微导纳米（688147）研究报告：专注ALD设备，光伏+半导体双线突破.pdf

微导纳米：国产 ALD 设备领军者。公司以原子层沉积（ALD）技术为核心， 专注于先进微纳米级薄膜沉积设备的研发与应用。公司业务涵盖光伏、半导体以 及柔性电子领域。主要产品在光伏领域应用于新一代高效太阳能电池（TOPCon、 XBC）的薄膜沉积，在半导体领域应用于先进逻辑芯片、新型存储芯片、化合物 半导体、新型显示芯片等的薄膜沉积。经过多年技术积累，公司产品已达到国际 先进水平。近年来，公司业绩快速增长，营收由 2018 年的 0.42 亿元增长至 2021 年的 4.28 亿元，CAGR 高达 117%。目前，公司已覆盖包括通威太阳能、隆基 股份、晶澳太阳能、阿特斯、天合光能等在内的多家知名太阳能电池片生产商。 半导体领域先后获得多家国内知名半导体公司的商业订单，并与多家国内主流半 导体厂商及验证平台签署了保密协议并开展产品技术验证等工作。

先进工艺演进，催生 ALD 需求增量。ALD 可在复杂形貌上，完成可控制于 原子层精度的高质量薄膜沉积，因此在光伏和半导体的先进工艺中均有光伏应 用。1）半导体领域，ALD 在 45nm 以下具有广阔应用场景，用于 High-k 介质， 多重曝光，3D 结构塑造等。据 Gartner 数据，2021 年 ALD 在全球薄膜设备市 场中占比达到 13%，达到 27 亿美元。2）光伏领域，N 型电池时代来临，目前 产业化前景最为明确的 TOPCon 电池和 HJT 电池对于薄膜沉积设备需求旺盛。 尤其在 TOPCon 电池产线中，薄膜设备约占总设备投资的 33-40%，带来更大的 需求增量。受益于 N 型电池的加速渗透，2022 年公司订单大幅增长，截至 2022 年 Q3 在手订单接近 20 亿元，同比增长超过 120%。

半导体+光伏双轨发展，国产化替代突破实现。半导体领域，公司是国内首 家成功将 High-k 原子层沉积设备应用于 28nm 集成电路制造前道量产线的国 产设备公司，打破了国际厂商的垄断。公司作为国内半导体 ALD 技术领军者， 设备关键性能参数达到国际水平，已在逻辑芯片、先进存储、化合物半导体等多 个细分应用领域获得商业订单。光伏领域，公司首创将 ALD 技术应用于光伏规 模化量产，研发出 PECVD 技术双平台，具备 TOPCon 整线工艺解决能力，拥有 ALD、PEALD 二合一、PECVD、扩散退火炉一系列完备的光伏薄膜设备产品阵 列，尤其在 ALD 环节保持国内市场领先优势。