2023年华特气体研究报告 聚焦电子特种气体，不断突破高端特气领域

1.华特气体：国产特种气体龙头，赋能半导体行业生产

1.1.国内特种气体领军企业，引领实现国产替代

国内特种气体领军企业，引领实现国产替代。广东华特气体股份有限公司致力于 特种气体国产化，打破大规模集成电路、新型显示面板等高端领域气体材料制约的民 族气体厂商。1）1999-2005 以工业气体为基石开拓市场，公司成立于 1999 年主要面对 普通工业气体零售市场进行销售，发展重点放在扩大销售网络和提高服务质量。2） 2005-2011 重心转向特种气体，2005 年确立将以特种气体为主营业务，大力投入特种 气体研发，并于 2006 年在准分子激光气首先取得突破，并在临床医学方面实现应用。

3）2011-至今 聚焦电子特种气体，不断突破高端特气领域，2011 年实现高纯三氯甲烷、 高纯四氟化碳、高纯二氧化碳等产品量产。2013 年获得业内技术要求最严格的集成电 路终端客户认证，正式进入国内集成电路产业。2017 年公司股票上市新三板，同年， 光刻气通过全球最大的光刻机供应商 ASML 公司认证。2018 年公司在全国股转系统终止 挂牌，并于 2019 年 4 月在科创板上市（股票代码：688268）。现已成功实现对国内 8 寸 以上集成电路制造厂商超过 90%的客户覆盖率，在半导体领域取得较高市场认可度。

公司实控人持股 36.63%，股权结构稳定。截至 2022 年 9 月，石平湘先生直接持有 公司 10.56%的股份，并通过华特投资、华弘投资、华和投资和华进投资间接持有公司 21.57%的股份，石思慧女士直接持有公司 4.49%的股份。石平湘、石思慧为父女关系， 两人为一致行动人，并合计持有公司 36.63%的股份,为公司共同实际控制人，股权集中 且稳定。公司子公司近 20 家，主要集中在珠三角地区，近年来辐射范围逐步向华东、 华中、西南、东北及全国、全球扩散，在江苏、湖南、江西、浙江、上海、黑龙江、 四川、泰国等地设立子公司。

公司目前已形成以特种气体的研发生产及销售为核心，辅以普通工业气体和相关 气体设备与工程业务，提供气体一站式综合应用解决方案的业务模式。公司拥有三大 核心业务，气体产品覆盖普通工业气体、电子工业用气体、电光源气体、超高纯气体、 标准气体、激光气体、医用气体、食品工业用气体等十几个系列，共 200 多个品种， 目前已经实现约 50 个产品的进口替代。截至 2022年6月30日，共取得各项专利 158 项，参与制定 47 项国家标准。

1）特种气体：公司特种气体产品面向集成电路、显示面板、光伏新能源、光纤光缆 等新兴产业，在电子领域实现了包括：高纯四氟化碳、高纯六氟乙烷、光刻气、高纯 二氧化碳、高纯一氧化碳、高纯氨、高纯一氧化氮、高纯三氟甲烷、高纯八氟丙烷、 锗烷、高纯乙烯等众多产品的进口替代，产品主要应用于清洗、蚀刻、光刻、外延、 沉积、成膜、掺杂、标准、激光、食品、电光源等场景。公司将专注于以半导体材料 为核心的高端产品研发为主。随着消费品市场的升级和我国消费观念的转变，公司积 极开拓医疗保健、食品等行业的民用类应用产品，积极地促进相关行业的快速发展。

2）普通工业气体：公司普通工业气体产品主要为氧气、氮气、氩气、工业氨气等。 3）工程与设备：公司气体设备主要包括低温绝热气瓶、小铝瓶、 汽化器、撬装装置、 低温压力容器等；气体工程主要是为客户提供供气系统设计、安装、维修等配套服务。

1.2.可转债扩产电子特气产品，股权激励绑定人才

可转债扩产电子特气产品，深化高端特种气体业务布局。公司于 2022 年 12 月发布 可转债说明书（注册稿）拟募集资金 6.46 亿元，其中 3.83 亿元用于年产 1764 吨半导 体材料建设项目，预计建设期为 2 年，建成后将生产高纯一氧化碳、高纯一氧化氮、 高纯六氟丙烷及异构体、电子级溴化氢、电子级三氯化硼、超高纯氢气、超纯氪气、 超纯氖气和超纯氙气共 1764 吨。公司致力于打破 6N 及 6N 以上的超高纯气体以及半导 体前驱体材料主要依赖国外进口的情况。另外，0.73 亿元用于研发中心新建设项目， 1.9 亿用于补充流动资金。公司顺应半导体产业国产化趋势，不断提升产能，扩大现有 经营规模，同时进一步丰富特种气体产品种类，从而满足下游增长的需求。

