2023年精测电子研究报告 立足显示检测系统

精测电子：深耕显示检测，开拓半导体与新能源第二成长曲线

1.1 立足显示检测系统，布局半导体、新能源事业版图

公司已形成以测试设备为核心的“半导体+显示+新能源”三大领域的布局。公司于 2006 年 成立于武汉，成立之初立足于显示检测系统，公司深耕核心技术，成功集成“光、机、电、 算、软”技术能力。2016 年 11 月，公司于创业板上市。之后，公司不断开拓业务版图， 实现跨越发展，于 2018 年以子公司上海精测为切入点进军半导体市场，同年成立武汉精 能，开拓半导体和新能源版图。

国内平面显示测试领域龙头企业，三大业务线构筑产品矩阵。在平板显示测试领域，公司 处于国内绝对领先地位，产品包括模组检测系统、面板检测系统、OLED 检测系统、AOI 光学检测系统等，应用于京东方、华星光电、惠科股份、天马微、友达光电等厂商，并大 量用于苹果公司的 iPhone 和 iPad 系列产品显示测试。在半导体量/检测设备领域，公司已 成为前道过程工艺控制的国内领军企业，在技术及功能层面基本实现前道制程的量/检测设 备全覆盖，代表产品包括上海精测的膜厚量测设备、OCD 关键尺寸量测设备、电子束缺陷 复查设备；精积微的光学缺陷检测设备等。在新能源设备领域，公司已有锂电池的检测、 生产设备，包括化成分容系统、切叠一体机、锂电池视觉检测系统和 BMS 检测系统等。

1.2 股权架构稳定，子公司分工清晰协同赋能

公司股权架构稳定，彭骞为实际控制人。截至 2023 年 3 月 31 日，彭骞直接和间接合计持 有公司 26.08%的股份，为公司控股股东、实际控制人。其中，彭骞直接持股比例为 25.21%。 各子公司业务划分清晰，协同赋能。公司控股子公司上海精测、武汉精鸿主要负责半导体 业务，包括 OCD、膜厚量测、电子束和存储器老化测试设备等；全资子公司苏州精濑、武 汉精立主要负责平板显示检测设备业务；控股子公司武汉精能负责新能源业务。此外，孙 公司武汉颐光、上海精卓和上海精积微分别负责椭偏仪等核心零部件、软件平台和光学缺 陷检测，赋能子公司上海精测的半导体前道检测业务。

公司核心管理团队技术背景深厚，拥有多年业内工作或管理经验，具备丰富的产业经验和 较强的专业背景，是公司研发与管理活动的骨干力量。在核心管理团队带领下，公司将技 术研发实力作为公司发展的第一驱动力，目前已积累多年研发经验，并建立了相对完善的 研发体系，创新研发实力雄厚。

1.3 营收增长稳健，利润端短期承压

营收稳健增长，平板显示检测为第一大业务，半导体和新能源领域贡献新的业绩增长点。 2019-2022 年，公司实现营业收入分别为 19.51、20.77、24.09 和 27.31 亿元，CAGR 为 11.86%，增速稳中有进，我们认为主要源于公司在显示领域调整产品结构并优化客户，同 时延伸业务布局，向半导体和新能源板块进军等驱动因素。2023Q1，公司实现营收 6.01 亿元，同比减少 0.39%，基本持平。 从公司各业务线营收占比来看，平板显示检测业务2019-2022年营收占比分别为97.21%、 91.24%、91.32%和 79.43%，带动营收增长明显。公司新拓展的半导体和新能源业务销售 收入持续增长，营收占比持续提升，成为公司新的业绩增长点。具体而言，2022 年公司半 导体板块实现销售收入1.83亿元，同比增长34.12%，2019-2022年营收占比分别为0.24%、 3.11%、5.65%和 6.69%；2022 年公司新能源板块实现销售收入 3.43 亿元，同比增长 561.64%，2019-2022 年营收占比分别为 0.72%、3.89%、2.15%和 12.56%。

