2021年半导体清洗设备行业企业业务分析及财务分析 至纯科技为中国半导体湿法清洗设备龙头公司

1、 至纯科技三大业务：半导体湿法清洗设备业务、半导体高纯 工艺系统、光传感应用

公司的主营业务主要包括半导体湿法清洗设备研发、生产和销售，高纯工艺系统 的研发、生产和销售，光传感应用及相关光学元器件的研发、生产和销售。

1.1、半导体湿法清洗设备

公司提供湿法设备，包含湿法槽式清洗设备及湿法单片式清洗设备，主要应用于 集成电路、微机电系统、平板显示等领域。 随着半导体芯片工艺技术的发展，工艺技术节点进入 28 纳米、14 纳米等更先进 等级，随着工艺流程的延长且越趋复杂，每个晶片在整个制造过程中需要甚至超 过 200 道清洗步骤，晶圆清洗变得更加复杂、重要及富有挑战性； 清洗设备及 工艺也必须推陈出新，使用新的物理和化学原理，在满足使用者的工艺需求条件 下，兼顾降低晶圆清洗成本和环境保护。

公司湿法工艺设备所部署的技术路线：槽式设备（槽数量按需配置）及单片机设 备（8~12 反应腔）均可以提供 8~12 寸晶圆制造的湿法工艺设备。该类设备可 以应用在先进工艺上，主要为存储（DRAM，3D Flash）、先进逻辑产品以及一 些特殊工艺上，例如薄片工艺、化合物半导体、金属剥离制程等。 在技术储备上，公司将持续投入资源开发符合高阶工艺应用的设备（如多反应腔、 18 腔等）。

公司的湿法工艺设备的子系统包含药液循环系统、温控系统、传送系统、自动控 制系统、通信系统、传感控制系统、气体流场设计、反应药液回收环设计等。

1.2、高纯工艺系统

泛半导体工艺伴随许多种特殊制程，会使用到大量超高纯（ppt 级别）的干湿化 学品，这是完成工艺成果的重要介质，其特点是昂贵并伴随排放。在集成电路领 域，高纯工艺系统主要包括高纯特气系统、大宗气体系统、高纯化学品系统、研 磨液供应及回收系统、前驱体工艺介质系统等。其中，各类高纯气体系统主要服 务于几大干法工艺设备，各类高纯化学品主要服务于湿法工艺设备。公司在用户 价值上聚焦六个词：“高纯、工艺、节能、环保、自动化、智能化”。公司在湿法工艺往深度走的同时，在减排和工艺数字化领域也投入研发，有具体的产品和 服务的部署，该领域的投入兼具经济效益和社会效益。

图：至纯科技高精度化学品调配和供应系统

高纯工艺系统的核心是系统设计，系统由专用设备、侦测传感系统、自控及软件 系统、管阀件等组成；系统的前端连接高纯介质储存装置，系统的终端连接客户 自购的工艺生产设备。 在高纯工艺系统业务，公司加大了对于工艺减排、产品服务化的布局。 高纯工艺系统的产品主要包括：气体高纯工艺设备及系统、化学品高纯工艺设备 及系统、研磨液供应及回收系统、前驱体介质系统、大宗气体、半导体工艺尾气 处理设备及系统、物料及水系统，广泛应用于集成电路、显示屏、光电、光伏及 生物制药、食品饮料等领域。

1.3、光纤传感器及光电子元器件

公司全资子公司波汇科技主要从事光纤传感器及光电子元器件的研发、生产及销 售，专注于光纤传感及光电子元器件技术研发并在分布式光纤振动监测、温度监 测、光纤光栅传感、算法仿真、智能视频、真空镀膜技术以及应用软件开发方面 具有核心技术。主要产品有光纤电网综合监测系统、光纤石化油库管道综合监控 系统、光纤桥梁结构健康监测系统、光纤轨道交通综合监测系统、光电子元器件 （滤光片、激光管帽、磁光开光、标准具）、激光气体传感监测系统。主要应用 于电力电网、石油石化、城市地下综合管廊、数据及通信等领域。

2、 大基金、中芯聚源、装备材料基金等战略投资者入股至纯科技半导体清洗设备子公司

子公司引入战投。公司 2021 年 10 月发布公告，交易的主要内容：上海至纯洁 净系统科技股份有限公司（以下简称“公司”、“至纯科技”）控股子公司至微 半导体（上海）有限公司（以下简称“至微科技”）拟通过增资扩股引入战略投 资者并进行部分股权转让。本次交易各方合计增资额为 42,000 万元，股权转让 涉及金额 23,200 万元。本次交易完成前，至纯科技持有至微科技的股份比例为99.34%，本次交易完成后，公司持有至微科技的股份比例为 77.11%。本次交 易事项尚需提交股东大会审议批准，且尚未签订协议，存在一定不确定性。

