中科飞测主要产品、股权架构、经营业绩及布局分析

量检测设备领军企业，经营业绩快速增长。

1.量检测设备领军企业，产品品类覆盖全面

中科飞测成立于2014年，专注于高端半导体质量控制领域。公司主要产品包括检测设备、量测设备两大集成电路专用设备以及良率管理软件。2017年，公司主要产品无图形晶圆缺陷检测设备通过中芯国际产线验证，一年后，图形晶圆缺陷检测设备通过长电先进产线验证。2021年，公司无图形晶圆缺陷检测设备通过国家科技重大专项验收。2023年，公司于科创板上市。

公司九大系列设备已应用于28nm及以上制程，客户涵盖中芯国际、长江存储、士兰集科、长电科技、华天科技、通富微电等国内主流集成电路前道制程、先进封装企业。

公司主要产品涵盖检测设备、量测设备、良率管理软件： 无图形晶圆缺陷检测设备、图形晶圆缺陷检测设备、三维形貌量测设备、介质膜厚量测设备、金属膜厚量测设备、套刻精度量测设备六大系列设备已经在国内头部客户批量量产应用； 明场纳米图形晶圆缺陷检测设备、暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备、光学关键尺寸量测设备三大系列设备均已完成样机研发，并出货客户开展产线工艺验证； 三大良率管理软件已全部应用在国内头部客户，分析芯片制造中产生的检测、量测、电性测试等良率相关数据。

2.创始人技术背景深厚，激励计划增强人才稳定性

创始人技术背景深厚，国产化进程加速。陈鲁、哈承姝夫妇为公司实际控制人。截至2024年三季报，二人通过苏州翌流明持有公司11.81%的股份，此外，哈承姝持有公司5.2%的股份，二人共计持股17%。陈鲁先生曾任科磊半导体资深科学家、中科院微电子所研究员、博士生导师，公司核心技术人员黄有为、杨乐均在中科院微电子所有任职经历。公司凭借深厚的技术积累和强大的研发团队，正在加速实现高端半导体设备的国产化替代。激励计划增强人才稳定性。公司2024年发布限制性股票激励计划，所授股份占该激励计划草案公告时公司股本总额（3.2亿股）的2.5%，激励对象包括公司高管和核心技术人员在内的113名员工，激励人数为截至2023年末公司总员工数量（875人）的13%。

3.经营业绩快速增长，持续投入保障新设备研发

2020-2023年经营业绩持续增长，归母净利润逐渐改善。2020-2023年，公司营收由2.38亿元增长至8.91亿元，复合增长率达到55.27%，归母净利润由0.4亿元增长至1.4亿元，复合增长率达到51.83%。 2024年前三季度，公司营收同比增长38.21%至8.12亿元，归母净利润同比下降165.58%。一方面是公司作为该行业领军企业，进一步加大产品迭代升级方面的研发，研发费用同比增长131.82%；另一方面是公司实行了股权激励计划，股份支付费用有所增加。公司继续坚持9大系列设备和3大系列软件的布局，订单规模持续增长，新设备验证顺利。

公司加大研发力度，为持续增长奠定基础。2020-2024年前三季度公司销售、管理、财务费用率基本保持平稳；研发费用方面，公司作为国内半导体质量控制领域龙头企业，持续加大创新力度，2022-2024年前三季度，研发费用由2.06亿元增加至3.35亿元。u 公司毛利率稳步提升。2019-2023年，公司毛利率由33.9%提升至52.62%，表现较为出色。分业务看，2023年检测业务毛利率为57.17%，毛利率水平较高。