毛利率与净利率逐渐企稳，利润端有望改善。2019-2022 年，公司实现归母净利润分别为 2.70 亿元、2.43 亿元、1.92 亿元和 2.72 亿元，2021 年存在下滑主要系产品结构变化及原 材料价格上涨等因素导致的毛利率下降，以及加大研发投入导致研发费用上升所致。 2023Q1 受研发投入较 2022Q1 同比增长 27.50%影响，公司归母净利润为 1187.57 万元， 同比下滑 58.20%。2022 公司毛利率与净利率有所上升，持续下滑趋势得到缓解，分别为 44.39%和 7.62%。 分业务线的毛利率来看，2019-2022 年，公司显示业务毛利率比较稳定，基本维系在 45% 左右，2022 年为 45.46%；半导体量测业务已在国内主要集成电路厂商取得批量订单，毛 利率由 2021 年的 37.02%提升至 2022 年的 51.14%；新能源设备由于销量较小，毛利率水 平波动较大，随着新能源设备收入规模的扩大，毛利率逐步趋于稳定，2021-2022 年分别 为 30.55%和 31.37%。

1.4 持续加大研发投入，着力夯实竞争壁垒

持续加大研发投入，夯实公司竞争壁垒。2022 年公司研发投入 5.74 亿元，同比增长 34.61%，研发费用率为 21.02%，2019-2022 年研发费用 CAGR 为 29.23%。在研发投入 持续加码之下，公司优化研发团队，积累核心技术，夯实竞争壁垒。截至 2022 年末，公司 共有技术研发人员 1655 人，占公司员工总数的 51.24%；此外，公司已取得 1,888 项专利 授权、308 项软件著作权。未来随着相关专利成果的进一步转化应用，有望为公司后续发 展提供强有力的支撑。

行业：高景气下游驱动，显示、半导体和新能源设备蓝海可期

2.1 平板显示检测行业：把握下游需求，持续进行技术迭代

平板显示检测是平板显示器件生产制程中的必备环节，与显示面板产业发展具有较强的联 动性。显示技术发展具有两点规律，即画质（分辨率、色彩、响应速度、对比度等）与形 态（轻薄、可挠等）影响技术替代的可行性。 当前，平板显示行业正处于从 LCD 到 OLED 及 Mini/Micro LED 快速迭代发展阶段。相较 于传统的 LCD 技术，OLED 具有自发光、厚度薄、响应速度快、对比度更高、易弯曲及视 角广等优势，被广泛应用于智能手机和智能穿戴等消费电子领域，市场渗透率快速提升。 随着中大尺寸 OLED 产线良率提升及成本下降，OLED 在 LCD 传统领域加速渗透。而 Mini/Micro LED 作为新一代的核心显示技术，具备高显示效果、低功耗、高集成、高技术 寿命等优良特性，已成为全球显示产业厂商的共识和争相布局的重点领域。其中，Mini LED 凭借较好的显示效果和相对可控的成本，在 3C 和商用市场的应用已进入量产初期。 根据公司债券募集说明书引用 Million Insights 数据，2025 年全球 Mini LED 市场规模将达 59 亿美元。在 Micro LED 领域，目前行业应用集中在 VR/AR、智能手表等小显示模块领 域，是显示行业普遍认可的未来显示技术，我们预计市场规模和应用领域有望快速扩大。 根据公司债券募集说明书引用 IHS 预测，2026 年全球 Micro LED 显示器出货量将达 1,550 百万台。

国内显示面板市场规模稳步增长，带动平板显示检测行业快速发展。平板显示检测发展主 要受到下游显示面板产业的新增产线投资和已有产线升级改造需求的驱动。根据公司债券 募集说明书引用 Frost & Sullivan 数据，国内显示面板出货量将由 2020 年的 9,110 万平方 米增长至 2025 年约 12,120 万平方米，CAGR 为 5.88%，远高于全球增长水平。 同时，下游行业的技术升级推动了平板显示检测行业的技术创新和产品迭代。新型显示器 件，如更高的解析度（8K、16K）、刷新率（120Hz、240Hz 等）和信号传输速度（Gbps）， 具有更为复杂的制程工艺和更高的生产成本，对产线良率的要求更为严苛。例如，由于 Mini/Micro LED 采用硅基工艺，所以显示检测设备企业纷纷拓展显示晶圆及芯片段等中后 道检测产品。受益于下游客户寻求高效的综合良率管理解决方案，而平板显示检测是保障 平板显示器件生产良率的关键环节，我们预计平板显示检测行业有望迎来新一轮发展机遇。 当前，全球平板显示检测行业竞争主要集中于中日韩，国内厂商存在较大机遇。根据 CINNO Research 统计数据显示，2021 年中国大陆新型显示行业设备市场规模达 1,100 亿 元，其中检测设备市场规模达 59 亿元。此外，CINNO Research 预测随着 2022 年起 TFTLCD 及 AMOLED 多座工厂进入建设期，新的建厂和扩产有望带动中国大陆新型显示行业 检测设备市场规模在 2024 年达到 92 亿元。

