微导纳米（688147）研究报告：国内光伏ALD设备龙头，TOPCon和半导体领域有望逐步放量.pdf

微导纳米以 ALD 技术为核心，聚焦光伏及半导体领域。公司成立于 2015 年， 成立之初专注光伏电池片领域的 ALD 设备，逐步形成 TALD、PECVD、PEALD 三大产品线，并在 2019 年至今逐步在半导体领域取得订单并确认收入。在光 伏领域，公司在 PERC 领域稳定量产，覆盖通威、隆基、晶澳、阿特斯、天 合光能等头部光伏电池片厂商，同时正在加速 TOPCon 电池设备量产导入； 在半导体领域，公司 ALD 设备实现 28nm High-k 工艺的突破，已于多家国内 厂商开展验证工作。

公司主营业务增长迅速，订单结构加速向TOPCon电池片和半导体领域切换。 公司收入从2018年的0.42亿元增长至2021年的4.28亿元，CAGR为117%， 主要系公司用于 PERC 电池片的设备不断放量；2021 年和 2022 上半年，公 司 ALD 销量下滑，主要系光伏电池片行业在 2020-2021 年处于从 PERC 向 新型高效电池技术如 TOPCon、HJT 等技术转变的过渡期，下游采购节奏短 期有所调整。公司目前订单结构加速向 TOPCon 电池片和半导体领域切换， 截至 2022 年 11 月，ALD 设备新签订单数量已超过 2021 年全年所有镀膜设 备订单总和，同比大幅增长；截至 22Q3，公司在手订单合计 19.75 亿元，其 中专用设备和设备改造业务在手订单分别为 18.56 和 1.15 亿元，专用设备中 ALD 设备占比 85.7%。公司预计 2022 全年收入为 5.91-6.78 亿元，同比增长 38.1%-58.4%；考虑到公司验收周期 6-14 个月，当前在手订单近 20 个亿， 未来收入有望健康增长。

光伏电池片从 PERC 向 TOPCon、HJT 等转变，ALD 设备在新型高效电池 片技术中具备独特优势。光伏电池片以 P 型或者 N 型电池片为原材料，P 型 包括传统铝背场和成熟的 PERC 技术，N 型包括 TOPCon、HJT、IBC 和钙 钛矿技术；PERC 电池主要由钝化层、铝层、P 型硅组成，TOPCon 包含 N 型硅、钝化层、隧穿层等，HJT 在晶体硅上沉积非晶硅薄膜，综合晶体硅电 池和薄膜电池的优势。在 PERC 电池片中，电池正面和背面分别需要 SiNx 和 Al2O3 薄膜，PECVD 和 ALD 技术存在相互替代的关系；TOPCon 电池加 入了隧穿层及 SiO2 层，PEALD 技术可以获得超薄、大面积均匀性、致密性 好的薄膜，相较传统 PECVD 和热氧化法具备独特优势。由于 TOPCon 电池 片转换效率优于 PERC，并且可以在 PERC 产线基础上直接进行改造，因此 当前光伏电池片厂商正加速从 PERC 向 TOPCon 的技术转变，另外在未来 HJT 等成本降低之后，HJT 等技术也将普及，考虑到 ALD 技术在新型高效电 池片的技术优势，未来行业光伏 ALD 设备需求量有望逐步增长。