横向拓宽行业维度,向储能、半导体等新兴行业布局。
1. 半导体设备全球市场规模持续创新高,国产替代空间大
半导体设备市场空间广阔,国内需求量巨大。根据日本半导体制造装置协会统计,2023 年全球半导体制造设备销售额达 1062 亿美元,较 2022 年小幅下滑 1.3%,近 10 年年均复 合增速达 11.6%,总体规模呈上升趋势;其中中国大陆地区半导体设备销售额实现 366 亿 美元,同比增长 29%,占全球市场份额的 34.4%,近 10 年年均复合增速达全球增速的两 倍以上,实现 24.2%,市场空间持续攀升。
半导体设备根据产业链流程可分为前道设备(晶圆制造环节)和后道设备(封装测试环 节)。根据 semi 统计,2023 年,前道设备销售额达 959.1 亿美元,同比提升 1.9%,占比 90.3%,较 2022 年提升 2.7PCT;后道封装设备销售额 40.5 亿美元,同比下降 30%,测试 设备销售额 62.4 亿美元,同比下降 17%,后道设备总销售占比 9.7%,较 2022 年占比下 滑 2.7PCT。
从设备进口金额来看,封测设备国产替代空间上百亿。2023 年中国大陆主要半导体设备 进口额达到 234.70 亿美元,同比+11.65%。其中封测环节设备划片机、抛光机、贴片机、 引线键合机、光学检测设备的合计进口金额达到 68.78 亿美元,国产替代空间广阔。
2.光伏设备商反哺半导体,公司加深半导体产业链维度
光伏发电是基于半导体光生伏特效应实现的,前期由于光伏行业和半导体行业对硅料的 纯度需求不同而发展出两条相对独立的产业链,然而随着光伏电池技术走向 N 型路线, 行业对硅料纯度提出了更高的要求,电池制造环节也逐渐追求高精度、高工艺。此外,N 型路线上的 HJT 技术在材料和结构上与半导体器件具有高度一致性,光伏产业工艺要求 已经明显呈现出向半导体行业靠拢的趋势。 在半导体化趋势下,光伏设备企业在不断精进光伏设备产品的基础上,纷纷开始布局半 导体设备产品,以期展现公司优异的高端装备制造能力,并且在半导体设备的国产替代 周期获得较大的市场机会。
公司基于半导体封装环节的底层逻辑,就封测行业自焊接键合环节向上下游拓展。2018 年,公司立项研发铝线键合机;2021 年推出首款铝线键合机产品并于当年获得首批订单; 2022 年获通富微电批量订单;2023 年获泰昕微电子 IGBT 铝线键合机订单,同年奥特维 半导体业务实现划片、装片、AOI 检测、键合四大环节布局,根据 2023 年报,公司已与 通富微电,中芯集成,华润微电,捷捷微电,电基集成等分立器件、IGBT、AOI 客户建 立了良好的合作关系。 随着封装环节设备产品的不断完善,2023 年子公司松瓷机电推出半导体磁拉单晶炉,获 得韩国知名半导体公司批量订单,同时,松瓷机电还将帮助客户建立全球首座半导体级 无人化智能拉晶工厂,实现降本增效,达到高效生产,至此,公司半导体产品完成了向 上游的拓展。2024 年,公司与日本团队成立合资公司,研发化学机械抛光设备(CMP), 完善了公司产品在半导体三大主要生产环节的布局。

1) 键合机:18 年立项,市场认可度持续提升。半导体键合技术是通过外界压力,如高温、电压、超声波等形式实现晶圆与晶圆,或者 晶圆与封装基板(引脚)材料原子/分子间的相互作用,与传统焊接工艺通过高温熔融材 料从而形成连接不同。 键合工艺可以分为传统的芯片键合、引线键合和先进的倒装芯片键合、混合键合。近年 来材料与器件的物理极限逼近摩尔定律,晶圆-晶圆键合应运而生,采用先进键合工艺实 现两片晶圆或者晶圆与封装基板间的相对固定,满足器件高密度集成需求。国内先进键 合设备起步较晚,2023 年拓荆科技首台晶圆对晶圆键合产品 Dione 300 顺利通过客户验 证,并获得复购订单;2024 年迈为股份推出 12 英寸晶圆熔融键合设备。