设定以归母净利润为指标的业绩考核目标，持续激发高质量发展活力。2023 年 3 月 1 日公司实施限制性股票激励计划，本激励计划总数为 37.40 万股，占总股本 0.311%， 其中首次授予第一类限制性股票 30.00 万股，占总股本 0.249%，授予价格为 41.36 元/ 股。首次授予第二类限制性股票 5.92 万股，占总股本的 0.049%，授予价格 41.36 元/ 股。首次授予权益合计 35.92 万股，约占本激励计划拟授予权益总量的 96.04%；预留 授予第二类限制性股票 1.48 万股，约占本激励计划拟授予权益总量的 3.96%。首次授 予的激励对象合计 26 人，占公司员工总人数的 2.02%，包括董事、 高级管理人员、核心技术人员、中层管理人员等。第一个归属期间自首次授予之日起 12 个月至 24 个月，归属比例为 40%；第二个归属期自 24 个月至 36 个月，归属比例为 30%；第三个归属期自 36 个月至 48 个月，归属比例为 30%。

公司对首次授予的限制性股票设立以归母净利润为指标的业绩考核目标，2023- 2025 三个考核期分别对应 1）以 2022 年归母净利为基数，2023 年度公司归母净利润增长率不低于 15%，触发值为 2023 年度公司归母净利润增长率不低于 13.5%；2）以 2022 年归母净利为基数，2024 年度公司归母净利润增长率不低于 38%，或以 2023 年归母净 利为基数，2024 年归母增长率不低于 20%。触发值为 2024 年度公司归母净利润增长率 不低于 33.93%或不低于 18%（2023 年归母净利为基数）；3） 以 2022 年归母净利为基数，2025 年度公司归母净利润增长率不低于 72.5%，或以 2024 年归母净利为基数，2025 年归母增长率不低于 25%。触发值为 2025 年度公司归母净利 润增长率不低于 64.06%（2022 年归母净利为基数）或不低于 22.5%。

1.3.特种气体竞争优势强，归母净利同增59%创新高

业绩高增创新高，2022 年营业收入同增 33.84%，三年复增 28.79%。2022 年公司 实现营业收入 18.03 亿元，同比增长 33.84%，2019-2022 年营收复合增速达 28.79%。 2022 年归属于上市公司股东净利润 2.06 亿元，同比增长 59.48%，2019-2022 年归母净 利复合增速达 41.31%。公司营收及归母高增主要受益于 5G、大数据、物联网、新能源 等新兴领域的不断发展带来全球半导体行业市场规模持续扩大，公司电子特种气体产 品作为半导体行业生产制造不可或缺的材料，顺应国产化趋势背景下，特种气体业务 高增。

研发投入持续增加，形成强有力竞争壁垒。2022年公司投入研发费用0.601亿元， 同比增长 27.36%，研发费用率达 3.33%。公司聚焦高端特种气体研发，2017-2019 年作 为唯一的气体公司连续三届入选“中国电子化工材料专业十强”。截至 2022 年 9 月，公 司主持或参与制订多项电子工业用气体国家标准在内的 47 项标准，1 项行业标准，1 项 国际标准和 7 项团体标准，累计取得 158 项专利，其中发明专利 21 项。不断加大研发 力度，从纯化延伸至合成环节，并积极拓展品类补充。卓越的研发水平获下游客户的 高度认可，自主研发的 Ar/F/Ne、Kr/Ne、Ar/Ne 和 Kr/F/Ne 等四种混合气于 2017 年和 2021 年分别通过全球最大的光刻机供应商 ASML 公司和日本 GIGAPHOTON 株式会社认 证的中国气体公司的产品认证，并与英特尔、中芯国际、台积电等知名企业达成合作。

