至纯科技专题研究：国产替代趋势下，半导体清洗设备迎增长机遇.pdf
- 上传者：潘*
- 时间：2021/07/06
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高纯工艺系统广泛应用于集成电路、显示屏、光伏、生物制药及食品 饮料等领域，下游应用领域良好发展势头有利于驱动高纯工艺系统的 需求增长。公司具有涵盖气体、化学品等高纯工艺设备及系统的丰富 产品线，拓展了研磨液系统、前驱体介质系统、大宗气体系统等相关 技术研发，加大了对工艺减排、产品服务化的布局。公司在高纯工艺 系统领域属于具有承接大型项目的实力与经验的本土企业，产品已切 入中芯国际、士兰微、长江存储、台积电、海力士等知名厂商。
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