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中科飞测（688361）新股分析：国内检测和量测设备巨头，新品拓展打开长期成长空间。中科飞测聚焦半导体检测和量测设备，2022 年全球市场大约 125 亿美元，国内 市场大约 30-40 亿美元，但国产化率不足 5%，国产化空间巨大。公司 2020 年 至今营收保持高增长，当前在手订单较为充沛，同时公司积极研发纳米级晶圆 缺陷检测等设备，未来产品矩阵覆盖的市场空间有望大幅提升。公司成长动力 充足，建议重点关注上市后表现。

中科飞测聚焦半导体检测和量测设备，客户遍布中芯国际、长江存储等头部 产线。公司成立于 2014 年，为国内半导体检/量测设备领先企业，下游客户 遍布中芯国际、士兰集科、长江存储、芯恩集成等。公司团队成员行业背景 深厚，公司成立至今多次承担省级/国家级重点课题。公司产品包括无图形和 图形晶圆缺陷检测设备、三维形貌量测设备、薄膜膜厚量测设备、套刻误差 检测设备、3D 曲面玻璃量测设备等，并正在开发纳米级图形晶圆检测设备、 金属膜厚量测设备等新品。

公司近年来营收和合同负债快速增长，持续加大研发力度。2019 年至今，伴 随国内需求提升和设备逐步通过验收，公司产品实现快速放量，整体销量从 2019 年的 32 台提升至 2022 年的 138 台，销售收入从 2019 年的 0.56 亿元 快速提升至 2022 年的 5.1 亿元，2022 年同比增长 41%，23Q1 收入 1.62 亿 元，同比+254%。截至 2022 年底，公司合同负债为 4.85 亿元，同比大幅增 长 212%，23Q1 末公司合同负债继续增长至 5.45 亿元。考虑到公司设备生 产周期一般不超过 8 个月，验收周期 2-7 个月，因此伴随公司产品持续放量 和设备不断升级，公司未来收入有望保持较高增长态势；公司毛利率伴随设 备升级和规模效应提升，逐步从 2018 年的 24%上升至 2022 年的 49%，23Q1 为 55%，但由于公司研发投入力度较大，为满足纳米级晶圆缺陷检测设备等 新品研发项目，2022 年研发投入 2.06 亿元，同比翻倍以上增长，导致 2022 年扣非归母净利润出现亏损，23Q1 公司扣非净利润继续亏损 76 万元。

2022 年全球市场规模约 125 亿美元，国产化空间巨大。检测和量测是保证芯 片良率的重要工艺，应用光学技术的设备市场占比高达 75%，细分技术种类 繁多，包括明场、暗场等光学检测，以及薄膜膜厚、套刻误差、关键尺寸光 学量测等。根据 VLSI Research 和 Gartner 数据，2022 年全年半导体检测和 量测设备市场空间预计 125 亿美元，国内 2022 年市场空间约 30-40 亿美元 市场份额主要被 KLA、日立等海外厂商垄断，KLA 份额超 50%。国内厂商在 产品种类、工艺覆盖度、制程等方面仍存在较大差距，2018-2022 年，中科 飞测、上海精测、上海睿励三家主要半导体检/量测设备厂商国内市占率由 0.69%提升至大约 3-4%，国产化空间巨大。

公司积极开发纳米级晶圆缺陷检测等设备，未来产品矩阵覆盖的市场空间有 望大幅提高。公司产品线涵盖了无图形晶圆检测设备、图形晶圆缺陷检测设 备、三维形貌量测设备、薄膜膜厚量测设备和套刻精度量测设备等产品，对 应市场份额占比为 27.2%。公司正积极研发纳米图形晶圆缺陷检测设备、晶 圆金属膜厚量测设备等，根据 VLSI Research 的统计，上述 2 种设备在全球 半导体检测和量测设备市场中占据 25.2%份额，若未来项目能够成功落地并 通过产业化验证，有望大幅开拓公司面向的市场容量。制程方面，公司已有多台设备在 28nm 产线通过验收，另有对应 1Xnm 产线的 SPRUCE-900 型号 设备正在研发，对应 2Xnm 以下产线的 DRAGON BLOOD-600 型号设备正在 验证，已经取得两家客户的订单。