2.2 半导体量/检测设备行业：行业仍存在较大需求缺口，国产 替代前景广阔

量/检测设备介绍：贯穿晶圆制造全过程，技术壁垒深厚

半导体量/检测设备贯穿晶圆制造全过程，是半导体生产各制程中的必备环节。半导体量/ 检测设备作为晶圆制造工艺全过程的控制系统，不仅需要确保产品出货的稳定性和可预期 性，同时有助于监控生产过程中各类生产设备（如光刻、刻蚀、沉积等）的参数性能，是 保证生产线迅速进入量产阶段同时确保产品良率的重要工具。 应 用 于前 道制 程和 先进 封 装的 质量 控制 根据 工 艺可 为 量测（Metrology） 和检测 （Inspection）两大环节。其中，量测指对被观测的晶圆电路上的结构尺寸和材料特性做 出的量化描述，如薄膜厚度、关键尺寸、刻蚀深度、表面形貌等物理性参数的量测；检测 指在晶圆表面上或电路结构中，检测其是否出现异质情况，如颗粒污染、表面划伤、开短 路等对芯片工艺性能具有不良影响的特征性结构缺陷。

工艺检测设备需要对生产过程中每一环节的产出品均进行无损伤的定量测量及缺陷检测工 序，Metrology 定量测量和 Inspection 缺陷检测主要设备及其原理如下：

Metrology 量测关键参数：指对被观测的晶圆电路上的结构尺寸和材料特性做出的量 化描述，包括膜厚测量、套壳误差测量、关键尺寸测量、晶圆形貌测量；

（1）膜厚及关键参数测量设备：晶圆片在制造过程中需要经历多次各种材料的薄膜 沉积步骤，薄膜的厚度及均匀度会最终影响产品的性能，因此生产过程中需实时检测 薄膜的厚度及其重要参数指标的情况，确保产品良率可观。目前基于多界面光学干涉 原理的光学薄膜测量设备是最为常用的设备，通过对薄膜实测光谱的回归迭代最终得 出薄膜厚度及光学常数。在实际操作过程中，对光谱的测量方式中最常用的是椭圆偏 振技术，光源发出的光以一定角度入射圆片表面，最终接收端通过对反射光的分析得 出最终结果，得益于较高的精确度与稳定性，可适应目前的复杂多层膜结构及超薄膜 结构的测量。

（2）套刻误差测量设备：套刻误差用来测量不同步骤形成电路图形的平面距离并发 现其差异，目前最常使用的套刻误差测量系统是光学成像系统，其基本原理是利用光 学显微成像技术获得目标图形的数字化图像，进而利用数字图像处理算法得出每一层 套刻目标图形的边界位置，在得出中心位置后即可计算出圆片第 n 层与第 n+1 层图形 结构中心的平面距离，即套刻误差。由于套刻测量存在系列误差，例如由测量系统引 发的图形位移、带测圆片引发的图形位移、总测量不确定度等，如何减少测量误差成 为了后续研究的关键问题。

（3）关键尺寸（CD）的测量设备：在集成电路芯片中，栅极的尺寸精确度尤为重要， 在光刻和刻蚀工艺后要求栅极尺寸基本不发生变化，作为电路中最微小的结构，栅极 的细微变化会对整体性能产生巨大影响，此时便需要对关键尺寸进行测量。该功能主 要通过电子显微镜（CD-SEM）实现，该设备可利用电子束移动快速且精准的识别图 形进而完成线宽的测量。

（4）表面形貌测量设备：目前的形貌测量主要通过接触式测量的方式对表面的圆片 表面的形貌进行测试，通过仪器的探针在圆片表面划过，形貌的数据信号便可传递到 终端设备，当遇到有起伏的表面时便可得到有起伏的信号输出结果。但此类设备未来 需考虑如何减少探针头接触圆片带来的损伤问题以及探针头本身的损伤问题，同时由 于探针头较为坚硬，对于一些软质表面存在无法测量的问题。

nspection 检测关键缺陷：具体应用于前道芯片制造工艺中的缺陷检测设备主要是对 圆片表面的颗粒及残留异物的检查，以及工艺过程中圆片存在的缺陷检查，包含无图 形的表面缺陷检测及有图形的表面缺陷检测设备。