净利率逐年上升，盈利能力持续增强，期间费用率显著下降。公司销售净利率逐 年上升，由 2017 年的 6.17%逐步改善至 2021 年的 9.59%，22 年全年销售净利率进一步 上升至 11.43%，公司盈利能力的持续增强。近年公司期间费用率总体呈现下降趋势， 从 2017 年的 23.99%下降至 2021 年的 14.12%，22 年全年期间费用率进一步下降至 12.71%。 特种气体为高技术壁垒高附加值产品，带动公司整体毛利率水平。2022 年特种气 体毛利率达 30.89%，作为高技术壁垒及高附加值产品连续多年维持在高毛利水平，拉 动公司整体毛利率。

2.国产替代强逻辑，特种气体迎来黄金发展期

2.1.电子特气细分应用多元，存在差异化竞争空间

电子特气品种多样化，下游应用广泛。电子特气成为半导体材料关键一环，为集 成电路、液晶面板、LED 及光伏等材料的“粮食”和“源”。电子特气种类多样,在半 导体，电子器件及太阳能领域均有重要应用，在集成电路、光电子、微电子，尤其是 超大规模集成电路、半导体发光器件和半导体材料制造过程中不可缺少的关键基础性 材料，电子产品制程工艺中的外延、化学气相沉积、离子注入、掺杂、刻蚀、消洗、 掩蔽膜生成等前道工序都依赖于电子气体。根据 TECHCET 统计，在半导体气体市场 中，硅烷占比约 22%，三氟化氮占比约 13%，离子注入气占比约 10%，氟碳类占比约 6%，六氟化钨占比约 4%，笑气占比约 4%，锗烷占比约 3%，高纯氨占比约 3%以及其 他气体。

由国家统计局发布的《战略性新兴产业分类（2018）》，将电子特种气体及电 子大宗气体列入电子专用材料制造重点产品。随着下游电子半导体、新能源等行业的 快速发展以及国家政策多维提振，各类气体产品正处于快速发展期。

半导体技术迭代叠，催发特气行业要求提升。特气消耗量随下游半导体制程精密 化而增加。根据咨询公司 Techcet 的预测，2021 年全球芯片生产的所需的电子特气的消 耗量约为540公吨。伴随下游芯片制造技术的发展，对于气体的杂质过滤、质量稳定等 要求也有更为严格的标准，如 10nm 以下的先进制程芯片对于产品往往需要气体达到 6N 级(99.9999%)甚至更高纯度；逻辑芯片从 28nm 到 7nm，产品的金属杂质须下降 100 倍，污染粒子的体积须缩小 4 倍。而气体纯度每提升一个 N 级别，粒子、金属杂质含 量每降低一个数量级，都将带来工艺复杂度和难度的显著提升。特气的杂质会导致半 导体芯片中的致命缺陷，则会严重影响芯片良率从而降低芯片产量。

因此，特种气体供应商必须在制造阶段、交付阶段、气体传输系统和工艺室中减少杂质含量。除了对 气体供应商的技术与工艺水平具备高要求，新兴行业客户通常需要定制化、一站式服 务，倾向于多品种、小批量、高频次运送的气体，也考验着气体供应商如产品种类多 样化、物流配送能力、需求快速响应的经营能力。

电子特气占特种气体市场 63%，半导体需求成为行业扩容关键。特种气体广泛运 用于电子半导体、化工、新能源、医疗环保、航空航天等下游应用领域，根据亿渡数 据统计，2021 年我国特气下游应用领域中电子半导体、化工、医疗环保分别占比达 43%、38%、9%。2021 年特种气体的细分赛道中，电子特气的市场规模占比达到特种 气体市场总规模 63%，而电子特气下游细分应用领域中，集成电路、显示面板、LED 领域占比分别为 43%、21%、13%。半导体等下游需求成为特气行业扩容关键点。

电子特气占晶圆制造材料成本 13%为第二大耗材，本土材料厂商将直接受益于中 国大陆晶圆制造产能扩张。电子特气是半导体制造中不可或缺的一部分，对半导体性 能影响大。约 44%的电子特气可应用于半导体领域中，应用于如化学气相沉积、离子 注入、光刻胶印刷、扩散、刻蚀、掺杂等重要环节，占晶圆制造材料 13%的成本，仅 次于硅片，是半导体第二大耗材，占 IC 材料总成本的 5%-6%。一个八寸的芯片厂每年 气体的使用金额约为5千万元人民币。半导体材料与晶圆厂具备伴生性，本土材料厂商 将直接受益于中国大陆晶圆制造产能扩张。

