中科飞测主要产品、股权结构及营收表现如何？

国产高端质量控制设备龙头。

1. 深耕半导体质量控制设备领域，产品性能比肩国际巨头

中科飞测是国内领先的高端半导体质量控制设备公司，成立于 2014 年 12 月，于 2023 年 5 月登陆科创板上市。公司自成立以来始终专注于检测和量测两大类集 成电路专用设备的研发、生产和销售，产品主要包括无图形晶圆缺陷检测设备系 列、图形晶圆缺陷检测设备系列、三维形貌量测设备系列、薄膜膜厚量测设备系 列等。公司拥有独立的研发、采购、生产和销售体系，产品已广泛应用在中芯国 际、长江存储、士兰集科、长电科技、华天科技、通富微电等国内主流集成电路 制造产线，打破在质量控制设备领域国际设备厂商对国内市场的长期垄断局面。

半导体质量控制设备是集成电路生产过程中核心设备之一，涉及对集成电路制造 的生产过程进行全面质量控制和工艺检测，对设备的灵敏度、速度均有较高的要 求。公司的产品根据检测类型的不同，可分为检测设备和量测设备。

公司的检测设备主要功能系检测晶圆表面或电路结构中是否出现异质情况，如颗 粒污染、表面划伤、开短路等对芯片工艺性能具有不良影响的特征性结构缺陷。 主要产品包括无图形晶圆缺陷检测设备系列和图形晶圆缺陷检测设备系列。量测 设备的主要功能系对被观测的晶圆电路上的结构尺寸和材料特性做出量化描述， 如薄膜厚度、关键尺寸、刻蚀深度、表面形貌等物理性参数的量测。主要产品包 括三维形貌量测设备系列、薄膜膜厚量测设备系列、3D 曲面玻璃量测设备系列。

2.股权控制集中，产业背景深厚

CHEN LU（陈鲁）、哈承姝夫妇为公司实际控制人，合计持有公司 30.54%股份。截 至 2024 年 3 月 31 日，苏州翌流明持有公司 11.81%的股份，CHEN LU（陈鲁）、哈 承姝夫妇合计持有苏州翌流明 100%股份；小纳光持有公司 5.89%股份，苏州翌流 明为小纳光执行事务合伙人，CHEN LU（陈鲁）、哈承姝夫妇通过苏州翌流明对小 纳光享有控制权；同时，哈承姝直接持有公司 5.2%股份。实控人 CHEN LU（陈鲁）产业背景深厚，拥有丰富的行业经历；实控人哈承姝拥有丰富的财务及投资行业 从业经历。

公司股东产业背景豪华。截至 2024 年 3 月 31 日，公司第二大股东为国投基金， 持有公司 11.4%的股份；芯动能持有公司总股本的 4.81%，大基金和京东方各持 有芯动能 37.35%的股份；中科院微电子所持有公司 3.63%的股份。 公司共有北京和苏州两家分公司、8 家控股子公司以及一家孙公司（新加坡中科 飞测）。上述已开展经营活动的公司中，主要业务包括从事与设备相关的研发、生 产和销售、零部件采购及设备销售以及与销售相关的客户服务支持等，与母公司 的经营活动有一定的协同效应。

3.营收高速增长，持续加大研发投入

行业景气度提升，公司营收利润增长。中科飞测 2023 年营业收入 8.91 亿元，同 比增长 74.95%。2019 至 2023 年公司营业收入呈快速增长趋势，年均复合增长率 为 99.72%。公司营收快速增长的原因一是受下游市场需求驱动，半导体产业高景 气带来的需求增加，二是公司持续自主创新，研发出能够对标进口产品性能的设 备，持续提高公司的竞争力，积累了越来越多优质的国内客户。公司 2021 年实 现归母净利润 5343 万元，同比增速高达 34.96%，利润增长得益于客户的不断增 加带来的出货量增加。2022 归母净利润为 1174 万元，同比下滑原因在于研发费 用支出较高，2023 年公司实现归母净利润 1.4 亿元，同比增长 1072.38%，得益 于公司经营规模逐步扩大，规模效应凸显。 2024Q1 公司实现营收 2.36 亿元，同比增加 45.6%，实现归母净利润 0.34 亿元， 同比增长 9.16%，主要系公司产品类型日趋丰富，市场认可度不断提升，公司产 品销量同比大幅增加，收入规模实现快速增长，且盈利能力逐步提升。

