯片经由PCB进入光模块,先经过DSP和CDR等进行电信号处理,然后信号经由驱动发给激光 器和调制器,从而发射调制光信号,再通过发射端光引擎耦合到光纤中传输出去。 光接收过程:光信号到达目的交换机端口对应的光模块中,经过光接口接收,由接收端光引擎传至探测器转换成电信号,电信 号经过TIA放大之后再经过CDR和DSP进行处理,最后传输到交换机芯片。
硅光模块与传统光模块的区别——激光器
硅光子技术主要对光模块中光相关的元器件产生影响,包括有源光器件(激光器、探测器和调制器)和无源光器件(隔离器,波分复 用器件,透镜等)。 激光器是光模块内部有源光器件的核心。目前在硅光模块中,存在以下激光器的方案: 英特尔的方案,通过在低温下的氧气环境下,实现III-V族激光器与硅光芯片之间的异质集成。单个通道配置两个DFB激光器,其中一个激光器 为备份,通过MZM光开关来进行切换,该方案能够大幅提升激光器的可靠性; 激光器Flip-chip方案也相对成熟。将激光器组件直接倒装焊到硅光芯片上,组件中可以包括激光器芯片、透镜、隔离器等元器件,能够节省光 学耦合时间,有利于大规模量产。 外置激光器目前被越来越多的硅光子技术公司所采纳。采用外置大功率CW激光器方案,而调制器集成到硅光芯片上,这种方案能够降低激光器 的成本,提升激光器的可靠性,同时模块组装工艺也更简单。
硅光模块与传统光模块的区别——探测器
在光模块中,探测器一般具备两个功能:1、在接收端一般用作将电信号转换成光信号。2、在发射端用探测器MPD可 以用来监测激光器的发射功率是否正常。 传统的光模块中,一般采用的是III-V族InP基的光探测器,数通光模块的探测器一般是PIN型,在灵敏度要求较高的电 信光模块产品上一般采用的是APD型。 英特尔的硅光模块中,负责监控激光器和调制器的探测器是采用的硅基III-V族异质集成探测器,而在接收端负责转换光 信号的探测器则是采用的锗硅探测器。
硅光模块与传统光模块的区别——调制器
在带宽迭代周期不断缩短的背景下,调制器逐步成为光模块中非常重要的器件。光调制器基于电光效应、声光效应、磁光效应、 Franz-Keldysh效应、量子阱Stark效应、载流子色散效应等对光信号的作用原理,可以制作成不同的调制器产品。在光信号的发射、 传输、接收过程中,光调制器被用于控制光的相位或幅度。 在光模块领域,主要存在以下几种调制器的方案: 传统的高速光模块中,在EML激光器里集成了调制功能。EML激光器里包括DFB激光器和EA调制器,DFB激光器负责发射单模光信号,通过EA调制器来 实现高速率的传输速率。EA调制器主要是利用电吸收的特性,通过施加电压对光信号吸收从而达到调制的目的。 硅光和薄膜铌酸锂调制器中,一般采用马赫-曾德尔调制器(Mach-Zehnder Modulator))结构。输入波导拆分为波导干涉仪的两个臂,在其中一个臂上 施加电压,则通过该臂的光信号会产生相移。当两个臂的光信号重新合并时,两个波之间存在相位差,干涉后实现振幅调制。 微环型调制器由环形波导与bus波导构成。当外加电压时,相移器引入一定的相位延迟,导致微环的共振波长发生移动,干涉时光功率幅度产生变化。微 环调制器尺寸小,响应快,但是对加工工艺的精度以及温度比较敏感,要求较高。
硅光模块与传统光模块的区别——光无源器件
传统光模块中包含了诸多光无源器件,包括准直透镜、分光器、波分复用/解复用器件、隔离器和连接器等。 在硅光芯片中,可以集成光波导、波分复用/解复用和分光器等器件。因此一般在硅光模块中,不再需要准直透镜、棱 镜、分光镜、潜望镜和波分复用的镀膜器件等,而隔离器和连接器一般还是需要的。 硅光子技术对无源光器件的影响,主要还是体现在制造工艺步骤的大大简化。在传统的分立式光模块中,需要将激光 器、透镜、波分复用器件等逐一进行耦合、粘贴、烘烤和温循等操作,时间和人力成本较高,工艺步骤繁多带来过程 良率易受到较大影响。硅光芯片能够大幅简化制造工艺过程,降低成本,提升良率。
