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至纯科技研究报告：国内领先的高纯工艺系统供应商，半导体制程设备开启新成长曲线。公司新签订单保持高速增长，高纯工艺系统业务基本盘稳固。我 们认为公司的传统业务高纯工艺设备将持续高增长，主要基于：1） 下游 FAB、IDM 客户新建厂房未受影响，公司在手订单饱满，22 年公司合同负债为 2.70 亿（YoY+13%），1Q23 合同负债达 3.03 亿元（YoY+23%）；2）国际贸易制裁加速半导体设备及零部件国 产化进程，公司下游客户多元且需求稳定，根据公司公告，22 年 公司新签订单 42 亿元（YoY+31%），23 年公司预计全年新签订 单 52~57 亿元，同比增长 24%~36%。

半导体制程设备品类丰富并向先进制程拓展，切入光伏领域获得 批量订单。制程设备为公司带来新增长主要基于：1）根据中国国 际招标网数据，22 年中国湿法设备市场前四大供应商份额合计达 96%，其中盛美上海以 25%的份额位列第二，其他三家均为海外 厂商；2）22 年公司率先突破 14nm 及以下制程湿法设备并实现 4 台订单交付，拓展了国内光伏市场需求较大的涂胶显影设备、炉 管设备等；3）公司制程设备主要客户中芯国际、华润微 22 年用 于购建固定资产、无形资产以及其他长期资产支付的现金分别同 比增长 49%和 69%。公司 22 年新增制程设备订单 18 亿元，同比 增长 60%，预计 23 年新增订单 20~25 亿，同比增长 11%~39%。 定向增发彰显公司长期发展信心。23 年 5 月，公司定向增发拟募 集资金不超过 18 亿，用于湿法设备核心零部件产业化项目、湿法 设备及高纯工艺设备北方基地项目、启东半导体设备产业化项目。