中国为全球最大半导体市场占比超三成，本土晶圆产能供需缺口较大。根据中国 半导体行业协会披露，中国半导体产业销售额将由 2017 年的 7885 亿元增长至 2023 年 的 15009 亿元，年均复合增长率达 12%。根据 IC Insights 预测，2023-2026 年全球半导体销售额将实现强劲的增长，攀升至 8436 亿美元，年复合增长率将达到 6.5%，我国半 导体市场有望将借此持续扩张。我国作为全球最大的半导体市场，然而我国本土晶圆 产能供需缺口依旧较大，2021 年底中国晶圆全球产能占比仅为 16%（包含台积电、海 力士等外资产能），远低于半导体销售额全球占比（35%），自主可控依旧为逆周期扩 产核心驱动力。

全球晶圆厂资本开支强劲，大陆主要晶圆产线 2021-2025 年四年产能复增 16.6%。 2018 年-2022 年全球晶圆厂资本开支力度逐年增加，2022 年达 613 亿美元;据 Gartner 预 测，2022-2025 年仍将维持在 500 亿美元以上。从扩产节奏来看，全球晶圆厂仍处于扩 产周期。根据 SEMI 预测,2025 年全球晶圆厂产能将达到 228 万片/月(约当 8 英寸),2022- 2025 年产能 CAGR9.6%。国内各大晶圆厂仍处于扩产周期，在 2025 年前仍在进行产线 扩建。根据我们的统计，至 2025 年底，头部晶圆厂的产能距 2021 年新增 296.9 万片/月 (约当 8英寸)。2021-2025 年大陆晶圆产能复合增速 16.6%。晶圆厂扩产明确，拉动上游 电子特气需求不断增长。

下游高景气度产能扩张明确，电子特气加速启航。随着中国工业迅速崛起、国家 宏观政策指引、产业结构变革引起以特种气体为代表的用气需求浪潮，中国工业气体 市场规模不断扩大。2021 年作为“十四五”开局之年，各地发布了集成电路产业发展 规划和产业规模目标，根据芯思想研究院对各地政策目标的统计和估算，到 2025 年我 国集成电路产业规模（设计、制造、封测、设备、材料）将超过 4 万亿元。其中，上 海于 2021 年 6 月发布《上海市战略性新兴产业和先导产业发展“十四五”规划》提出 “十四五”期间，集成电路产业规模年均增速达到 20%左右。电子特气作为集成电路的 重要耗材，需求将随着中国集成电路行业的发展不断增长。根据亿渡数据统计，2021 年我国特种气体市场规模已突破 342 亿元，同比增长 21.28%，4 年复增达 18.24%。

电 子气体市场规模呈高速上升趋势，21 年规模达 216 亿元，同增 23.43%。我们预计未来 我国特种气体市场将继续保持较高增长。假设 2022-2030 年特种气体增速按 21.28%， 电子特气增速按 23.43%进行测算，2025/2030 年我国特种气体市场规模可达 740/1941 亿元，其中电子特气市场规模为 501/1436 亿元。

2.2.国产替代强逻辑，电子特气加速启航

政策引导国产替代，期待潜力充分释放。2017 年 1 月，工信部等四部委首次提出， 加快高纯特种电子气体研发及产业化，解决极大规模集成电路材料制约。电子特气行 业获得国家政策的大力扶持，助力打破国外厂商垄断。2019 年 12 月，工信部发布的 《重点新材料首批次应用示范指导目录（2019 版）》提出，将用于集成电路和新型显示 的电子气体的特种气体——高纯氯气、三氯氢硅、氯化氢、氧化亚氮等列为重点新材 料。2021 年 12 月，工信部发布的《重点新材料首批次应用示范指导目录（2021 版）》 提出，将发展包括特种气体在内的 198 种先进基础材料。

技术突破叠加价格优势，我国特种气体国产比例逐年提高。根据金宏气体招股说 明书，2018 年全球电子特气市场份额中：德国林德集团、美国空气化工集团、法国液 化空气集团、日本大阳日酸株式会社，四大集团已占据全球电子特气 90%以上的市场 份额，形成寡头垄断格局。 国家政策引导下不断发展创新，逐步打开高端特气市场国产化率逐年提高。我国 电子特气起步较晚，目前外资在产品质量和产业规模上仍具有较大优势，根据金宏气 体招股 说明书显示，2018 年我国电子特种气体市场中 88%的市场份额为外资所垄断。 近年来，我国气体企业加快攻克重要领域“卡脖子”问题，在各领域逐步实现气体的进 口替代。根据亿渡数据统计，2020 年我国电子特气企业市占率已提升至 15%，仍有 85% 被外资所垄断。在“十四五”自主可控、国产化发展指引下，我国气体企业市占率有望 进一步提升。

