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微导纳米研究报告：ALD核心技术引航，潜薄膜沉积之海.pdf

上传者：J****
时间：2023/11/03
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微导纳米研究报告：ALD核心技术引航，潜薄膜沉积之海。掌握 ALD 核心技术，技术水平国内领先。ALD 技术是化学气相沉积（CVD）的一种，将反应材料以单原子膜形式通过循环反应逐层沉积在基片表面，形成对复杂形貌的基底表面全覆盖成膜的薄膜沉积技术， ALD 设备具备优秀的多面体表面成膜能力，可以满足复杂结构体的镀膜需求，在先进制程集成电路制造工序中应用广泛。公司管理团队在 ALD 领域积累深厚，通过长时间的研发投入，在光伏领域的氧化铝沉积中维持了较高的市占率，并切入半导体领域，技术国内领先。

光伏设备为基，充分享受高效电池扩产进程。据公司官网，公司全球首创将 ALD 技术规模化应用于光伏领域，有效帮助电池片厂商大幅降低设备投资额与生产成本，客户涵盖通威、隆基、晶澳等光伏龙头企业，获得广泛认可。结合公司在 9 月 20 日发布的《投资者关系活动记录表》，截止 2023 年 6 月 30 日，公司在手光伏设备订单 56.21 亿元。

半导体持续投入，逐步进入收获期。据公司 23 年中报，公司是国内首家成功将量产型 High-k 原子层沉积设备应用于 28nm 节点集成电路制造前道生产线的国产设备公司；根据公司官方公众号 7 月 16 日的推送，公司切入 PECVD 设备领域并成功发货，打开新的增长曲线。

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