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中科飞测（688361）研究报告：大陆量检测设备领军者，持续提升产品广度+深度。中科飞测专注于高端量检测设备，产品种类丰富。中科飞测主营产品为检测和量测两 大类半导体专业设备，自 2014 年成立以来，陆续突破多项量检测设备。1）从产品种 类来看：目前公司已形成 6 大产品系列，分别是图形晶圆缺陷检测设备、3D 曲面玻璃 量测设备、三维形貌量测设备、无图形晶圆检测设备、套刻精度量测设备和薄膜膜厚 量测设备，对应的量检测设备市场空间占比为 27.2%，同时公司正在研发纳米图形晶 圆缺陷检测设备、晶圆金属薄膜量测设备等。2）从产品工艺节点来看：公司已量产多 款 28nm 及以上量检测设备，2Xnm 套刻精度量测设备正在验证，已取得客户订单， 1Xnm 无图形晶圆检测设备处于研发中，处于国内领先地位。

大陆量检测设备市场规模超 25 亿美元，设备技术壁垒高，海外厂商具有先发优势，大 陆自给率不足 3%。1）市场规模：大陆是半导体量检测设备的第一大市场，受益于下 游晶圆厂大幅度扩产，量检测设备市场仍在迅速扩张中。VLSI Research 数据显示，2 021 年中国大陆半导体检测与量测设备的市场规模为 25 亿美元，2016-2021 年 CAGA 为 29.3%，超过了全球市场的增长率。2）技术壁垒：为提高检测精度与检测效率，对 设备硬件端的要求越来越高，设备的光源波长不断缩短、物镜数值孔径不断增加、工 件台速度不断提升，均需要厂商有较长时间的技术积累。此外，对大数据检测算法的 要求也在提升，而算法需要较长时间的数据训练。3）竞争格局：目前大陆量检测设备 市场被美日公司垄断，其中 KLA 一马当先，占比超 50%，大陆国产化率不足 3%。随 着大陆半导体产业重视程度的提升，大陆厂商正奋起直追，有望乘上国产替代之风。

公司持续提升产品广度与深度，部分产品性能对标海外龙头。1）布局多款产品，有望 进一步打开市场空间。公司已推出的设备对应的市场规模占量检测设备总市场规模的 27.2%。正在研发多款新产品，待产品研发成功后，公司产品将进一步打开市场空间， 所对应的市场规模占比将达到 62.6%。2）细分产品领域填补大陆空白，性能对标海外 龙头。中科飞测攻克了 20-14nm 产线晶圆缺陷在线光学检测设备多项核心技术并研发 了无图形晶圆缺陷检测设备 S2，该设备已部分取代 KLA 半导体的 Surfscan SP3 产品。 此外针对集成电路前道制程，公司自主创新生产三维形貌量测设备 C2，也已实现对帕 克公司 NX Wafer 产品的部分替代。3）在手订单高增，产品陆续进入大陆主流集成电 路厂商生产线。2021 年公司在手订单金额为 9.8 亿元，是当期主营业务收入的 2.7 倍， 同比增长 281%，公司业绩即将步入加速成长期。同时，公司凭借产品性能优质，积 累了优质客户资源，客户包括中芯国际、华润微、长江存储等头部厂商。当前美国制 裁不断升级，大陆晶圆厂正在加速导入国产化设备，公司业务规模有望持续增长。