电子特气市场集中化特征明显，进口替代扩产需求旺盛。特种气体作为危险化学 品，其产品包装和运输均有严格的规定，部分产品的进出口受相关国家管制。国内企业物流成本低，供货及时，电子特气的产品特性决定其适宜本地化生产。再者，国产 高纯气体产品均价只有国际价格的 60%，具备价格优势。在核心环节技术上，国内企 业部分产品的容器处理技术、气体提纯技术、气体充装技术和检测技术已经达到国际 通行标准。因此，与国外公司相比，国内电子特气公司在运输成本、产品价格、核心 环节技术水平均具备竞争优势。

国内厂商已在部分特气细分领域实现进口替代，产品差异化竞争格局。近年来我 国特气企业正在加速突破外资气体垄断的局面，国内优质厂商如华特气体已实现六氟 乙烷、三氟甲烷、八氟丙烷、光刻混合气、四氟化碳、高纯氨、高纯二氧化碳、高纯 一氧化碳等近 50 个品种的进口替代，南大光电实现磷烷、砷烷等产品的国产替代，金 宏气体实现超纯氨、高纯氧化亚氮、电子级正硅酸乙酯等产品的进口替代，其超纯氨 产品占据国内大部分市场。

下游客户对气体供应商的选择极为审慎，一般需经过审厂、产品认证 2 轮严格的 审核认证。其中，光伏能源、光纤光缆领域的审核认证周期通常为 0.5-1 年，显示面板 通常为 1-2 年，集成电路领域的审核认证周期长达 2-3 年。以 ASML 认证为例，主要有 四个环节：背景调查、文件审查、测试、验厂。以法国液空为例，主要对于生产装备、 流程、检测实验室以及质量管控体系等进行详细认证，重要认证环节包括验厂、审核 等。

国内厂商如华特气体目前已获得荷兰 ASML 光 刻 机 设 备 商 认 证 和 日 本 GIGAPHOTON 株式会社认证。凯美特气的光刻气于 2023 年 2 月获得光刻机激光设备 头部厂商 ASML 子公司 Cymer 认证，于 2021 年相继通过了法国液空、美国相干的稀有 气体、混配气认证。金宏气体高纯氧化亚氮、笑气、氨气通过中芯国际稽核认证。目 前我国各气体企业正在积极推进下游客户认证，构建客群先发优势。

3.华特气体：我国特种气体领航者，技术品类客源优势显著

3.1.技术优势推进国产化进程，向全品类发展

公司主要特气产品为氮氧化合物、氟碳类、氢化物、碳氧化合物、光刻及其他混 合气体。2022 年分别占总营收 5.71%、10.77 %、12.02%、6.13%、33.18%，毛利率为 27.26%、30.95%、22.30%、53.81%、28.79%。公司自主研发的氟碳类、光刻稀混气类、 氢化物等产品主要应用在芯片制程工艺中的蚀刻、清洗、光刻、外延、沉积/成膜、离 子注入等环节，聚焦高端特种气体产品，毛利率高，促使营收规模迅速增长。 积极助力国产化进程打破外资垄断，实现近 50 个产品国产替代。

公司是国内首家 打破高纯六氟乙烷、高纯三氟甲烷、高纯八氟丙烷、高纯二氧化碳、高纯一氧化碳、 高纯一氧化氮、以及光刻气（Ar/F/Ne 混合气、Kr/Ne 混合气、Ar/Ne 混合气、Kr/F/Ne 混合气）等产品进口制约的气体公司。2017 年，公司光刻气通过全球最大的光刻机供 应商 ASML 认证，成为我国唯一通过 ASML 认证的气体公司，并为全球仅有的四家通 过其认证的气体公司之一。拥有 ASML 强大的信用背书，公司技术能力受到广泛认可。 凭借多年潜心研究缔造的技术优势，积极助力国产化进程，打破了集成电路等高端应 用领域被液化空气集团、林德集团、日本酸素控股、Merck 等外企垄断局势。

