华海清科研究报告：国产CMP设备企业，平台化战略布局.pdf

华海清科研究报告：国产CMP设备企业，平台化战略布局。多年沉淀建立壁垒，业绩表现亮眼。华海清科始于清华大学成果转化，2022年转为四川 国资控股并上市，十多年来深耕CMP技术领域。1）在CMP领域建立起技术和市场壁垒， 根据公司年报，公司拥有12英寸CMP设备自主知识产权，并已基本覆盖国内12英寸先 进集成电路大生产线；2024年6月，华清海科和清华大学共同完成的“集成电路化学机 械抛光关键技术与装备”项目获得2023年度国家技术发明奖一等奖；2）技术成果已转化 为优异的业绩表现，2023年营业收入25.08亿元，2017-2023年CAGR为125.3%，CMP 设备收入贡献约90%；归母净利润7.24亿元，2020-2023年CAGR为64.9%。2024H1 公司保持业绩增长态势，实现营收14.97亿元，同比增长21.2%；实现归母净利润4.33 亿元，同比增长15.7%。

半导体市场复苏，叠加工艺进步下的使用频率提升，CMP设备具备成长空间。1）国内晶 圆厂扩产趋势确定，将推动半导体设备需求进一步上涨。根据2024年6月SEMI（国际 半导体产业协会）的预测，中国晶圆厂产能在2024、2025年将分别达到885万片/月、 1010万片/月（8英寸当量），同比增长14%、15%。2）CMP设备需求量随制程进步而 增大，成熟制程的8英寸产线每万片月产能平均需求CMP设备3.7台，而先进制程的12 英寸产线上升至17.5台；3）国产替代空间大，公司市占率稳步提升：CMP设备市场长 期以来被美国应用材料及日本荏原垄断，全球市占率在90%以上。国内华海清科已能实现 14nm节点以上设备全替代，关键零部件基本实现国产替代。根据睿工业，CMP设备国产 化率已由2017年的3%提升至2023年的40%，预计将在2027年达到70%。按CMP 设备占半导体设备规模的2.5%计算，2023年中国大陆CMP市场约64亿元，华海清科 市占率达35%。

“装备+服务”的平台化战略布局，创造新的利润增长点。1）切入与CMP工艺相关的前 后道设备赛道，打开市场空间：截至2023年底，公司研发的减薄设备、划切设备、清洗 设备均已发往客户端验证。根据 QYR（恒州博智），2023年的三类设备全球市场规模分 别为9.02、17.25、40.59亿美元，预计2030年将分别达到13.93、25.16、55.49亿美 元，新布局的三个领域合计市场空间约为CMP设备的2.1倍。2）半导体设备受下游扩产 周期影响，公司开展晶圆再生和维保耗材业务可有效平滑收入波动。一方面，国内晶圆再 生业务尚处于早期发展阶段，具备成长性，而国际市场也存在较大空间：根据我们的测算， 2023年全球晶圆再生市场约为10.53亿美元， QYR（恒州博智）预计2029年将达到19.79 亿美元，据此计算未来几年CAGR将达到11%以上。另一方面，维保耗材业务针对已销 售的CMP设备开展，具有稳定性。当前该业务收入占比不足10%，有较大提升空间；参 考海外成熟半导体设备厂商应用材料，其服务收入占营收比长期维持在20%左右。