传统键合工艺主要用于芯片-晶圆键合,指整片晶圆被分割成独立的芯片单元后再被固定 在封装基板上。根据 Besi 5 月投资者简报,2023 年引线键合仍然是主要的键合方式,占 封装设备市场的 16%。
在引线材料的选择上,常用的键合丝包括金、银、铜、铝,其中铝线具有优良的导电性、 较高的机械强度、较低的成本,并且适用于微小尺度的连接,主要应用于功率器件的焊 接。奥特维凭借着在光伏串焊领域的技术经验积累,依托自身强大的机械、电气、电子、 机器视觉等技术团队,2017 年将目光投向半导体行业,启动了铝丝键合机项目,2021 年 正式推出首款半导体铝丝键合机 AS-WBA60,该设备研发对标国际一线厂家,重复定位精 度可以达到 3um,产能 9k/h,兼容 2-20mil 的铝丝以及铝带,推出当年就获得了无锡德 力芯首批订单,2022 年 4 月再次获得通富微电子批量订单,2023 年获泰昕微电子 IGBT 铝线键合机设备订单,市场认可度高。 随着第三代半导体碳化硅(SiC)的发展,大功率器件在运行过程中存在高频率交变应力, 加速键合引线的老化,导致 SiC 器件可靠性降低。铜线具有较高的伸长率和破断力、良 好的导电导热性能,键合点可靠性寿命至少为铝线的十倍,引起了行业关注。公司 2022 年向特定对象募集资金 5.3 亿元,用于建设高端智能装备研发及产业化项目等,其中包 括半导体封装测试核心设备装片机、金铜线键合机、倒装芯片键合机,2023 年公司成功 研发出半导体碳化硅铜线键合机,应用 SiC 粗铜线工艺,适用于 5-20mil 粗铜线键合, 可满足市面上大部分粗铜线键合需求,具有高适用、高稳定、高性能三大优势。此外, 公司倒装芯片键合机项目于 2023 年 8 月开始实施,将根据市场需求对产品性能指标等方 面进行进一步改善调整。
2)AOI 检测:2023 年推出,已进入量产转化。据奥特维 2023 年报,半导体封装厂对其产品封装过程检测要求达到“零缺陷”,公司结 合已有的光学检测技术以及客户需求,开发出精度±3um,产能 30k/h 的高精度、高速率 金、铜、铝线全兼容检测设备。并且,创新性地结合平面和立体成像技术,同时对检测物体的外观和尺寸全检测,极大地节省了人工,保证检测产品零缺陷出厂,为客户产品 质量口碑保驾护航,获得小批量订单。 根据公司战略规划,在 IGBT 等传统封装功率器件光学检测设备的技术基础上,进一步研 发适应先进封装的光学检测设备,2023 年 8 月发布向不特定对象发行可转换公司债券证 券募集说明书,其中拟募集资金 4000 万元用于建设“半导体先进封装光学检测设备研发 及产业化”项目,项目总投资 5000 万元。
3)划片机、装片机:2023 年立项,已在客户端验证。2023 年,公司立项研发适用于 12 寸的晶圆划片机和银浆装片机,截至 2023 年末已在客 户端验证。LFD7100 12 寸全自动双主轴晶圆划片机满足客户大批量生产和高品质的切割 需求,设备定位精度在2um内,在减少人力的情况下将切割效率提高1.5倍以上。EM500A 多功能装片机应用于 SiC 有压银烧结工艺的芯片贴装设备,保证精度±10um 的情况下, SiC 热贴时产能可达到 2.5K/h,常规芯片贴装产能可达到 9K/h,满足客户各种芯片贴装 工艺。