产品品类加速扩容，公司特种气体产品多达 230 余种。公司主要的下游应用领域 为集成电路、显示面板等新兴行业，该类客户对气体需求较为多元化。由于下游产业 工艺节点不断缩小，芯片制造精细化，对特种气体品类的要求也随之提高。仅集成电 路制造就需要经过硅片制造、氧化、光刻、气相沉积、蚀刻、离子注入等工艺环节， 需要的特种气体种类就超过 50 种。因此，公司多年来不断地提升品类覆盖度，已成为 国内经营气体品种最多的企业之一，产品多达 240 余种。其中，在研项目 48 项，其中 包括 10 项进口替代技术，15 项国内领先技术，18 项行业领先技术，1 项国内空白技术。 在建工程 22 项，取得生产、经营资质覆盖产品种类超过 100 种。其中，特种气体品类 约 230 余种，普通工业气体 10 余种，产品种类优势明显。多品类覆盖战略有助于公司 扩张规模及提升客户粘性。

技术作为核心竞争力，卓越研发技术筑起高护城河。近五年研发支出从 2016 年 0.16 亿提升至 2022 年 0.60 亿，研发费用率从 2.44%提高到 3.33%，以技术优势奠定公 司发展基石，积极推进特种气体产品研发，产品应用环境集中在蚀刻清洗、气瓶储罐、 沉积/离子注入三大类。公司掌握了特种气体从生产制备、存储、检测到应用服务全流 程涉及的关键性技术，包括气体合成纯化、混配（如混合气）、气瓶处理、分析检测以 及供气系统的设计、安装等环节。将研究重心放在电子特种气体产品，成为行业标准 制定者，截至 2022 年 6 月 30 日，主持或参与制定包括多项电子工业用气体国家标准在 内的 47 项标准，累计取得 158 项专利，承担国家《高纯三氟甲烷的研发与中试》、广 东省 “平板显示器用特种气体”研发等重点项目，并于 2017 年、2019 年、2021 年作为 唯一的气体公司连续三届入选“中国电子化工材料专业十强”。

发行可转债项目募集资金，顺应政策扩产满足市场需求。公司于 2022 年 12月 2 日 发布公告拟发行可转债募集 6.46 亿元，其中 3.83 亿元用于年产 1764 吨半导体材料建设 项目，项目投资总额 4.66 亿元，预计项目达产后，将新增高纯一氧化碳、高纯一氧化 氮等特种气体年产 1,764 吨的产能，项目建设周期为 2 年。根据公司公告，完全达产后 年均销售收入为 71305.49 万元，年均净利润 12077.47 万元，项目投资回收期为 6.82 年。

3.2.产品获行业龙头企业认证，客户覆盖面广泛粘性强

行业存在客户认证壁垒，公司产品得到广泛认可。以电子特气为例，气体质量会 决定整条生产线产品的质量，故下游产业客户对气体供应商的选择极为审慎严格，一 般均需经过审厂、产品认证 2 轮严格的审核认证，其中光伏能源、光纤光缆领域的审 核认证周期通常为 0.5-1 年，显示面板通常为 1-2 年，集成电路领域的审核认证周期长 达 2-3 年，同时双方一旦建立合作关系后，不会轻易更换气体供应商，客户粘性较强， 形成较高的客户壁垒。

公司产品获下游行业龙头企业认证，充分验证公司高技术水平和卓越生产管理能 力。2017 年公司自主研发的 Ar/F/Ne、Kr/Ne、Ar/Ne 和 Kr/F/Ne 4 种混合气得到全球最 大光刻机制造厂商 ASML 的认证；2019 年高纯锗烷取得海力士的认证，并于 2020 年起 供应给海力士，同时进入三星认证流程。同年，高纯八氟环丁烷也得到日本大金认可， 并已批量供应。2021 年，公司自主研发的 Ar/Ne/Xe、Kr/Ne、F2/Kr/Ne、F2/Ar/Ne 混合 气 获 得 光 刻 用 准 分 子 激 光 机 和 极 紫 外 光 刻 （EUV） 的 开 发 商 和 制 造 商 日 本 GIGAPHOTON 株式会社的认证，是目前国内唯一一家同时通过荷兰 ASML 公司和日 本 GIGAPHOTON 株式会社认证的气体公司。

