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中科飞测研究报告：国产半导体过程控制设备龙头，新品加速突破。专注半导体质量控制设备，打破海外厂商垄断。中科飞测成立于2014年， 是国内领先的高端半导体质量控制设备企业，自成立以来始终专注于检测 和量测两大类集成电路专用设备的研发和生产，产品已广泛应用于中芯国 际、长江存储、士兰集科等国内主流集成电路制造产线，打破了在质量控制 设备领域国际设备厂商对国内市场的长期垄断局面。财务方面，公司2023 年和2024Q1分别实现营业收入8.9/2.4亿元，同比增长75%/46%；归母净 利润1.4/0.34亿元，同比增长1072%/9%。

过程控制：半导体晶圆制造过程中不同工艺之后，需要进行尺寸测量、缺陷检测等，用于工艺控制、良率管理，要求快速、准确。过程控制设备主要包 括测量类设备（Metrology）和缺陷（含颗粒）检查类设备（Inspection）。 量测包括套刻对准的偏差测量、薄膜材料的厚度测量、晶圆在光刻胶曝光显 影后、刻蚀后和CMP工艺后的关键尺寸（CD）测量、其他如晶圆厚度，弯曲 翘曲（Bow/Warp），应力stress，晶圆形貌等。检测主要包括无图形缺陷 检测、有图像缺陷检测、掩模版缺陷检测、缺陷复检。量测检测主要作用就 是生产出符合关键物理参数的芯片以及优化工艺，提升良率。

过程控制全球半导体设备总市场占比约12.3%，持续有升级需求。根据 Gartner数据，2023年全球过程控制设备市场空间约127亿美元，其中光 刻（套刻误差量测、掩膜板测量及检测等）相关需求约36亿美元、膜厚测 量需求约18亿美元、缺陷检测需求约70亿美元。过程控制市场中在全球 晶圆制造设备总市场占比约12.3%，相对稳定，随着制程微缩、3D堆叠推 进，晶圆制造对于量测、检测需求不断增加，精度要求也不断提高，过程控 制设备持续有升级需求。

全球过程控制市场主要由海外龙头KLA主导。过程控制市场特点在于设备 品类多，分产品市场较为分散。目前全球过程控制主要赛道由海外厂商主导 并垄断，KLA通过多年来外延内生，产品系列超过14大类，在多个细分领 域具有明显优势，公司2023财年营收104.96亿美金，同比增长13.9%，综 合毛利率60%，在中国大陆量测检测市占率超过50%，此外AMAT、ASML、 Nova、Hitachi亦占据市场重要地位，2021年全球CR5 85.8%。

中科飞测量检测设备客户订单持续增长，多款新品进展顺利。公司掌握覆 盖光学检测技术、大数据检测算法和自动化控制软件等领域的九大核心技 术，设备在灵敏度/重复性精度、吞吐量、功能性等关键性能指标上实现了 持续突破，性能与国际竞品相当。（1）检测设备：截至2023年底，公司累 计生产交付近300/200台无图形/图形晶圆缺陷检测设备，覆盖超过100/50 家客户产线，纳米量级明场/暗场图形晶圆缺陷检测设备研发进展顺利；（2） 量测设备：截至2023年底，公司累计生产交付近150台三维形貌量测设备， 覆盖近50家客户产线，并持续研发拓宽产品线。