相比于传统光模块,硅光模块的总成本预计下降10-20%
假设在同样的良率水平下,硅光模块相比较传统光模块的成本有一定的下降,主要体现在: 硅光模块的光源成本相比较传统分立式方案,大幅降低。英特尔的激光器方案采用异质集成方案,成本较低;目前大部分厂商的光源 方案采用大功率CW光源,将传统EML激光器中的EA调制器功能转移到硅光芯片上,成本显著降低。 硅光芯片能够集成部分光无源器件,降低成本。目前硅光芯片主要是用于发射端,因此能够集成发射端的准直镜、波分复用器件等光 器件,有效的降低成本。 通道数越多,硅光方案制造工艺成本越有优势。400G往800G和1.6T升级时,主流方案中的通道数从四通道升级到八通道,传统方案 中制造工艺步骤大幅增加,成本显著增长,而硅光芯片只需要多设计四个通道,工艺上变化较小,成本较低。
硅光芯片工艺需要攻克大量know-how问题
硅光与CMOS工艺兼容性高,但也需要解决很多know-how问题,并且可能会影响最终硅光模块是否能大批量生产。 光无源硅光芯片的外延层包括下包层、硅光波导层和上包层,刻蚀时需要保证侧壁粗糙度满足需求以保证传输损耗相对较低,整体来 看工艺相对比较成熟,能够批量化生产包括PLC分路器、AWG等多种光无源硅光芯片。 光有源硅光芯片结构相对更复杂一些,比如调制器的结构,在保证无源硅光工艺稳定性的基础之上,还需要增加离子掺杂、金属电极 等相关工艺,以使得带宽和功耗等性能满足要求。 硅光和III-V族材料的异质集成工艺难度很高,需要长时间的工艺积累以攻克较多的know-how问题。异质集成工艺中,材料外延难度 较高,片上光源耦合及老化问题是绕不开的难题,在量产阶段对良率的影响较大。
硅光芯片—光引擎—硅光模块制备过程
硅光芯片制备完成后,经过前道测试和贴装,再到后道与电芯片和其他无源器件进行集成,完成从芯片到光引擎器件 到光模块的整个制备过程。
三、AI带来数通800G硅光量产机遇,电信市场相干下沉值得期待
AI网络架构大幅提升光模块数量需求
传统的三层树形网络拓扑中,带宽一般是逐层收敛的。上层树根处的网络总带宽要小于各叶子处交换机所有带宽的总 和,因此在数据量爆发的时候,容易出现网络阻塞的问题。 在胖树网络架构中,交换机与光模块数量均大幅上升。英伟达的AI数据中心采用胖树架构,即使用大量相同带宽的交 换机,构建出大规模的无阻塞网络,对于任意的通信需求,总有路径让他们的通信带宽达到网卡带宽,架构中用到的 所有交换机都是相同的。
AI网络加速硬件带宽升级周期
在AI数据中心中,越来越多的客户倾向于加快网络带宽的升级迭代节奏,包括光模块和交换机,因为带宽越大,单位 bit传输的成本更低、功耗更低以及尺寸更小。 1.6T光模块有望在2024年下半年开始批量化出货,比预期提早一年左右。800G光模块的高增速反映出AI对于带宽迫切 的需求,其在2022年底开始小批量,2023年和2024年的出货量或将呈现高速增长的态势。AI对于带宽的需求快速升级 ,网络较高的性价比使1.6T光模块有望加速到来。
英特尔引领100G硅光数通光模块大规模商用
100G数通光模块时代,硅光子技术表现亮眼。随着数据中心的快速发展,对于光模块的需求爆发式增长,多家厂商开 始大力研发用于数据中心的硅光模块。初期是40G硅光数通光模块小规模应用,而后英特尔和Luxtera(后被思科收购 )等公司的100G硅光模块实现大规模应用,其中100G PSM4和100G CWDM4硅光模块是主要形态。根据英特尔的报 告,截至2022年,英特尔共出货了超800万只硅光模块。
200G和400G硅光模块发展迟缓,800G迎来量产机遇
从100G往200G和400G升级,单通道的速率需要提升两倍或四倍,调制模式从NRZ转变为PAM4,对硅光调制器的设 计和工艺提出了较高的要求。过去的几年来看,硅光模块在200G和400G均没有实现批量出货。 从800G光模块目前在光口的主流方案是8x100G,相比较400G来说,也就说多了四个通道。对于硅光芯片来说,在设 计上比较容易。因此在4-5年400G硅光模块的研发基础之上,800G硅光模块量产有望迎来突破。
