华海清科发展历程、股权结构及盈利分析

以CMP为根基，设备、耗材和晶圆再生三维布局。

1.专业从事CMP设备研发，技术实力雄厚

公司化学机械抛光设备（CMP）设备处于国内领先水平。华海清科主要从事半导体专用 设备的研发、生产、销售及技术服务，主要产品为化学机械抛光（CMP）设备，所产主流 机型已成功填补国内空白，打破了国际巨头在此领域数十年的垄断，可广泛应用于 12 英 寸和 8 英寸的集成电路大生产线，产品总体技术性能国内领先。同时，公司还经营晶圆再 生、耗材及配套服务业务。 公司与清华大学关系密切，学术背景深厚，技术实力雄厚。华海清科于 2013 年由清华大 学和天津市政府合资成立，公司背靠清华大学摩擦学国家重点实验室，清华大学及公司先 后承担了两项“国家科技重大专项（02 专项）”及三项国家级重大项目/课题，早在公司成 立之前清华大学便研发出了第一台具备抛光性能的整机样机。

公司产品以 12 寸 CMP 设备 Universal-300 系列为主，涵盖逻辑芯片、3D NAND、DRAM 制造等应用。公司的 CMP 设备在逻辑芯片、DRAM 和 3D NAND 制造领域均已达先进制 程工艺，属于国内领先、国际先进水平。公司研制的 CMP 设备全面覆盖集成电路制造过 程中的非金属介质 CMP、金属薄膜 CMP、硅 CMP 等抛光工艺并取得量产应用，高端 CMP 设备的工艺技术水平已突破至 14nm 制程。同时，公司在存储领域的 CMP 设备也均达到 产业化应用水平，覆盖 32/64/128 层 3D NAND 应用，在长江存储已经实现放量，并能够 覆盖 1X/1Y nm 的 DRAM 芯片。

多名高管及核心技术人员来自清华大学，拥有资深、优秀的研发技术团队。路新春为公司董事长兼首席科学家，曾任清华大学机械工程系教授、首席研究员，拥有超 20 年的 CMP 技术研究经验，位居全球 CMP 设备技术专家前三和全球 CMP 设备技术发明人第一，是 国内 CMP 技术发展和产业化的重要推动者，累计获已授权国家发明专利超 100 项。其他 核心技术团队成员均有多年摩擦学国家重点实验室研究工作经历或相关行业从业研究经 历：张国铭为公司总经理，毕业于清华大学，曾任北京七星华创副总经理、北方华创高级 副总裁和首席战略官；王同庆为公司研发总监，曾任清华大学机械工程系副研究员，发表 CMP相关SCI论文30余篇；赵德文为公司技术总监，曾任清华大学机械工程系副研究员， 发表 CMP 相关论文 30 余篇，其中 SCI 收录 20 余篇。

2.股东背景实力雄厚，技术型人才掌舵方向

四川能投为公司实控人，国资基因突出。公司前三大股东持股合计占比超 40%，四川能 投通过全资子公司清源控股和清控创投间接持有 28.19%股份，为公司实际控制人；科海 投资和国投基金分别持股 5.57%/4.69%，实控人分别为天津市国资委/国资委；青岛民芯 投资、上海金浦国调等国资背景一级投资机构也均持有公司股份。 核心高管与员工均持有公司股份。第二大股东为员工持股平台清津厚德，持股比例为 7.68%；清津立德员工持股平台持股达 1.43%。董事长路新春、总经理张国铭分别通过清 津厚德员工持股平台间接持股。路新春加上直接持股共计持有 7.3%的股份，张国铭共计 持有 0.6%的股份；清华大学机械工程学院院长雒建斌、系教授朱煜分别通过清华大学科 技成果转化股权奖励持股 3.64%、3.74%。