检测和量测设备销售收入均呈快速增长。公司的主营业务收入来源主要为检测设 备和量测设备。2023 年，检测设备营收为 6.54 亿元，同比增长 69.87%；量测设 备收入为 2.22 亿元，同比增长 88.14%。检测和量测产品收入占比逐年提升，主 要系公司设备自 2017 年通过下游知名客户验证后，口碑效应明显，产品迅速获 得市场广泛认可，客户数量快速增长，带动设备销量的快速增长。我们认为未来 随着下游客户对公司量检测设备需求增长，以及公司销售的产品型号更加丰富， 公司量检测设备销售收入有望持续高增。

公司量检测设备毛利率逐步提升，费用管控效果显著。公司近几年的毛利率逐渐 提升，2023 年检测设备的毛利率为 57.17%，量测设备的毛利率为 38.79%。整体 来看，检测设备的毛利率相对较高，但量测设备的毛利率增长较快，未来随着设 备出货量不断增加，公司规模效应显现，将带动毛利率进一步增长。公司期间费 用率呈下降趋势，其中管理费用波动较大，系 2019 年度进行股权激励中一次性 计入股份支付费的金额较大所致。

在手订单充足。公司 2024Q1 存货达 12.87 亿元，合同负债达 4.78 亿元，作为在 手订单前瞻性指标，可充分反映公司在手订单充裕，存货持续增长，合同负债自 2022 年维持在 4.4 亿以上，公司为应对业绩增长积极备货，存货呈上升趋势，营 收增长可期。

2023 年研发投入加大，研发成果显现。随着公司营收的加速增长，公司的研发占 比下降，但研发费用投入不断加大，2023 年公司研发投入 2.28 亿元，同比增加 10.68%，系公司为加大竞争力，拓展公司产品品类，并对原有产品进行迭代升级。 同时，公司研发团队不断扩大，2019 至 2023 年，公司研发人员数量分别为 96 人、 121 人、223 人、324 人和 378 人，研发团队快速扩张，研发人员占比逐步提高。

高度重视研发，专利技术收获丰硕。截止 2023 年末，公司共拥有境内外授权专 利 482 项，其中发明专利 111 项、实用新型专利 348 项，外观设计专利 5 项，拥 有软件著作权 18 项。多项专利技术以及软件著作权增强了公司的行业竞争力。 同时，多项在研项目进展顺利，也将为公司未来发展注入新的动力。

研发团队核心技术人员具备专业背景和丰富产业经验。截止 2023 年 12 月 31 日， 公司研发人员 378 人，占公司员工人数 43.20%，团队涵盖光学、算法、软件、机 械、电气、自动化控制等多领域。三位核心技术人员均为博士研究生，其中 CHEN LU 曾任 KLA 资深科学家，黄有为、杨乐也曾任职于中科院微电子所，核心技术人 员产业经验丰富，具备业界前瞻视角。

推出股权激励计划，提振军心共谋未来发展。根据公司公告，公司于 2024 年 4 月 推出股权激励计划，授予限制性股票数量 800 万股，占本激励计划草案公告时公 司股本总额 32,000 万股的 2.50%；授予激励对象共计 113 人，占公司员工总人数 的 12.91%，包括公司董事、高级管理人员、核心技术人员及技术骨干人员。我们 认为，公司此举彰显了其对未来发展的自信，加大股权激励将充分调动员工积极 性，有利于进一步提高技术研发效率，为公司后续发展提供有力支撑。