（1）无图形表面缺陷检测设备：无图形缺陷检测主要用于检测制造过程中物料的品 质问题、薄膜沉积与CMP的工艺控制以及晶圆背面污染情况等。该设备工作原理是， 将激光光束照射到圆片表面，通过采集散射光或者反射光，再利用算法提取并比对表 面是否存在缺陷问题。目前为配合采取更高的灵敏度检测，需要采用更短的光学波长， 目前研发多采用深紫外和紫外波段的激光器作为照明光源。

（2）有图形表面缺陷检测设备：有图形缺陷检测是对刻蚀图形直接进行缺陷检测的 设备,大致分为光学检测和电子束检测两种主要技术的应用设备。其中,光学检测的原 理是将激光光束照在圆片上，通过圆片的转动实现全扫描，在扫描过程中遇到缺陷则 会发出信号并最终记录下缺陷位置，利用算法进一步对缺陷进行分析及解构；电子束 缺陷检测则是利用聚焦电子束对圆片表面进行扫描，通过接受反射的二次电子进而将 其转换为图像，比对得出刻蚀或者曝光工艺后的缺陷问题。电子束设备相较于光学设 备而言具有更高的分辨度，可以识别出更加微小的缺陷，但扫描速度更慢，整体二者 各有优劣。

行业空间：长坡厚雪优质赛道，中国为最大市场

量/检测设备长坡厚雪优质赛道，全球半导体设备需求稳定增长。近年来，全球半导体产业 产能扩张仍在继续，对半导体设备的需求稳定增长，全球半导体设备销售的增速明显。根据中科飞测招股书引用 SEMI 数据，2021 年全球半导体设备销售额为 1,026 亿美元，同比 增长 44.1%。根据公司债券募集说明书引用 Tech Insights 数据，2016-2021 年全球半导体 检测和量测设备市场规模的 CAGR 为 12.14%，2021 年全球市场规模达到 84.40 亿美元， 预计 2022 年全球半导体检测设备市场规模将超过 90 亿美元。

中国半导体市场颇具潜力，量/检测设备行业同步迎来了发展窗口期。鉴于国内大力发展芯 片制造产业，国内量/检测设备厂商也迎来了窗口期。根据 Omdia 预测数据，2021-2025 年 本土主要晶圆制造厂商中芯国际、华虹、长江存储、长鑫存储、华润微每年的资本开支将 继续保持在 110-130 亿美元，有望进一步推动上游半导体检测设备行业的发展。根据公司 债券募集说明书引用 Tech Insights 统计数据，2021 年国内半导体检测和量测设备市场规模 为 25.8 亿美元，2016-2021 年 CAGR 为 29.81%，预计 2022 年国内半导体检测设备市场 规模将达 31.1 亿美元，我国已成为全球最大的半导体检测设备市场。

竞争格局：美日寡头垄断局面有待改变，国产替代踏上征程

全球半导体设备市场目前处于寡头垄断局面，美日技术领先。目前来看，全球量/检测设备 行业以美国、日本发展最为先进，包括 KLA、应用材料、日立等。 KLA 内生外延打造全球龙头。据华经产业研究院数据显示，在各企业的激烈竞争格局下， 2020 年，KLA 以 52%的市场占比稳居第一，远超其他企业，部分细分领域（晶圆形貌检 测、无图形晶圆检测、有图形晶圆检测领域）甚至可实现垄断。目前 KLA 在工艺控制领域 的相关业务主要由过程控制部门主导。KLA 的设备可为各类型的芯片提供质量检测，包括 Logic、DRAM、3D NAND、MEMS 等。设备包括膜厚量测及形貌系统（Spectra Film 系 列、Aleris 系列、ATL 系列等）、图形晶圆缺陷检测系统（29xx 宽光谱等离子、Puma 激光扫描、39xx 系列超分辨率宽光谱等离子、Surfscan 系列等）、套刻量测系统（Archer750、 ATL100 等）等，几乎实现前道制程的控制全覆盖。

此外，对比同类半导体厂商，我们认为 KLA 具有更明显的成长优势及高回报趋势。这一方 面或反映出近年来市场对于过程工艺控制设备及其相关服务的重视程度不断提升，同时也 体现出量/检测设备本身的优势所在。从基本面角度出发，2010-2022 年，KLA 总收入从 18.21 亿美元增长至 92.12 亿美元，CAGR 为 14.47%；净利润从 2.12 亿美元增长至 33.22 亿美元，CAGR 为 25.76%。

