鼎龙股份如何布局CMP的？

以成熟产品 CMP 抛光垫为切入口，推动 CMP 抛光液、清洗液、砖石碟等产品发 展，完成四大 CMP 耗材产品的横向布局。

1.CMP 抛光垫

公司是国内唯一一家全面掌握抛光垫全流程核心研发和制造技术的 CMP 抛光垫的国 产供应商， 深度渗透国内主流晶圆厂供应链，实现成熟和先进制程的全覆盖，领先优势明 显，业绩进入加速兑现期。 2021 年公司抛光垫实现营收 3.07 亿元，同比增长 288.61%，2022 年前三季度实现营收 3.57 亿元，同比增长 84.97%，业绩进入快速释放阶段。

公司武汉本部一二期现有合计产能为 30 万片/年抛光垫， 潜江三期抛光垫新品及其核 心配套原材料的扩产项目已建设完工处于试生产阶段，并已经送样给主流客户测试，目前 客户反馈测试效果良好。 公司也在积极开拓海外市场，经过在客户端的严苛验证，于 2021 年 11 月取得首张海 外订单。

2.CMP 抛光液及清洗液

自主可控加速 CMP 抛光液验证导入，多款抛光液（清洗液）已经获得国内主流晶圆 厂的吨级采购和稳定订单，2022 年前三季度累计实现产品销售收入 1,057 万元，同比增长 约 4 倍，类似 2019 年的抛光垫，将进入业绩高速增长期。

氧化硅抛光液已经持续稳定获得订单， 铝制程抛光液进入吨级采购阶段， 钨抛光液产 品于近期首次收到某国内主流晶圆厂商的 20 吨采购订单。其他各制程 CMP 抛光液产品覆 盖全国多家客户进入关键验证阶段， 为未来的快速放量奠定基础。

此外，多晶硅制程、金属铜制程、金属铝制程、阻挡层制程、介电层制程等系列共 30 余种抛光液产品在立项研发或客户验证中， 并向大硅片抛光业务领域延伸布局，同时根据 客户制程理解开发定制化产品。

产能建设方面，武汉本部工厂一期年产 5,000 吨全自动化抛光液生产线能够满足客户 端订单需求。仙桃年产 2 万吨 CMP 抛光液扩产项目及研磨粒子配套扩产项目等的产能建设 正加紧进行中，力争 2023 年夏季建设完成，为后期持续稳定放量奠定基础。

铜制程 CMP 后清洗液产品持续稳定获得订单， 其他制程抛光后清洗液产品部分在客 户端验证反馈良好。年产能 2,000 吨的武汉本部一期清洗液产线完成试产，已达到稳定供 货的能力，仙桃年产 1 万吨 CMP 用清洗液扩产项目预计 2023 年夏季完成。