2022年真空泵行业发展现状及趋势分析 真空泵国产替代空间广阔

根据国际真空技术统计工作组（International Statistics for Vacuum Technology，后 文简称ISVT）的分类，真空行业可根据真空度的不同要求和应用领域分为8个类别， 包括粗真空、工艺真空、工业真空、半导体、薄膜沉积（除半导体外）、太阳能、 仪器制造以及科学研究，ISVT将若干市场规模比较大的子领域比如半导体、科学仪 器、太阳能等进行了单独分类。

图：真空分类

2019年全球真空市场规模为45.4亿欧元（约350亿人民币），半导体行业应用占据 最大份额。根据ISVT，2019年半导体领域真空市场需求约17.3亿欧元（约135亿人 民币），半导体需求占比达到37%左右。

2019年全球真空市场规模为45.4亿欧元（约350亿人民币），市场规模相对稳定， 半导体行业应用占据最大份额。根据ISVT数据，2017-2019年真空的市场规模为 44.9/48.8/45.4亿欧元，市场规模相对稳定。其中半导体需求占比达到37%左右，2019 年半导体领域真空市场需求约17.3亿欧元（约135亿人民币）。

1.真空泵在半导体行业应用广泛，设备更新需求大

真空泵被广泛应用在单晶硅制造、晶圆加工、封装测试等工艺中。真空泵在半导体 行业中可用于拉晶、Load Lock、Etching、CVD、ALD、封装、测试等工序。根据 Edwards官网资料，一个月产4万片的晶圆厂，通常需要1000个减排系统，2000个 干泵，以及至少500个涡轮分子泵。

图：干式真空泵在半导体行业中的应用

（1）假设每月4万片产能的12寸晶圆产线需要干式真空泵2000台，涡轮分子泵500 台；

（2）平均更新年限假定为10年（每年更换存量真空泵的10%）；

（3）半导体 用干式真空泵价格假定15万元/台，分子泵假定12万元/台；

（4）服务市场为总需求规模的25%，即为设备需求1/3。（2019年Altas真空部门服务收入占总收入的25%）。

（5）2025年的装机预测取IC Insights的估计值，2021-2025年我们根据2025年的装 机预测做了平滑处理。

预计到2025年全球半导体真空泵的设备与服务需求达到217亿元，其中设备需求约 162亿元，服务需求约54亿元。存量需求占据主导，支撑需求稳中向上。根据测算， 存量真空泵的更新与服务市场占整个设备市场的60%~70%左右，庞大的存量市场保 证了半导体真空泵的稳定需求。

2.光伏下游扩产积极，真空泵需求快速扩张

干式真空泵可用于硅片的拉晶环节、电池片的钝化镀膜环节（PECVD/ALD设备）、 组件的层压环节等。

图：干式真空泵在光伏行业中的应用

光伏巨头大规模扩产，真空泵需求快速扩张。2021年隆基股份硅片产能预计达到105GW，中环股份硅片产能达到85GW，电池片、组件环节厂商也纷纷加码产能。 根据测算，2021-2023年光伏行业真空泵设备市场需求规模分别为49.8/54.3/47.3亿 元，较之前大幅增长。

3.光伏到半导体，真空泵国产替代空间广阔

全球真空市场集中度较高，龙头占据绝大部分份额。全球真空领域的主要公司有 Edwards（英国，被Atlas收购）、Pfeiffer Vacuum（普发，德国）、Ebara（荏原， 日本）、Kashiyama（坚山工业，日本）等。以2019年为例，以Atlas真空部门的收 入约26.9亿美元、Pfeiffer Vacuum公司收入约7.1亿美元，同年全球真空市场规模 45.4亿欧元（约51亿美元），我们可以得到Atlas的市占率约53%，处于绝对龙头， Pfeiffer市占率约13.9%。

图：2019年全球真空领域市场竞争格局

目前国内真空泵企业已在光伏领域有较大突破，半导体领域逐步切入。光伏环节， 根据鲍斯股份2020年年报，公司真空泵产品打开光伏行业渠道，销售订单大幅增加， 根据鲍斯股份公告的2021年09月08日投资者关系活动记录表，2020年上半年公司真 空泵产品光伏领域占比60%，光伏领域主要客户是隆基；根据汉钟精机2020年年报， 公司真空产品在太阳能光伏产业已深耕多年，主要应用于拉晶及电池片制程，并实 现大批量供货及长时间可靠运行，以优异的性价比赢得了较大的市场份额；根据中 科仪招股说明书，公司干式真空泵产品也已被行业龙头企业隆基股份、晶盛机电大 批量采购使用。半导体领域，根据中科仪的招股说明书，中科仪的真空产品已经进 入了长江存储、上海积塔等半导体客户。半导体行业对真空泵的要求更高，国产真 空泵需要较长的时间进行技术探索和验证，但是国产化的进程已经开始，预计将逐 步提高市场份额。