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中科飞测研究报告：质量控制设备龙头加速国产化进程。检测与量测设备作为半导体设备中的重要一环，难度较高，2020 年中国大 陆半导体量检测设备的市场规模为 21 亿美元，国产化率约为 2%。中科飞 测主要产品包括无图形晶圆缺陷检测设备、图形晶圆缺陷检测设备、三维形 貌量测设备、薄膜膜厚量测设备、套刻精度量测设备等，已应用于国内 28nm 及以上制程的集成电路制造产线。我们看好 2024 年下游存储、代工厂扩产 进程、公司产品矩阵扩展及国产替代顺利导入，预计公司 23/24/25 年收入 为 8.9/13.0/18.7 亿元。可比公司 24 年 PS 为 9.2 倍，考虑半导体检测和量 测设备国产替代空间广阔、公司的龙头地位优势及成长性，给予一定估值溢 价，首次覆盖中科飞测给予“买入”评级，目标价 89.03 元（24 年 22x PS）。

全球半导体设备周期回暖，贸易摩擦催化国产化进程

SEMI 预测 2024 年全球半导体设备销量或时隔两年转降为增，较 2023 年 增长 4%，至 1053 亿美元；2025 年将保持增势，达到创历史新高的 1240 亿美元。除此以外，我们看到自 2022 年 10 月 7 日美国商务部宣布限制中 国进口可用于加工 14/16nm 及以下逻辑芯片、18nm 及以下的 DRAM 芯片 和 128 层及以上的 NAND 芯片的设备，日本及荷兰亦相继出台相关设备出 口政策，近两年国产厂商设备进口边际收紧。受此影响各类厂商正积极进行 国产设备导入及验证，2020 年大陆量检测设备国产化率约为 2%，国产替 代空间广阔。

公司持续拓宽产品与工艺覆盖，高技术壁垒保障龙头地位稳固

我们看好中科飞测：1）布局多款产品，有望进一步打开市场空间。公司已 推出的设备对应的市场规模占 2022 年全球量检测设备总市场规模的 27.2%，正在研发多款新产品所对应的市场规模占比将达到 62.6%。2）细 分产品领域填补大陆空白，性能对标海外龙头。中科飞测攻克了 20-14nm 产线晶圆缺陷光学检测设备，无图形晶圆缺陷检测设备 S2 已部分取代 KLA 的 Surfscan SP3 产品。公司三维形貌量测设备 C2 也已实现对帕克公司 NX Wafer 产品的部分替代。

中芯国际等大客户认可度高、粘性强，充分受益于国产替代

公司在手订单高增，产品陆续进入大陆主流集成电路厂商生产线，客户包括 中芯国际、华润微、长江存储等头部厂商。SEMI 预计 2024 年，中国将新 增 18 座新晶圆厂，产能将从 760 万片增至 860 万片，据我们测算，2024 年中国本土厂商资本开支有望同比增长 17.7%至 295 亿美元，看好中科飞 测作为国产量检测设备重要供应商份额提升及业绩释放。