半导体材料行业专题报告：光刻胶，高精度光刻关键材料.pdf
- 上传者：潘*
- 时间：2020/05/04
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光刻胶是高精度光刻的关键,起到产业链支撑作用光刻胶分三个细分领域:半导体光刻胶、LCD光刻胶、PCB光刻胶,其中半导体光刻胶代表了最先进的光刻胶技术。在半导体制造中光刻胶及其配套设备起到支撑产业链的关键作用,光刻胶的质量直接影响到半导体集成电路/器件的制程精度。为了保证高精度光刻的质量,如7/5nmlC制程,好的光刻胶必须满足高分辨度、高敏感度、高对比度等技术指标。因此,光刻胶是支撑产业链的关键材料
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