上海新阳研究报告:晶圆及先进封装材料国内领先,高端光刻胶进展顺利.pdf
- 上传者:知识控
- 时间:2024/01/04
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上海新阳研究报告:晶圆及先进封装材料国内领先,高端光刻胶进展顺利。公司电镀液及添加剂产品已覆盖 90-14nm 技术节点;干法蚀刻后清洗液已经实 现 14nm 以上技术节点全覆盖,20-14nm 电镀液及添加剂已实现销售;用于存储 器芯片的原创新产品氮化硅蚀刻液打破国外垄断,并与客户共同开发、验证更高 层级的产品系列;用于铜抛光后清洗液产品开发完成,已进入到客户端。芯片制 造用铜互连电镀液及添加剂、蚀刻后清洗液、氮化硅刻蚀液产品已大规模供应国 内集成电路生产制造企业。
公司积极规划产能,在光刻胶、抛光液领域构建第二、第三成长曲线 上海工厂完成改扩建后产能达 1.9 万吨/年。合肥新工厂一期 1.7 万吨/年的产品产 能,预计 2023 年年底试生产,二期项目目前处于同步建设阶段。公司自主研发 的 KrF 光刻胶持续通过认证客户,已在国内主流晶圆制造厂商处实现供货,ArF 光刻胶目前处于客户端认证阶段。抛光液方面,目前已有成熟的 SiO2 体系的抛 光液成功进入客户端,实现销售,CeO2体系的部分产品已在客户产线上线测试, 性能良好,公司的第二、第三成长曲线正逐步成型。
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