建筑行业专题报告：洁净室内部各系统产业链及公司梳理

洁净室：晶圆制造的底层基础设施与环境保障

集成电路产业流程包含单晶硅片制作、IC设计、IC制造、IC封装、IC测试五大板块。其中硅片制造、IC晶圆制造、IC封装核心工序必须在洁净室内完成，且对于洁净度的要求非常高。随着集成电路工艺节点的不断微缩，制造过程对空气分子污染物（AMC）的控制要求日益严苛。AMC包括酸性气体、碱性气体、有机分子、水汽和掺杂物五大类，可作用于半导体制造多个流程，引发扩散、薄膜、光刻、离子注入等多种缺陷良率问题。因此，洁净室作为半导体制造的核心基础设施，其重要性持续凸显。

洁净室是一套高度集成的复杂受控环境体系，主要涵盖内部装修系统、空调机械系统、生产环境清洁系统、电力及仪控系统、防微振系统、消防及安全系统六大板块。其中，暖通空调系统（HVAC）、高纯工艺系统和工艺废气治理系统是洁净室系统的三大核心子系统，分别承担着环境控制、介质供给和污染处理的关键职能。

HVAC系统：过滤耗材与设备的双重成长逻辑

HVAC系统是洁净室控制AMC的关键系统，其核心在于通过风机过滤单元（FFU）搭载高效/超高效过滤器，提供稳定的洁净气流。FFU的性能指标主要包括总静压、耗电量和噪音，其中能耗成本在空气过滤装置整个生命周期中占比约80%。过滤器企业的核心壁垒在于滤料性能与客户认证，一旦经下游客户认证，耗材的复购将成为企业稳定的收入来源，具备对冲下游行业周期波动的能力。

全球HVAC产业链呈现分层竞争格局。海外龙头企业如爱美克、康菲尔、日本无机等多为耗材加设备双布局，占据高端市场主导地位。国内企业中，再升科技聚焦上游滤料耗材，已完成从原材料到过滤材料的一体化布局，规模优势显著；美埃科技则是国内少有的兼具FFU和过滤器生产能力的厂商，已通过中芯国际等龙头客户认证，在国内半导体洁净室行业市占率约为30%；创元科技旗下江苏苏净业务覆盖洁净室多个系统，包括暖通空调、废气系统及超纯水系统等。

高纯工艺系统：国产替代加速与系统集成突破

高纯工艺系统负责将高纯气体、化学品和超纯水从源头稳定传输至终端设备，是保障晶圆良率的底线。高纯特气系统技术难点在于纯度控制、工艺稳定性和安全性，至纯科技在该领域处于领先地位，截至2025年在中国大陆主流12寸晶圆厂特气设备及系统市占率达46.9%。正帆科技则通过布局上游非设备类电子特气和中游系统集成业务，实现“CAPEX+OPEX”双轮驱动，2026年上半年新签订单同比增长62%，展现出较强的业绩修复能力。

超纯水系统行业壁垒极高，要求系统能稳定运行10年以上。目前全球半导体超纯水设备领域外企份额超过80%，但国内深桑达A下属子公司中电环境已具备较丰富的超纯水系统承包经验，曾承建长鑫集电等重大项目。零部件方面，新莱应材的高洁净应用材料已通过美国前二半导体设备厂商认证，成为其一级供应商，并计划拓展数据中心液冷领域。

工艺废气治理：与生产工艺深度耦合的技术高地

半导体工艺废气组分复杂，存在剧毒、自燃和易爆风险，治理系统并非单纯的末端环保设施，而是与生产工艺深度耦合。当废气治理系统发生故障时，可能导致连续工序中断或洁净室环境改变，直接影响产品良率。盛剑科技在厂务治理领域已实现突破，布局Local Scrubber、工艺排气及中央废气治理等环节，与京东方、中芯国际等优质客户保持稳定合作。

投资策略与重点公司推荐

伴随先进制程、存储芯片等需求增长，下游半导体行业资本开支上行，洁净室各系统需求迎来新一轮扩张。建议关注具备项目落地能力的系统集成厂商以及技术优势强、客户黏性高的核心零部件和耗材厂商。亚翔集成凭借CFD技术领先及海外高毛利订单释放业绩弹性；柏诚股份聚焦内地半导体洁净室建设，发力高毛利二次配业务；圣晖集成依托台资背景，在东南亚布局广泛，受益于产能转移趋势。此外，美埃科技、正帆科技、新莱应材、盛剑科技等在各自细分领域均具备显著的竞争优势和国产化替代潜力。