中科飞测研究报告：半导体量测设备龙头，打造国产薄弱环节平台化企业.pdf

中科飞测研究报告：半导体量测设备龙头，打造国产薄弱环节平台化企业。半导体量检测设备龙头，业务规模持续提升。公司是国内领先的高端半导体质量 控制设备公司，自成立以来始终专注于检测和量测两大类集成电路专用设备的研 发、生产和销售。目前业务已经覆盖封测和包括逻辑、存储在内的晶圆制造主流 客户，2020-2023 年公司营收从 2.38 亿元增长到 8.91 亿元，复合增长率达到 55.27%，归母净利润从0.40亿元增长到1.40亿元，复合增长率达到51.83%。

量检测设备市场广阔，国产化率低，公司国产替代空间大。根据 VLSI 数据统 计，2023 年全球半导体检测和量测设备市场规模达到 128.3 亿美元，在全球半 导体制造设备占比中半导体检测和量测设备占比约为 13%，仅次于刻蚀设备、薄 膜沉积设备和光刻设备。同时量检测设备国产化率较低，市场主要由几家垄断全 球市场的国外企业占据主导地位，公司国产替代空间较大。

缺陷检测设备：公司无图形晶圆缺陷检测设备成熟，图形晶圆缺陷检测设备不断突破。2020-2023 年，公司缺陷检测设备营收从 1.56亿元增长至 6.54亿元，成 为公司营收增长的主要动力。其中 1）公司无图形晶圆缺陷检测设备技术成熟， 截至2023 年底，公司累计生产交付近 300台无图形晶圆缺陷检测设备，覆盖超 过 100 家客户产线；2）在图形晶圆缺陷检测设备领域，公司持续拓展逻辑芯 片、存储芯片等应用领域，截至 2023年底公司累计生产交付超过 200台图形晶 圆缺陷检测设备，覆盖超过 50 家客户产线，同时公司纳米量级明场/暗场图形晶 圆缺陷检测设已送样测试。

量测设备：广泛布局各类设备，业务多点开花。2020-2023 年，公司量测设备营 收从0.82 亿元增长至 2.22 亿元，发展迅速。公司在量测设备领域广泛布局，多 点开花。其中 1）公司三维形貌量测设备广泛应用于国内集成电路前道及先进封 装客户，截至 2023年底，公司累计生产交付近 150台三维形貌量测设备，覆盖 近 50 家客户产线；2）公司膜厚量测设备和套刻精度量测设备均已实现批量销 售，得到国内各类客户的广泛认可；3）光学关键尺寸量测设备领域，公司目前 已完成设备样机研发，正积极推进国内多家主流客户的样片验证测试。