量/检测设备国产化率有待提升，国内厂商踏上征程。中国半导体检测与量测设备市场中， 设备的国产化率较低，市场主要由几家垄断全球市场的国外企业占据主导地位，当前 KLA 在中国市场的占比仍然最高。目前来看，国内量/检测设备的生产厂家无法实现过程工艺的 全覆盖，各企业覆盖范围存在一定差异。根据企业布局，当前国内厂商在纳米图形晶圆缺 陷检测设备的市场规模最大，可达 18.9 亿美元，目前精测电子已实现量产，同时中科飞测 也在研发阶段；关键尺寸量测设备仅精测电子一家可投入使用，目前设备市场规模可达 7.8亿美元；套刻精度量测设备仅中科飞测实现产业化验证阶段；晶圆介质薄膜量测设备方面， 虽然精测电子、中科飞测、上海睿励均实现量产，但整体市场放量不足，当前为 2.3 亿美 元的市场规模。展望未来，受益于国内半导体产业的蓬勃发展和政策大力扶持，叠加中美 贸易摩擦背景下半导体产业链的完整性和安全性的重视程度提升，半导体设备国产化替代 进入重要机遇期，多家国内领先的半导体制造企业进入产能扩张期。在此背景下，国内半 导体检测设备市场规模有望快速增长，未来市占率有望不断突破。

2.3 新能源检测行业：锂电应用广阔，驱动电池设备需求高增

精测电子目前在新能源设备领域的主要业务为锂电池设备的研发、生产和销售。锂电池的 生产过程通常包括电极制备、电解液制备、装配和成品测试等几个主要环节，制造流程包 括前段、中段和后段三个环节： 前段：是极片制造环节，使用涂布机将原材料加工成极片； 中段：是电芯装配环节，使用卷绕机（圆柱和方形电池）或叠片机（方形和软包电池） 将极片加工成未激活电芯； 后段：是电芯检测和组装环节，旨在将未激活电芯激活并组装成成品电池，通过 PACK 集成系统最终进入电池厂，化成分容系统是核心设备。

动力电池与储能电池双轮驱动，全球锂电市场迅速扩张。动力电池为锂离子电池需求迅速 增长的主要拉动力，受益于新能源汽车市场的高速增长，动力锂电池出货量不断提升。根 据公司债券募集说明书引用 GGII 数据，国内动力锂电池出货量从 2015 年的 15.70 GWh 增长至 2021 年的 220 GWh，CAGR 为 55.30%，中国已成为全球第一大动力电池生产国 家。与此同时，储能锂电池受益于产业政策、下游电网储能和通信储能需求驱动发展迅 速。根据 GGII 数据披露，2020 年中国储能电池市场出货量为 16.20 GWh，同比增长 71%，GGII 预计到 2025 年中国储能电池出货量将达到 58 GWh。 下游景气度持续提升，带动上游锂电池设备迅速起量。受益于动力电池和储能电池行业快 速发展，全球锂电设备市场规模正在持续扩张。根据 EV Tank 数据，2021 年全球锂电设 备市场规模为 952 亿元，同比增长 67%，预计 2022 年市场规模将超过 1100 亿元。未来 随着电池企业新增产能和老旧设备更新升级，锂电设备市场规模有望进一步扩张，EV Tank 预计到 2026 年市场规模或将达到 2100 亿元。全球锂电设备生产主要集中在中国、 日本和韩国，根据智研咨询披露，中国锂电设备市场规模占比六成以上，2021 年中国锂电 设备市场规模达到 588 亿元，同比增长 104.9%。同时，中国电池企业实力明显增强，许 多电池厂商加速“出海”步伐，成功进入国际电池供应商体系中，参与国际竞争。此外， 储能、电动工具等向好发展也有望驱使锂离子电池市场规模进一步提升，我们预计未来锂 电设备需求有望进一步扩张。