公司自主研发的高纯一氟甲烷、高纯二 氟甲烷和高纯乙烯等产品已经顺利导入半导体客户认证并获得通过，氢化类的锗烷已 经供应了韩国第二大存储器企业，通过了德国半导体厂英飞凌的认证，并拿到了订单； 2022 年高纯三氟甲烷已应用到半导体 5nm 先进制程工艺，高纯锗烷已通过韩国第一大 存储器企业5nm先进制程的认证。公司准分子激光气体产品于2023年1月通过Coherent 德国公司 ExciStar 激光器的 193nm 测试，这是对公司该系列产品在准分子激光气体领 域质量及生产能力的认可，为公司未来在准分子激光气体领域提升认可度和知名度打 下关键基础。

公司未来将研发更多氢化类、氧化类、碳氢、硅基类等材料，一方面在 原有半导体客户导入更多产品品类，拓展公司客户份额，向头部客户集中；另一方面 积极瞄准新的半导体产线、第三代功率半导体、功率器件、光纤芯片等领域，开拓新 业务。公司将充分利用自身渠道优势，拓展更多境内外半导体客户，提升国际市场竞 争能力。

公司特种气体主要作为半导体行业原料，逐步向食品、医疗等领域延伸。2019 年 公司特种气体业务营收主要集中于半导体行业，占比达 65%，主要出口到日本和欧洲 发达国家。在集成电路等高端领域由液化空气集团、林德集团、大阳日酸等国外气体 公司寡头垄断的情况下，公司经过长期的产品研发和认证，成功实现了对国内 8 寸以 上集成电路制造厂商超过 80%的客户覆盖率，解决了中芯国际、华润微电子、台积电 （中国）等客户多种气体材料的进口制约，并进入了多家全球领先的半导体企业供应 链体系。

公司部分产品已批量供应 14nm、7nm、5nm 产线。在集成电路、显示面板等 半导体领域，公司也取得了较高的市场认可度。在夯实半导体下游客户的同时，逐步 向食品、医疗等下游领域拓展，公司目前正在积极进行高压氧化亚氮小气瓶封装技术 的研制以用于食品级氧化亚氮的高效充装，以及环氧乙烷消毒混合气体生产技术的研 发以用于医疗领域的杀菌功效，进一步拓展下游多元化应用场景。

3.3.构建综合型气体供应商模式，产业链向上延伸有效提升盈利水平

公司采取特种气体为核心，辅以普通工业气体和相关气体设备与工程的业务发展 战略，构建综合型气体服务模式。公司普通工业气体产品主要包括氧气、氮气、氩气、 工业氨气等，2022 年普通工业气体实现营收 2.20 亿，占总营收的 12.21%，毛利率达到 12.42%，广泛用于金属冶炼、化工、机械制造、家电照明等产业，面向的客户广泛且 需求量大，为公司提供稳定的收入。公司设备与工程服务包括出售低温绝热气瓶、汽 化器等气体设备及为客户提供的供气系统设计、安装、维修等配套服务，包括为特种 气体客户提供的定制化高纯洁净供气系统服务。公司将提高综合服务能力作为重要战 略，从而加强竞争力，气体的产品种类丰富，互相促进，最大程度满足客户的品种需 求。

“一站式”气体服务，营造综合服务能力优势。公司下游客户具有用气多样化、 分散化的特点，公司具备业内领先的物流配送能力，组建近百辆槽车、货车组成的专 业运输团队，半径 200 公里内均可一日送达，做到产品销售与售后一体化，达到区域 性综合服务能力的新高度。产品多品种协同再加上物流与售后的一体化，极大程度满 足客户的需求与提升客户满意度，形成了公司强大的产品与服务优势。 特种气体产品延伸产业链，打造闭环生产。向市场空间更大的电子特气产品靠近， 并从纯化延伸到合成环节，完善全面链条。公司特种气体产品目前以纯化生产工艺为 主，相较于从上游合成端开始生产，公司纯化的工艺流程较短，初始资金投入较低， 但需对外采购原材料粗品，原材料成本较高。