至微科技是承载公司重要战略决策“从工艺装备支持系统到工艺装备”、投入湿 法设备研发和产业化的主体。至微科技成立以来，完成了系列化产品的研发、制 造和销售，累计已获得来自各大集成电路制造领先企业的湿法设备订单超过 160 台，成为国内湿法设备的主要供应商之一。至微科技的发展得到了用户的肯定， 也得到了产业投资者的重点关注。为进一步加快实现至微科技成为国内湿法设备 领头羊的战略目标，提高产业资源整合能力，公司控股子公司至微科技拟通过增 资扩股引入核心战略投资者。

本次交易前，至微科技注册资本为 45,500 万元，依据增资前至微科技 250,000 万元的估值，对应 5.4945 元/注册资本，本次深圳市远致星火私募股权投资基金 合伙企业（有限合伙）（以下简称“远致星火”）、国家集成电路产业投资基金 二期股份有限公司、中国国有企业混合所有制改革基金有限公司、中小企业发展 基金（绍兴）股权投资合伙企业（有限合伙）、上海半导体装备材料产业投资基 金合伙企业（有限合伙）、中青芯鑫鼎橡（上海）企业管理合伙企业（有限合伙）、 平潭溥博芯诚股权投资合伙企业（有限合伙）、上海芯晟至远企业管理合伙企业 （有限合伙）合计向至微科技增资 42,000 万元，其中 7,644 万元计入注册资本， 其余 34,356 万元计入资本公积。

本次增资的同时，公司将持有的至微科技对应本次增资 42,000 万元后的 7.95% 的股权以 23,200 万元转让给远致星火，其中 4,222.40 万元计入至微科技注册资 本，18,977.60 万元计入资本公积。在本次远致星火受让股权的过程中，所有其 他投资人均无条件放弃行使作为公司股东的优先购买权。

3、 至纯科技财务分析：半导体清洗设备业务快速增长

公司营收规模及盈利能力大幅提升，2016-2020 年，公司收入年复合增长率 51.77%，净利润年复合增长率 54.86%。公司 2018-2020 年实现营业收入 6.74/9.86/13.97 亿元，同比增长 82.64%、46.34%、41.63%。公司 2018-2020 年实现净利润 0.32/1.1/2.61 亿元，同比增速为-34.19%、239.88%、136.36%。

公司 2018-2020 年实现扣非净利润 0.29/0.91/1.11 亿元，同比增速为-30.68%、 215.31%、22.2%。2018 年净利润同比减少主要系 2018 年公司布局并开展的湿 法设备业务板块，该业务在初期需要投入较多的研发成本，因此 2018 年全年较 上年同期研发成本增加约 2300 万元，市场费用增加约 1100 万元以及管理费用 增加约 1600 万元。公司 2021 年前三季度实现营业收入 12.83 亿元，同比增长 68.71%；实现归母净利润 1.88 亿元，同比增长 127.96%。

图：公司 2015-2021Q3 营业收入（亿元）

公司半导体板块业务持续发力，光传感光电子业务板块发展良好。公司主营业务 为高纯工艺系统、光传感及光器件及半导体设备。高纯工艺系统业务 2018-2020 年实现营业收入 6.74/6.37/8.63 亿元，对公司总营收的贡献分别为 100%、 64.57%、61.79%。光传感及光器件业务 2018-2020 年实现营业收入 0/2.65/3.15 亿元，占公司总营收比重分别为 0%、26.82%、22.52%。半导体设备业务 2018-2020 年实现营业收入 0/0. 81/2.18 亿元，占公司总营收比重分别为 0%、 8.28%、15.59%。2021H1 公司高纯工艺系统业务、光传感及光器件业务和半导 体设备业务分别实现营业收入 5.81 亿元、0.69 亿元和 2.69 亿元，占公司总营收比重分别为 63.12%、7.45%和 29.23%。2020 年公司整体业务新增订单达到 19.6 亿元，较上年同期增加 38%。2020 年整个半导体板块新增订单 13.6 亿元，其 中湿法设备新增订单 5.3 亿元，较上年同期增加 211%，湿法设备订单中单片设 备新增订单 3.66 亿元，交付周期在 6-9 个月左右，半导体业务继续行驶在发展 快车道上。从下游结构上看，公司半导体业务收入逐年提升，光电子、医药等业 务放量增长。

自 2018 年之后，公司毛利率及净利率整体呈上升趋势。2018-2020 年公司整体 毛利率为 28.19%/34.35%/36.79%，净利率为 4.67%/11.19%/18.66%；2021 年 Q1-Q3 公司整体毛利率为 35.39%，净利率为 14.42%。2018 年由于全球半 导体扩张，引发了全球半导体材料及零部件供给紧张，部分材料的价格有所上涨， 使得公司业务的整体毛利率有所下降，影响因素消除后，公司毛利率稳步增长。 未来随着公司产品结构的不断优化，高毛利的光传感业务增长，毛利率及净利率 有望进一步改善。

由于业务不断拓展，公司期间费用率呈现小幅上升趋势，未来随着业务结构趋向 稳定，费用率有望降低。2018-2020 年期间销售费用率为 2.77%、3.7%、3.9%，管理费用率为 7.58%、8.70%、9.85%，研发费用率为 5.41%、5.99%、6.84%， 财务费用率为 3.12%、4.09%、5.46%。

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