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中科飞测研究报告：半导体量检测设备_破局者_，领航先进制程扩产新征程。国产前后道量检测设备龙头，广泛覆盖国内主要晶圆厂、封测厂。2024 年底，公司交付 量突破千台，覆盖全球 66.6%的质量控制设备市场空间。公司量检测设备已广泛应用在 中芯国际、长江存储、士兰集科、长电科技、华天科技、通富微电等国内主流集成电路 制造产线。公司有望显著受益于国内晶圆厂扩产，加速导入国产量检测设备，订单及收 入规模实现快速增长。

前道量检测设备国产化率低，高弹性有望带来高增长。根据光刻人的世界公众号统计， 截至 2025 年 9 月，中国半导体量检测设备国产化率 16.4%，较 2023 年提升 5.2 个百 分点。国产设备已覆盖 28 nm 及以上制程主要工艺环节，并在部分细分领域实现 14 nm 节点的技术突破。虽然与国际领先厂商在先进制程环节仍存在约 2–3 代差距，但本土 厂商正快速缩小差距。中科飞测已具备 28–14 nm 节点及先进封装领域的批量交付能 力，部分产品进入验证阶段，标志着国产设备正从“补位”走向“并跑”。

公司不断拓展量检测产品线，先进制程设备放量可期。公司在深紫外成像、缺陷识别算 法等方面持续突破，正向 14nm、7nm 及先进封装场景扩展并推进电子束关键尺寸量测 等前瞻项目；先进制程明场光学、暗场光学前道量检测设备有望逐步由验证阶段进入放 量阶段，进一步打开公司成长空间。