近年公司高度重视毛利率水平，正在积 极进行研发以将公司特种气体产品从纯化延伸至上游合成环节，由小品类延伸大品类， 以硅基类产品为切入点，布局乙硅烷的合成项目建设。目前公司在研项目包括：六福 丁二烯的合成与纯化、TSA 的合成纯化研制、硅基前驱体-乙硅烷的合成纯化研制、高 纯锗烷合成与转充技术等，进一步提升氢化物、氟碳类等高毛利合成气占比，推动公 司盈利水平进一步提升。

4.盈利预测

通过以上分析，我们认为： 1）普通工业气体：公司普通工业气体产品主要为氧气、氮气、氩气、工业氨气等。 伴随疫情后整个下游工业企业的景气度回升，需求量支撑作用彰显，推动产品销量的 持续上涨，从而带动普通工业气体营收逐步升温。预计 2023-2025 年普通工业气体营业 收入增速分别为 38%、32%、32%。2023-2025 年普通工业气体毛利率分别为 16%、 20%、24%。

2）特种气体：公司作为国内较早将战略聚焦特种气体的企业，先发优势明显。截 至 2022 年 6 月 30 日公司已成功实现了对国内 8 寸、12 寸集成电路制造厂商超过 80% 的客户覆盖率，彰显客户优势。公司目前是国内经营气体品种最多的企业之一，现有 产品多达 240 余种，并积极助力国产化进程打破外资垄断，实现 20 多个产品国产替代。 公司于 2022 年 12 月发行可转债拟募集资金 6.46 亿元，进一步向全品类气体供应商进 军，有望成为公司未来新增长点。预计 2023-2025 年特种气体营业收入增速分别为 9%、 21%、21%。2023-2025 年特种气体毛利率分别为 34%、35%、37%。

a) 氟碳类：公司部分特种气体产品已批量供应 14nm、7nm 等产线，并且公司 的部分氟碳类产品已进入到 5nm 的工艺使用。叠加公司江西华特氟碳类纯化产能 的陆续释放，预计 2023-2025 年氟碳类特种气体营业收入增速一致，保持在 30%左 右。2023-2025 年氟碳类特种气体毛利率分别为 34%、37%、40%。

b) 氢化物：公司氢化类的锗烷在 2021 年已实现韩国第二大存储器企业的供应， 并通过了德国半导体厂英飞凌的认证。后在 2022 年底通过韩国第一大存储器企业 5nm 认证。叠加 2022 年 6 月江西华特锗烷、硅烷合成逐步实现的量产能力以及 22 年 10 月新增的 5 吨/年的锗烷生产线扩建，将促使氢化物业务营收规模迅速增长。 预计 2023-2025 年氢化物营业收入增速一致，保持在 16%左右。2023-2025 年氢化 物毛利率分别为 26%、30%、33%。 c) 碳氧化合物：受下游需求带动，碳氧化合物销量大幅上涨。预计 2023-2025 年碳氧化合物营业收入增速保持在 30%左右。2023-2025 年碳氧化合物毛利率分别 为 55%、56%、58%。

d) 氮氧化合物：在下游需求逐步回温、公司产能稳定释放的背景下，预计 2023-2025 年氮氧化合物营业收入增速分别为 60%、25%、25%。2023-2025 年氮氧 化合物毛利率保持在 27%左右。 e) 光刻及其他混合气体：公司准分子激光气体产品于 2023 年 1 月通过 Coherent德国公司 ExciStar激光器的 193nm测试，这是对公司该系列产品在准分子 激光气体领域质量及生产能力的认可。伴随半导体产业扩张与公司进口替代因素， 并考虑稀有气体价格逐步回归中枢水平，预计 2023-2025 年光刻及其他混合气体营 业收入增速分别为-16%、20%、20%。2023-2025 年光刻及其他混合气体毛利率保 持在 34%。 f) 其他特种气体：预计 2023-2025 年其他特种气体营业收入增速一致，保持在 10%左右。2023-2025 年其他特种气体毛利率分别为 35%、32%、32%。

3）设备与工程：公司气体设备主要包括低温绝热气瓶、小铝瓶、 汽化器、撬装装 置、低温压力容器等；气体工程主要是为客户提供供气系统设计、安装、维修等配套 服务。预计 2023-2025 年设备与工程营业收入增速分别为 15%、10%、5%。2023-2025 年设备与工程毛利率分别为 16%、16%、12%。 4）其他业务：预计2023-2025年其他业务营业收入增速分别为15%、15%、10%。 2023-2025 年其他业务毛利率分别为 75%、77%、78%。

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