中科飞测经营表现如何？

本土半导体质量控制设备龙头，高研发投入构筑技术壁垒。

中科飞测成立于2014年12月，是国内领先的高端半导体质量控制设备公司。公司自 成立以来始终专注于检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售，产 品主要包括无图形晶圆缺陷检测设备系列、图形晶圆缺陷检测设备系列、三维形貌 量测设备系列、薄膜膜厚量测设备系列等产品，已应用于国内28nm及以上制程的集 成电路制造产线。

CHEN LU（陈鲁）、哈承姝夫妇为公司实际控制人。截至2023年2月20日，苏州翌 流明直接持有公司15.75%的股份，小纳光持有公司7.86%股份，苏州翌流明为小纳 光执行事务合伙人。CHEN LU（陈鲁）、哈承姝夫妇通过苏州翌流明、小纳光及直 接持有的方式合计控制公司30.54%股份，为公司实际控制人。公司主要技术研发人 员通过小纳光持有公司股份，充分分享公司发展发展成果，激励效果显著。国投基 金、中科院微电子所、深创投分别持有15.19%、4.84%及4.08%的股份，知名国资背 景产业基金持股体现了公司在国内半导体产业链的重要地位。

公司主要高管行业内从业多年，产业经验丰富。公司创始人兼董事长CHEN LU（陈 鲁）本科毕业于中国科学技术大学少年班物理学专业；后获得美国布朗大学物理学 专业，博士研究生学位。曾任 Rudolph Technologies（现创新科技）系统科学家、 科磊半导体资深科学家、中科院微电子所研究员及博士生导师，具有多年半导检测 设备研发经验。其余高管也毕业于海内外知名院校，拥有知名业内公司的研发、管 理经验及相关科研背景，为公司发展提供可靠的技术、管理支撑。

重视研发团队建设，多措并举激发团队技术创新能力。截至2022年6月30日，公司拥 有研发人员298人，占公司总员工人数的44.08%。已形成了涵盖光学、算法、软件、 机械、电气、自动化控制等多学科、多领域的专业人才队伍。公司制定了健全的项目 绩效和专利管理相关制度，设定专利申请奖励与项目奖励措施，鼓励全体研发人员进行技术钻研，推进技术创新与优化，以此提高核心技术人员的创造力与产学研转 化效率。 坚持高研发投入，掌握多项核心技术夯实竞争壁垒。公司长期坚持高研发投入策略， 筑牢自身技术基础。2019年-2022年，公司研发费用分别为0.56、0.46、0.95和2.06 亿元，占营业收入比重分别达到100.01%、19.43%、26.36%及40.40%，长期的大 金额、高比例研发投入提升了公司产品对半导体质量控制设备类别及工艺制程覆盖 的广度。公司掌握光学检测技术、大数据检测算法和自动化控制软件在内的9项核心 技术，立足核心技术、研发高性能产品，公司不断夯实竞争壁垒。

营收高速增长，盈利能力显著改善。2018-2022年，公司分别实现营收0.30、0.56、 2.38、3.61、5.09亿元，期间营收年均复合增速达到103%，营收实现高速增长。公 司于2020年实现归母净利润0.40亿元，实现扭亏为盈，2020-2022年归母净利润均 维持盈利状态。公司2022年扣非归母净利润为-0.88亿元，主要原因是公司为提升核 心竞争力和竞争优势，坚持高研发投入，研发费用占营业收入比例处于较高水平。 后续伴随营收规模的持续提升，公司盈利能力有望进一步改善。

公司主营业务包括检测设备、量测设备，检测设备增速较快。2018年-2022年，公司 检测设备营收从0.13亿元增长至3.85亿元，期间年均复合增速为135%；同期量测设 备营收从0.16亿元增长至1.18亿元，期间年均复合增速64%；公司检测设备呈现出更 快的成长速度，在主营业务中的营收占比也从2018年的43.6%提高至2022年的 76.6%，是公司成长的主要驱动力。

公司毛利率稳健提升，检测设备贡献主要毛利润。公司检测设备毛利率呈现出稳健 提升趋势，量测设备毛利率2018-2021年也持续提高，2022年略有下降。2022年公 司检测设备、量测设备及总毛利率分别为52.6%、35.8%、48.7%。由于检测设备营 收占比较高、毛利率水平也较高，目前公司主要毛利润由检测设备贡献，2022年检 测设备、量测设备业务分别贡献毛利润2.02、0.42亿元。