3.公司设备导入加速，盈利能力高增

2019 年开始公司 CMP 设备迅速起量迅速，营收快速攀升。2017-2021 年，公司分别实 现销售 2 台、2 台、12 台、19 台、36 台 CMP 抛光设备，公司 2017-2021 年实现收入为 0.19/0.36/2.11/3.86/8.05 亿元，年均复合增速高达 155%；22 年 CMP 设备及其他设备加总共实现销售 97 台，全年收入达 16.49 亿元，同比增长 105%；23 年第一季度收入达 6.16 亿元，同比增长 77%，主要系 CMP 设备市场保有量进一步扩大，晶圆再生、关键耗材与 维保服务等业务规模逐步放量，发展处于快车道。

公司归母净利润、扣非归母净利润整体呈上升趋势，近年来维持高增速。2019 年公司营 收大幅跃升，但归母净利润 2020 年才转正，主要系 2019 年股份支付较多所致。2020 年 至今为止公司始终保持归母净利润、扣非归母净利润稳定攀高，2021 年和 2022 年归母净 利润/扣非归母净利润分别为 1.98/1.14 亿元和 5.02/3.80 亿元；23Q1 公司实现归母净利 润 1.94 亿元，同比增长 112.49%，扣非归母净利润 1.67 亿元，同比增长 114.46%。

CMP 设备毛利率、单价逐年提高，为盈利提供坚实保障。2017-2021 年公司 CMP300、 200 系列设备均价分别从 1330 万元、84 万元提升至 1949、1155 万元/台，其中 2017 年 销售的 1 台 200 系列设备为 U200，是仅含 1 套抛光单元的手动式小型 CMP 设备，单价 较低；2020 年实现销售的 18 台 300 系列设备中包括 1 台小型 12 英寸 CMP 设备 300B， 单价较低，去除其影响后设备均价为 2002.93 万元/台。 2017 年公司 CMP 设备毛利较低，仅为 1.73%，系 U200 单价较低且设备处于早期所致， 2021、2022年CMP设备毛利率分别达42.78%、47.65%，带动整体毛利率上升：2017-2022 年公司整体毛利率从 17.53%提升至 47.72%，年均上升 6.0 个百分点，23Q1 毛利率达 46.66%。横向对比来看，公司 2019 年前毛利率略低于同业，此后迅速增长，23Q1 毛利 率略低于拓荆科技、盛美上海，而高于其他国内设备厂商。

公司费用管控卓有成效，净利率表现行业领先。公司 2019 年管理费用较高系薪酬支出较 多，2020-2022 年费用绝对值上升系公司收入规模迅速扩大、CMP 设备收入增长对应的 售后服务费及职工薪酬增长所致，但从营收占比看，2017-2023Q1 公司销售费用、管理 费用和财务费用共计占营收的比例从 85.25%下降至 8.19%。公司凭借较强的费用控制能 力，在同业公司中净利率居于前列，2022 年为 30.42%，23Q1 升至 31.46%。 研发费用高速增长，为发展提供充足动能。研发费用看，2022 年为 2.17 亿元，同比增长 89.87%，23Q1 升至 0.65 亿元，同比高增 97.07%。继 2018 年设备快速上量带动营收规 模增长后，研发费用占营收比例迅速下降，目前稳定于 10%-20%区间内，其下降趋势和 研发费用率水平与同业公司基本一致。

4.在手订单充足，保障未来营收持续增长

合同负债、存货余额持续增长，营收预计可得到充分保障。截至 2022 年底公司 CMP 及 其他设备总产量达 190 台，库存量/已发出未验收的设备达 184 台。存货账面余额从 2021 年底的 14.9 亿元升至 2022 年底的 23.8 亿元，发出商品从 7.7 亿元升至 11.8 亿元。合同 负债方面，2022 年底余额为 13.0 亿元，23Q1 增至 13.3 亿元，表明在手订单充裕，业绩 保障较强。据公司招股说明书，一般新工艺、新客户首台 Demo 设备验收周期约为 12-18 个月，非 Demo 设备验收周期约为 3-6 个月，获得客户验收后方可确认销售收入。