微导纳米研究报告：ALD设备领军者，向光伏、半导体延伸布局.pdf

微导纳米研究报告：ALD设备领军者，向光伏、半导体延伸布局。深耕 ALD 技术领域，向光伏、半导体领域延伸。公司于 2015 年成立，主要 从事先进微、纳米级薄膜沉积设备的研发生产和销售，基于 ALD 技术向光伏、 半导体领域扩展。全球首创将 ALD 技术规模化应用于光伏领域，在 PERC、 TOPCon、XBC 以及钙钛矿领域均实现出货；在半导体领域，公司产品可应用 于逻辑、存储、3D-IC 等镀膜制造领域。

光伏 N 型电池技术加速渗透，公司有望深度受益。光伏领域，公司基于深厚 技术积累已研发出 ALD、PECVD、PEALD、扩散炉等多款光伏设备产品， 并持续推进以 ALD 为核心的 TOPCon 整线方案。伴随 TOPCon、HJT、XBC 技术等 N 型电池加速渗透，我们预计 2025 年公司设备市场空间有望达 405.9 亿元，22-25 年 CAGR=78%。公司光伏镀膜设备性能参数领先，已覆盖隆 基、通威、晶科、天合、晶澳等龙头厂商，形成长期合作关系，有望充分受 益 N 型电池大规模扩产。

半导体设备市场快速增长，国产替代空间广阔。逻辑芯片领域，公司在国内 首次成功将 High-k 原子层沉积设备应用于 28nm 集成电路制造前道量产线， 打破垄断；存储芯片领域，公司 ALD 设备在高 K 栅电容介质层、介质覆盖 层、电极、阻挡层等工艺中的优势使其被广泛应用于 DRAM、3D-NAND、 新型存储器等半导体制造领域。我们预计 2025 年国内 ALD 设备市场空间有 望达 126.6 亿元，22-25 年 CAGR=24%。公司半导体 ALD 产品可沉积金属 薄膜，相比沉积非金属薄膜为主的拓荆科技等其他国内厂商具有差异化优 势，有望在逻辑、存储、3D-IC 等领域快速渗透。