1.6T加速到来,硅光及薄膜铌酸锂优势凸显
1.6T光模块有望在2024年下半年批量出货,比预期提早一年左右。硅光和薄膜铌酸锂集成化方案在400G及800G时代 的市场份额尚不高,但在多通道封装方案中仍具一定优势,且相较于EML,硅光调制器和薄膜铌酸锂调制器在带宽不 断提升的背景下优势凸显。1.6T光模块的光口单通道速率是200G,预计是未来的主流选择,故硅光和薄膜铌酸锂或在 1.6T时代有所突破。
近年来硅光子技术也在电信领域实现高速发展
硅光技术在电信领域的应用,近年来也实现了高速发展。从一开始的平面光波导(PLC)和波分复用的波导阵列光栅 (AWG)产品技术,到密集波分复用(DWDM)器件和ROADM产品,再到相干光模块领域,硅光技术快速进步,单 根光纤的传输速率实现了大幅增长。
硅光子技术应用从无源拓展到有源
硅光无源器件包括光分路器、硅光光栅I/O耦合器、AWG产品和DWDM器件等,这些硅光无源器件成为电信器件中的重 要基础元件,能够有效降低产品的成本及尺寸。 硅光有源器件方面,Luxtera和英特尔在硅光调制器的突破,衍生出探测器、光开关和VOA等产品,真正打开了硅光技 术在电信领域的应用。
相干下沉至DCI市场,市场空间广阔
目前硅光技术在电信领域的有源器件的应用主要分为两部分:硅光相干光模块,主要玩家包括Acacia、Marvell等; LCoS方案的WSS器件,主要玩家包括II-VI等。 相干光模块主要应用于电信网络中的骨干网等长距离传输系统中,能够覆盖百公里及以上距离的数据传输。近年来, 在云计算和AI的驱动下,数据中心建设如火如荼,而数据中心之间的连接需求也日益强劲。因此相干下沉至DCI市场, 有望进一步提升相干光模块的需求。
硅光方案的相干光模块集成度高,竞争力较强
硅光技术在相干光模块存在三个应用:硅基ITLA光源、硅光器件IC-TROSA以及包括DSP在内的共封装硅光器件。得 益于硅光子技术的高集成度和低成本,有望在相干光模块实现广泛应用。 相干光模块领域,龙头厂商Acacia采用的是硅光方案,产品在功耗、尺寸等方面具备较强的竞争力。近年来Acacia也 在拓展数通光模块市场,有望将相干光模块中的硅光技术优势带到数通领域。
硅光产业链日趋成熟,量产条件充分
硅光子技术下游需求旺盛,上游设计方案百花齐放,代工厂积极布局。硅光子技术产业链的上游包括光芯片设计、SOI 衬底、外延片和代工厂,中游为光模块厂商,下游分为数通领域和电信领域。 一体化布局的厂商优势比较明显。英特尔、旭创、Coherent、思科和Marvell等厂商同时具备PIC设计和模块集成能力 ,且与下游云厂商和AI等巨头客户保持紧密合作,优势显著,在供应链中的引领作用较为明显。
思科和英特尔份额领先,光模块厂商有望颠覆格局
从硅光模块的格局来看,思科和英特尔的市场份额远远领先于其他厂商。2022年的光模块市场来看,电信领域市场规 模为12亿美金,思科份额为49%,Lumentum份额为30%;数通领域市场规模为5.1亿美金,英特尔占比61%,思科占 比20%。 随着AI的快速发展,400G及800G等高速光模块的需求大幅提升,光模块头部公司的硅光方案进展处于行业领先地位。 虽然思科和英特尔在当前的硅光市场占比较高,但是AI将带来更广阔的400G和800G硅光模块市场,而中际旭创、 Coherent等公司有望获取大部分份额,颠覆行业竞争格局。
四、泛处理器硅光互连市场空间广阔,CPO及激光雷达突破在即
英伟达将硅光子I/O在GPU间实现交叉互连