4)半导体磁拉单晶炉:2020 年布局,获海外知名客户订单。子公司松瓷机电自 2020 年开始布局半导体设备技术,凭借在光伏单晶炉研发生产中的技 术积累以及丰富的半导体设备制造经验,于 2023 推出首款 SC-1600MCZ SEMI 半导体级磁 拉单晶炉,采用全新的结构设计、智能化控制系统、突破性磁场控制和趋近横拉速控制, 满足 12-24 英寸超大硅片制造。 产品推出当年,公司获得韩国知名半导体公司的批量订单,同时公司将帮助客户建立全 球首座半导体级无人化智能拉晶工厂,实现降本增效,达到高效生产。
5)CMP 化学机械抛光机:2023 年布局,与海外团队共同研发。2023 年 7 月,公司为进一步提升公司竞争力,拓宽公司半导体产品种类,引进日本技术 团队,设立合资公司,拓展至半导体硅片研磨抛光技术。日本团队负责人岸田文樹曾就 职的日本 Wacom 公司是世界领先的数位板系统、笔感应式数位屏系统和数字界面解决方 案制造商,后期又先后就职于日本秀和工业,负责研磨装置和磨削装置业务以及日本双 羽尖端半导体公司,担任执行董事,在半导体研磨抛光设备领域具有丰富的经验。
3.大储&工商业储能确定性高增长,储能 PACK 行业迎快速发展
2023 年海外天然气价格回落、贷款利率上升对边际需求产生诸多不利影响,但从装机来 看,储能仍实现高速增长。根据中关村储能产业技术联盟不完全统计,2023 年国内新型 储能项目规模(含规划、建设中和运行)超过 2500 个,较 2022 年增长 46%;全国实现储 能装机 21.5GW/46.6GWh,同比 2022 年(7.3GW/15.9GWh)增长 194.5%/193.1%;2024 年 1-4 月新型储能累计装机 5.8GW/15.7GWh,同比+67.0%/+118.0%。 2023 年,集采/框采(储能电芯、电池 pack、直流侧系统和储能系统)规模接近 70GWh; 锂电池储能在新型储能新增装机中仍占据绝对主导地位,市场占比进一步增加至超过 97%。根据 GGII 数据,2023 年全球储能锂离子电池出货量 225GWh,同比增长 50%;其中 中国储能锂电池出货 206GWh,同比增长 58%,其中电力储能锂电池出货量达 167GWh,占 总出货的 81%;国内企业出货在全球占比由 2022 年的 86.7%提升至 2023 年的 91.6%,我 国锂电储能产业在技术、成本和产能方面的巨大优势,预计后几年锂电储能占比仍将维 持高位。
4.公司深耕模组/PACK 环节,凭借主业的客户优势延伸至储能领域
奥特维 2016 年开始研制锂电自动化设备,自主研发锂电模组、PACK 智能生产线、锂电池 外观分选设备等,得到行业知名客户多次多项目的复选采购。2021 年锂电模组/PACK 生 产线首次取得单一订单金额超 1 亿元。 2022 年,公司基于在光伏行业深耕多年的客户资源积累,开拓储能模组 PACK 业务,至 今,奥特维储能模组、PACK、电池簇及集装箱产线持续朝“标准化、模块化、单机化、 轻量化、节能化”的方向迭代,公司产品快速交付、稳定量产、节能降耗,为客户带来 良好的收益。根据公司 2023 年报,应用于锂电池储能的模组/PACK 生产线已取得阿特斯、 天合储能、晶科储能等客户的订单,与山东电工时代、中车株洲等知名储能企业建立了 良好的合作关系;并且获得风电、光伏电站、国网、工商业储能、海外户储等多个行业 标杆客户的认可和复购。
