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华海清科研究报告：CMP设备基石业务长青，设备+服务多元布局加速成长。CMP 设备领军者，设备+服务双轮驱动。华海清科成立于 2013 年，核心技术 人员具有清华背景，公司首个 12 英寸 CMP 设备产品 2016 年通过头部晶圆 厂验证，此后不断推出多种设备满足差异化需求，广泛应用于中芯国际、长 存等晶圆厂客户。公司立足于 CMP 核心技术，拓展了减薄、膜厚测量、清 洗、供液系统等多款设备。随着 CMP 设备的大批量出货，公司收入迅速提 升，2018-2022 年 CAGR 达 160%，23Q1-Q3 营收超 18 亿元，毛利率达 47.2%。

卡位 CMP 设备，把握市场扩容机会。1）2025 年国内 CMP 设备市场规模有 望达 10 亿美金：CMP 设备主要用于硅片/芯片/先进封装过程中的抛光，市 场规模占设备投资额的约 3%，大陆 2024 年 12 英寸/8 英寸扩产规模分别 有望达 29 万片/4 万片，扩产趋势明确；制程进步与 3D 化趋势下，单位产 能所需的设备数量与资本开支也在增长。2025 年中国 CMP 设备市场有望达 10 亿美金，2022-2025 年 CAGR 达 16%。2）华海清科市占率有望持续提 升：华海清科在国内的份额由 2019 年的 6%提升至 2022 年的 32%，我们认 为华海清科客户积累深厚，技术强劲，公司持续推出满足更多材质工艺和 更先进制程要求的新功能、新模块和新产品，推进面向更高性能、更先进 节点的 CMP 设备开发及工艺突破，份额有望持续提升。

耗材与维保业务贡献稳定性，多设备拓展打开市场空间。1）CMP 耗材与维 保业务受益于主业 CMP 设备发展提速，随着公司存量设备数量不断增加， 公司排他性提供 7 分区抛光头，市场份额极高，我们认为 CMP 耗材与维保 业务将受益于主业 CMP 设备不断发展，TAM 不断提升，贡献 opex 收入，抚 平 capex 业务周期性；2）公司基于 CMP 主业优势发展了清洗设备、膜厚测 量设备、供液系统与减薄设备，以及晶圆再生业务，目标市场不断扩大。