随着AI的快速发展,多模态大模型的参数量大幅提升使带宽容量也快速扩张。无论是训练侧还是推理侧,数据传输带宽愈发成为整个 系统的瓶颈。虽然目前电信号传输还具备一定的优势,但是随着带宽的加速增长,电信号传输距离越来越短,在芯片互连领域“光进 铜退”目前看来也是势在必行的行业趋势。 英伟达与Ayar Labs、台积电等多家公司合作硅光子集成项目。在传统的DGX服务器中,服务器内部GPU与NVSwitch之间用电信号 连接,硅光子方案中将GPU和NVSwitch都接入硅光I/O,每个GPU对应2个光引擎,每个NVSwitch对应6个光引擎,双向带宽达到 25.6Tbps。数据收发过程单位bit消耗3.5pJ能量,英伟达仍在努力降低功耗,从而提升该方案的性价比。
英特尔将硅光子I/O带入泛处理器XPU领域
英特尔在2023年Hot Chips会议上展示了1TB/s的528线程处理器,该处理器采用了1TB/s硅光互连技术。该产品是为 DARPA专门定制的RISC架构处理器,数据处理速度比传统计算架构快100倍,功耗也更低。 该处理器包含8个计算核心,每个核心有66个线程。处理器周围有4个硅光I/O引擎的chiplet,外接32根单模光纤,一半 发射一半接收。每根光纤的带宽为32GB/s,总带宽达到1TB/s。
三星探索Optical I/O在Chiplet之间的互连
HBM目前广泛应用于GPU芯片中,采用3D堆叠的芯片结构,为GPU提供更大容量的内存和更高的互连带宽。多层DRAM芯 片通过TSV和Microbump技术在垂直方面堆叠,再通过interposer中的金属线实现互连。 AI的快速发展对内存的容量和带宽提出了更高的要求。为了发展下一代HBM技术,三星提出了两个基于Optical I/O的方案: 光学I/O作为interposer,HBM芯片和Logic芯片放在interposer上,电信号通过interposer上的电光接口转换成光信号经过光波导传输, 到Logic或HBM所在的位置,再进行光电转换为电信号。 在Logic芯片和多个off-package的HBM芯片之间引入光学连接,电信号通过Optical I/O转换为光信号,通过光纤实现光信号传输。 我们认为,硅光子的光学I/O将是该技术方案中最佳的产品形态之一。
硅光子I/O在FPGA芯片光互连领域已经实现商业化
数据传输带宽的提升,使电信号损耗快速增加,需提升电信号功率才能保持正常传输,导致整体功耗较高。若通过光 信号进行传输,可以提升带宽、降低功耗(光信号传输损耗几乎不随速率提升变化)。 英特尔已经推出了采用光互连技术的FPGA商业化产品Stratix 10。在近期的SC23会议上,英特尔和Ayar labs共同推 出了带有2颗4Tb/s带宽的TeraPHY I/O chiplet的FPGA产品,由两个SuperNova光源支持每个chiplet上8根光纤的64 个光通道的高速光通信。
CPO交换机降低功耗,硅光引擎是最佳产品形态
共封装光学(CPO)是业界公认的未来更高速率光通信的主流产品形态之一,可显著降低交换机的功耗和成本。随着 交换机带宽从最初的640G升级到51.2T,Serdes速率不断升级叠加数量的持续增加,交换机总功耗大幅提升约22倍, 而CPO技术能够有效降低Serdes的功耗,因此在51.2T及以上带宽交换机时代,CPO有望实现突破。 硅光芯片是CPO交换机中光引擎的最佳产品形态,有望在未来得到广泛应用。目前英特尔、博通和Meta等海外巨头厂 商在CPO交换机产品具有布局。
光计算在AI领域快速发展,硅光子应用空间广阔
以Lightmatter和Lightelligence为代表的公司,推出了新型的硅光计算芯片,性能远超目前的AI算力芯片。该光芯片 的计算过程通过光信号进行,功耗较低,只需要光源产生光信号即可。 根据Lightmatter的数据,他们推出的Envise芯片的运行速度比英伟达的A100芯片快1.5到10倍,具体根据任务的不同 有所差异。以运行BERT自然语言模型为例,Envise的速度是英伟达芯片的5倍,功耗仅为后者六分之一。
硅光芯片上的MZI阵列适用于线性计算
AI领域的神经网络计算中,光信号通过硅光芯片上的MZI阵列,能够顺利地实现加乘的线性计算,功耗低,延时低,并 行能力强,且通过改变每个MZI两臂的电压可以适配不同的计算模型。 非线性计算方面,目前来看,光信号还需要转成电信号,计算较为困难。目前光芯片只负责计算方面的任务,存储以 及交互都是通过电芯片完成的,因此距离一颗光芯片实现计算+存储+互连全功能的理想情况还有一定距离。