业务：拓展新型显示检测设备，开辟半导体和新能源设备新增 长极

3.1 深耕平板显示检测，持续拓展产品品类

平板显示检测技术积累深厚，整体解决方案服务能力彰显龙头地位。公司成立以来一直专 注于基于电讯技术的信号检测，以市场需求为导向，紧随平板显示产业发展趋势，成功研 发了多项平板显示检测系统，是国内较早开发出适用于液晶模组生产线的 3D 检测、基于 DP 接口的液晶模组生产线的检测和液晶模组生产线的 Wi-Fi 全无线检测产品的企业，也是 行业内率先具备 8k×4k 模组检测能力的企业。一般情况下，平板显示检测行业内多数企业 的产品仅涉及“光、机、电、算、软”中的一项或两项，难以满足客户的整体需求，而公 司基于模组检测系统的优势，加大产品研发，产品已覆盖 AOI 光学检测系统和平板显示自 动化设备，打造了“光、机、电、算、软”一体化的产品线，具有较强的整体方案解决能 力，在国内处于龙头地位。

检测系统应用贯穿面板生产 Array、Cell 和 Module 三大制程，公司已实现全流程产品覆 盖。精测电子平板检测产品已覆盖 LCD、OLED、Mini/Micro-LED 等各类平板显示器件检 测系统，是行业内少数几家能够提供平板显示三大制程检测系统的企业。以主流 LCD 面板 产品的制作流程为例，LCD 的生产工艺可分为 Array 制程、Cell 制程和 Module 制程。其 中，Array 制程的主要目的是完成玻璃基板的生产；Cell 制程的主要目的是在玻璃基板上形 成液晶空盒，注入液晶后根据需求进行分割，贴上偏光片并经载入电信号作图像检查后即 成为 LCD 面板；Module 制程是把 LCD 面板与外部驱动芯片和信号基板相连接，并组装背 光源和防护罩，经检测后即成为 LCD 模组。在每个制程中，均需要相应的平板显示检测系 统。 经过多年的发展，公司在 Module 制程检测系统的产品技术已处于行业领先水平，技术优 势明显。对于 Cell，此前的市场份额之前主要被日本、韩国和中国台湾地区企业占据；对 于 Array，此前的市场份额主要被日本企业占据。随着公司近年的不断投入及发展，目前 产品完全覆盖 Cell 制程，收入规模快速增长。同时，公司开始涉足 Array 制程，部分产品 已完成开发并实现了批量销售。对比国内友商，公司技术实力优势明显，核心护城河深 厚。

积极调整产品结构，显示业务总体保持稳定。目前，公司在显示领域的主营产品包括信号 检测系统、OLED 调测系统、AOI 光学检测系统和平板显示自动化设备等，在传统及新型 显示器件的主要制程均能提供相应的产品。逐年来看，公司显示领域业务 2019-2022 年营 收分别为 18.96、18.94、21.88 及 21.69 亿元，其中 2022 年略微下滑主要由于 2022H1 疫情影响导致订单延后，叠加面板周期进入下行阶段影响。从公司显示领域各业务线来 看，公司信号检测系统毛利率较高，基本维持在 55%以上；AOI 光学检测业务贡献显示业 务主要营收，AOI 光学检测系统和 OLED 调测系统受原材料价格上涨因素及产品结构变化 影响毛利率出现一定程度的下滑。

客户资源优势深厚，携手面板大厂共同发展。平板显示行业较为集中，行业前 10 名平板 显示厂商占据了行业的绝大部分产能。由于这些企业规模较大，有较为严格的供应商准入 标准，而平板显示厂商在选定供应商后，通常不会随意更换，这对于新进入行业企业而 言，通常需要数年的时间沉淀。公司自设立以来，专注于平板显示检测系统业务，客户已 涵盖国内各主要面板、模组厂商，如京东方、华星光电、中国电子、天马微等，以及在国 内建有生产基地的韩国、日本、中国台湾地区的面板、模组厂商，如富士康、明基友达 等，客户资源优势明显，为公司业务的持续发展提供了支持。

拓展新型显示检测产品，募投打开成长空间。近年来，在面板下游需求较为低迷的背景 下，公司积极调整布局，在新型显示检测领域持续发力，助力后续稳定发展。2022 年，公 司在智能和光学仪器、Micro-OLED、Micro-LED 等新型显示领域取得了较大进展。同时， 为促进测量和精密光学仪器以及性能显示的发展，公司在 2022 年加大了对这两个领域的 投入，并专门设立了两个主体：武汉加特林和武汉精一微，深耕精密光学仪器领域；23 年初，公司在深圳设立了深圳精测，进一步助力公司在显示领域的 AR/VR 领域发展。目前公 司在智能和精密光学仪器领域的主力产品包括色彩分析仪、成像式闪烁频率测仪、色度仪 及 AR/VR 测量仪等核心产品，均打破了国外的垄断，并获得了客户批量重复性的订单。新 型检测方面，公司的 AR/VR/MR 等相应的设备也取得了突破性的进展。此外，2022 年公 司发行可转债，募集投资金用于“高端显示用电子检测系统”的研发与产业化，公司预计 达产后每年可实现营业收入约 10.51 亿元，公司预计新增净利润 1.76 亿元。

