中科飞测研究报告：半导体量检测设备领军者，国产替代进入加速阶段.pdf

中科飞测研究报告：半导体量检测设备领军者，国产替代进入加速阶段。引领量/检测设备进口替代，收入规模持续快速增长。公司是本土量/检测设备龙头，成功供货中芯国际、长江存储、福建晋华等主流半导体客户，引领进口替 代同时，收入规模实现快速增长。1）收入端：2018年营收仅为2985万元，2023年达8.91亿元，期间CAGR高达97%，实现高速增长。2）利润端：与收入端高 速增长形成对比的是，公司利润端波动较大。2022年实现归母净利润0.12亿元，同比-78%；2023年归母净利润达1.40亿元，同比+1095%。扣非销售净利率可 以表征半导体设备企业真实盈利情况，2018-2023年公司扣非销售净利率分别为-194.45%，-129.30%，-0.56%，0.97%，-17.25%和3.56%，2023年明显提升。 我们注意到公司整体毛利率呈上升趋势，2021-2023年分别达到48.96%、48.67%和52.62%，优于半导体设备行业平均水平，表现较为出色。截至2024Q1末， 公司存货和合同负债分别达12.87亿元和4.78亿元，分别同比+40%和-12%，充足订单有望支持公司业绩持续快速增长。

前道设备弹性最大环节之一，国产替代进入加速阶段。量/检测设备产品技术壁垒高、种类多，在半导体设备中价值量占比仅次于薄膜沉积、光刻和刻蚀，达 到11%。我们预计2024年中国大陆量/检测设备市场规模将达到292亿元，市场需求广阔。①全球范围内来看，KLA在半导体量/检测设备领域一家独大，2020 年市场份额高达51%。此外，在半导体前道设备中，量/检测设备盈利水平尤为出色，2023财年KLA净利率高达32%，明显优于AMAT、LAM等半导体设备龙 头。②中科飞测、上海精测、睿励科学等本土厂商虽已经实现一定突破，但量/检测设备仍是前道国产化率最低的环节之一，上述三家企业2022年营收合计 7.46亿元，对应市场份额不足5%，远低于去胶机、刻蚀设备、薄膜沉积设备等环节。展望未来，在美国制裁升级背景下， KLA在中国大陆业务可能受到一定 冲击，看好本土晶圆厂加速国产设备导入，量/检测设备有望迎来国产替代最佳窗口期。

国产替代加速&产品线持续完善，公司具备持续快速扩张潜力。公司在稳固现有产品竞争优势同时，积极布局先进制程设备，并不断拓展量/检测产品品类， 成长空间持续打开。1）公司六大类成熟产品（无图形晶圆缺陷检测、晶圆图形缺陷检测、三维形貌量测、介质&金属薄膜膜厚量测、套刻精度量测）正式实 现批量产业化，市场竞争力持续稳固，市占率有较大提升空间。2）公司在稳固现有产品市场竞争力的同时，积极布局纳米图形晶圆缺陷检测设备、暗场纳米 图形晶圆检测设备、关键尺寸量测设备等新产品线，目前进展顺利，持续完善量/检测设备产业布局，有望逐步进入放量阶段。3）在加大量/检测设备扩张力 度的同时，公司将人工智能和大数据技术应用到半导体质量控制数据上，形成一系列提升高端半导体制造良率的软件产品，进一步完善量/检测产品体系。