硅光技术可应用于FMCW激光器和OPA等激光雷达器件
硅光技术在激光雷达领域主要以高集成度的产品形态,应用于固态激光雷达中,未来有望实现大规模应用。固态激光 雷达以其高可靠性和低成本的优势,普遍被认为是未来主流的技术方案。 目前硅光技术主要是应用在FMCW和OPA方案中,还处在研究阶段,预计大规模应用在2025年以后。FMCW方案主要 是利用光信号的相干性,所以对光源的相干性要求比较高,基于硅基的外腔窄线宽调制激光器方案有望被采用。OPA 方案,即相控阵,通过改变相位来控制出射光的方向,从而达到扫描的作用,可以通过硅光集成来实现。
五、投资建议
投资建议方向一:硅光工艺设备
相比较传统光模块,硅光的组装工艺步骤大大简化,但硅光工艺的精度要求较高,主要是由于耦合损耗通常是硅光模块中较高的损耗 组成部分。在400G及以上的光模块中,功耗是很重要的性能参数之一,若耦合损耗较高,则光模块功耗会有明显增加,且耦合损耗 掉的能量主要以热的形式消耗掉,对散热的要求也会有一定的提升。 硅光模块的组装涉及到的高精度工艺主要包括,贴片、耦合和测试。硅光工艺设备中除了包括高精度的硬件,软件和配套的技术支持 也是非常重要的组成部分。同时,在未来CPO光引擎、芯片间光互连等领域,对于硅光组装工艺的要求将会越来越高。 Ficontec是全球光子及半导体自动化封装和测试领域的领先设备制造商之一,在硅光封装设备领域具备较强的竞争力。
投资建议方向二:硅光模块大功率CW光源
外置大功率CW光源是目前硅光模块主要采用的激光器方案之一。相比较传统的EML激光器,大功率CW激光器为硅光模块提供连续的 光信号,光功率保持不变,将调制功能剥离到硅光芯片上的调制器上,这样既可以降低激光器成本,也可以降低光模块的失效比例。 外置大功率CW光源不仅可以用于硅光模块,也可以用在CPO和光互连等产品上。 目前外置大功率CW光源的功率可以分为50mW、70mW和100mW。在实际应用中,大功率CW光源可以通过分路器对多个通道同时 提供连续光信号,因此功率越大,越多的通道可以共享,单通道对应的光源成本和功耗更低。
投资建议方向三:硅光器件/硅光模块厂商
硅光器件和硅光模块是硅光子产业链的主力环节,头部厂商在硅光子技术的深度布局也将影响硅光产品的渗透率。此前硅光子技术推 动者主要是海外巨头厂商,包括英特尔、思科和Lumentum等。随着硅光子技术的不断发展,多家国内外厂商具备了硅光子技术的设 计和封装等能力,有望加速硅光子产品的渗透。 中际旭创是全球领先的光模块头部厂商,在硅光芯片领域深耕多年。公司在400G、800G等产品都有硅光产品的布局,有望在明年能 够实现批量化出货。 天孚通信的光引擎产品,既有传统分立式方案也有硅光方案。在硅光方案中,天孚通信既可以提供配套的FA连接器、MT产品、PM产 品等光无源器件,也可以提供硅光封装工艺,布局较早,具备较强的竞争力。
投资建议方向四:硅光工艺代工厂
硅光工艺代工厂负责硅光芯片的流片,目前大部分硅光器件/模块厂商都会选择自己定制化芯片设计,然后将版图给到代工厂进行流片 。国内外硅光代工厂数量也比较多,目前具备批量化流片经验的厂商包括英特尔、Tower半导体和Global Foundry等公司。 在大批量生产的时候,硅光芯片流片的良率和一致性都是非常重要的参数。因此需要花费较多的时间和金钱去攻克硅光工艺中的 know-how问题,从而保证量产的稳定性。 除了Tower和Global Foundry等代工厂,台积电、AMF和中芯国际等厂商也在积极布局硅光子技术。燕东微在硅光上亦有布局,公司 硅光工艺平台的一款光通信产品已实现工艺贯通,进入样品批试制阶段。
编辑:520中国
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