3.2 半导体量/检测长坡厚雪，公司加强研发勇立潮头

公司致力于半导体前道量测检测设备以及后道电测检测设备的研发及生产，全面覆盖光学 和电子束检测。其中，公司光学检测产品包括膜厚量测、光学关键尺寸测量 OCD、有图形 晶圆缺陷检测、晶圆外观缺陷检测、硅片形貌及应力测试设备等；电子束检测产品包括电 子束晶圆缺陷复查 Review SEM 设备、FIB-SEM 双束系统和 CD-SEM 等。作为国内半导 体量/检测设备的龙头企业，公司产品基本覆盖了国内市场，包括逻辑产线、存储和第三代 半导体，客户群涵盖了中芯国际、华虹集团、长江存储、合肥长鑫、广州粤芯等知名晶圆 制造厂商。

产品矩阵丰富，多领域设备已获得批量订单。目前，公司半导体量/检测设备矩阵主要由上 海精测和武汉精鸿两家子公司和武汉颐光孙公司构筑，各公司针对不同的设备进行突破， 目前已有阶段性成果。具体而言，在光学量测设备方面，公司子公司上海精测以椭圆偏振 技术为核心开发了适用于半导体工业应用的膜厚测量及光学关键尺寸量测系统的系列产 品；光源方面以武汉颐光为代表，在与华中科技大学等国内顶尖高校合作开发后研制出各 类椭偏仪，并广泛应用于量测设备中。

上海精测：在量测领域方面，2021 年完成了首台 CD-SEM 项目的订单交付；在前道 量测方面，公司的核心产品包括： 1) 膜厚产品：布局独立式和集成式设备，种类较为齐全，属于公司成熟产品； 2) OCD 产品：获得多家一线客户的验证通过，且已取得部分订单，后续出货量未来 可期； 3) 电子束产品：主要布局量测和缺陷检测两个领域，属于公司最先取得突破的领 域，目前已获得头部客户的验证通过。在量测领域，公司 2021 年完成了首台套 CD-SEM 订单的交付，未来 CD-SEM 产品有望为公司贡献更多收入增长点； 4) 明场设备：2022 年推出首台明场缺陷检测设备 BFI-100E，采用 BFI 系列通用技 术平台，搭载宽波段高亮度激光等离子体光源、大数值孔径物镜系统、高精度大 带宽自动对焦系统、高速扫描相机、高精密多轴主动减震工件台、整机控制软件 和图像处理算法软件，可全自动检测芯片前道制造中各类关键制程的缺陷。目前 更加先进的制程设备正在持续研发中； 5) 半导体硅片应力测量：取得客户订单并完成交付。由于该领域市场需求较大，客 户端运营情况较好，我们预计未来有望取得较好的增量。

武汉精鸿：主要聚焦自动测试设备（ATE）领域（主要产品是存储芯片测试设备），老 化（Burn-In）产品线在国内一线客户实现批量重复订单、CP（Chip Probe，晶片探测）/FT（Final Test，最终测试，即出厂测试）产品线相关产品已取得相应订单并完 成交付，目前批量订单正在积极争取中。

武汉颐光：主要布局椭偏仪，已被广泛应用于量测设备中。

多项技术领域取得重大突破，加速助力国产替代。公司在光学领域自主开发针对集成电路 微细结构及变化的 OCD 测量、基于人工智能深度学习的 OCD 人机交互简便易用三维半导 体结构建模软件等核心技术；在电子束领域自主开发了半导体制程工艺缺陷全自动检测、 晶圆缺陷自动识别与分类等核心技术，填补了国内空白。此外，公司在半导体光学、半导 体电子光学及泛半导体领域积极进行项目研发，在半导体单/双模块膜厚测量设备、高性能 膜厚及 OCD 测量设备、半导体硅片应力测量设备、FIB-SEM 双束系统、全自动晶圆缺陷 复查设备、DRAM RDBI 测试设备、CP/FT ATE 设备等方面形成了较好技术沉淀。

国内半导体量/检测设备产品领军企业，业绩加速未来可期。从产品布局来看，对比国内竞 争对手，精测电子是国内量/检测设备产品布局较为齐全的企业之一。根据公司官网披露， 公司目前产品已实现 28nm 及以上制程，相关产品正在进行 1Xnm 工艺验证。随着公司不 断在重点领域持续深耕并推出产品叠加国产替代进程加速的双重推动下，公司半导体量/检 测设备在核心产品上陆续取得了客户的认可，半导体业务持续突破。2022 年，公司半导体 业务实现营收 1.83 亿元，同比增长 34.12%；实现毛利率 51.14%，同比增加 14.12pct。 同时，公司半导体业务在手订单较 2021 年实现了较大幅度增长，截止 2022 年报披露日， 公司半导体业务在手订单 8.91 亿元，业绩加速未来可期。

3.3 深度绑定新能源大客户，募投项目驱动成长

公司在新能源设备领域主要产品为锂电池生产及检测设备，用于锂电池电芯装配和检测环 节等，包括锂电池化成分容系统、切叠一体机和 BMS 检测系统等。虽然公司进入该领域 较晚，但随着公司不断加大新能源设备领域的研发投入，并大力拓展锂电池设备布局，公 司当前已掌握双目视觉对位与纠偏技术、卷材收放卷张力控制技术等多项核心技术，技术 护城河深厚，已成为中创新航等下游知名厂商的优选合作商。截至 2022 年 9 月 30 日，公 司在新能源领域已获授权专利 80 项（含发明专利 18 项），具体应用领域涵盖化成分容测 试系统、切叠一体机、电芯装配线和激光模切机等。

积极开拓新能源产业链核心客户，携手大客户共同成长。2022 年，公司与中创新航签署 《战略合作伙伴协议》，确定公司为其锂电设备的优选合作商，在锂电设备领域开展深度合 作，共同研发迭代产品，提升双方产业竞争力。同时，公司控股子公司常州精测作为基石 投资者，参与中创新航港股发行，从而深化双方战略合作关系。除绑定中创新航大客户 外，公司在新能源设备领域的合作伙伴还有比亚迪、华为等国内标杆客户，公司也正积极 开拓与国内外知名电池厂商的合作关系。

营收增速亮眼，募投项目驱动成长。2019-2021 年，公司的新能源设备业务产生的营业收 入分别为 1,398.32 万元 8,086.03 万元和 5,184.71 万元。2022 年，公司新能源设备的市场 开拓取得突破，实现销售收入 3.43 亿元，同比增长 561.64%，毛利率为 31.37%，同比增 长 0.82pct。同时，公司化成分容自动测试系统已实现量产销售，并已取得中创新航切叠一 体机批量订单。截止 2022 年报披露日，公司在新能源领域在手订单约 4.82 亿元。展望未 来，随着公司 2022 年募投精测新能源智能装备生产项目建设完成，公司有望在锂电池视 觉检测系统、激光模切机等多个领域取得重要进展，公司预计达产年收入 14.65 亿元，有 望为公司业绩增长注入新的动力。

盈利预测

公司主营业务分为三大板块：平板显示检测业务、半导体检测业务和新能源检测业务。我 们预计随着公司后续产品线不断拓宽、产品性能持续优化以及客户群加速导入，公司业绩 有望持续成长。我们对公司各项业务的收入和毛利率的预测如下：

平板显示检测业务：预计平板显示检测业务的营收和利润将保持稳健发展态势，主要 的逻辑为公司产品核心竞争力强，产品覆盖度广，公司积极克服市场波动等外部环境 的挑战，有望持续导入下游核心面板厂商，毛利率端有望继续维持公司原有水平。

半导体检测业务：预计随着公司技术水平的不断提高、产品成熟度以及市场对公司产 品的认可度不断提升，公司半导体检测业务将迅速开拓，订单以及销售收入有望持续 增长。预计随着公司半导体检测设备出货量的增长，毛利率端或将趋于稳定。

新能源检测业务：由于新能源业务市场需求稳健增长，结合公司此前在该领域积累的 技术优势，预判公司新能源检测业务毛利率随着产品打开市场后有望逐渐增长并趋于 稳定。

（本文仅供参考，不代表我们的任何投资建议。如需使用相关信息，请参阅报告原文。）