半导体真空泵和阀门发展现状如何？

真空泵： Edwards 以及 Ebara 占据主要份额，汉钟精机、中科仪实现突破

真空泵是真空获得设备中的主要种类，用于获得、改善以及维持真空环境。真空泵之于半 导体设备意义重大：半导体器件不同材料层之间混入气体分子会破坏器件的电学或光学性 能，故而真空系统对芯片的性能和良率直接造成影响。半导体真空泵可广泛应用于晶圆制 造过程中的单晶拉晶、LoadLock、刻蚀、CVD、ALD、封裝、测试等清洁或严苛制程。 半导体真空泵具有较高的技术门槛，对产品的可靠性、定制化以及能源效率具有较高的要 求。 

可靠性：半导体真空泵对产品可靠性有较高要求，工作过程需要不断保养，维修成本 较高，因此可靠性高的产品能减少维修次数，降低客户使用成本。

定制化：在半导体制造领域，每天生产线工况各不相同，客户端对解决方案和产品的 需求更加定制化。

能源效率：真空产品为高能耗产品，提高能源效率能减少客户的能源损耗。

目前，全球半导体真空泵市场由国际厂商主导，海外厂商占据了超过 90%的市场份额。全 球真空泵的主要厂商包括龙头 Edwards（瑞典 Atlas 子公司）、Ebara（日本）、Pfeiffer Vacuum（德国）、Kashiyama（日本）等海外公司，国内厂商份额不足 5%，有着较大的国 产替代空间。根据 ISVT 估测，2017-2020 年全球真空泵的市场规模为 44.9、48.8、45.4、 45.8 亿欧元，市场规模相对保持稳定；2020 年半导体用真空泵需求占比达到 42%左右，全 球半导体领域真空泵市场需求约 19.24 亿欧元（约 134 亿人民币）。2021 年 Edwards（已被 Atlas 收购）、Ebara 和 Pfeiffer Vacuum 市占率分别为 48%、24%和 13%，合计占据了 超过 80%的市场。

国内半导体真空泵的主要厂商是汉钟精机和中科仪，其中汉钟精机主要采用螺杆干式真空 泵，拥有 PMF、iPM、iPH 系列干式真空泵产品。公司经过多年发展和积累，在螺杆、涡旋、 离心等不同领域已拥有自己雄厚的技术实力，不断加强研发投入和技术创新，取得了行业 内领先的技术研发优势。汉钟精机的产品为螺杆干式真空泵，在高严苛、粉尘多的制程中 更有优势，而爪式真空泵排气道出气距离长，容易造成电机负载过高。未来随着半导体制 程越来越严苛，螺杆真空泵的优势将逐步体现。目前，汉钟精机与国内部分机台商、晶圆 厂都已有合作，并有一定的小批量出货。同时，公司产能正在不断释放。公司 8 月 29 日披 露投资者关系活动记录表显示，台中厂三期已于今年上半年投入使用，上海厂三期预计明 年一季度投入使用。

阀门： 海外巨头垄断，新莱应材份额快速提高

半导体阀门是由带有辅助设备的半导体器件组成的阀，主要是在流体系统中，用来控制流 体的方向、压力、流量的装置。半导体制造是制造用于电子设备和电气设备的集成电路的 过程，这些过程中需要许多阀门和配件的解决方案。目前，半导体阀门主要可分为隔膜阀、 波纹管阀、真空阀、球阀、蝶阀、门阀、角阀、特氟龙门阀等，其中真空阀是主要的半导 体阀门类型。 根据 Market Research Reports 的数据显示，全球半导体阀门市场预计 2022 年规模将达到 17.12 亿美元，预计到 2028 年市场规模达到 25.45 亿美元，在 2022-2028 年预测期间的 复合年增长率为 6.8%。 半导体阀门全球主要制造商包括 VAT Vakuumventile、Parker、Fujikin、CKD、Swagelok、 MKS、SMC Corporation、GEMÜ、Entegris 等。根据 Market Research Reports 数据显示， 2021 年全球前五名的收入份额约为 68.61%，市场集中度相对较高。

VAT：瑞士 VAT 公司是是全球领先的高性能真空阀、多阀单元、真空模块和边缘焊接金属 波纹管的开发商和制造商，主要生产用于半导体、LED、太阳能电池、显示器和其他高真 空要求产品的先进研发和制造工艺的关键任务组件。VAT 公司拥有十分广泛的阀门产品组 合，产品包括约 140 个阀门系列，其中包含了 8000+种定制产品和 2500+种标准产品。 VAT 公 司还拥有先进的真空阀制造技术，拥有独家的 VATLOCK 、 MONOVAT 、 VATTERFLY、VATRING、VATSEAL 等技术，能够最大限度的确保阀内真空、增强使用性 能、承受 450 摄氏度高温、具有长的使用周期（清洁条件下可以使用 100000 次循环）。 VAT 公司的核心产品是各类阀门，2021 年阀门占公司营业收入的 81%。从分市场营收占比 来看，半导体相关业务是支撑公司业绩持续增长的重要驱动力，2021 年，VAT 公司约有 75% 的营业收入来自半导体相关业务。同时，VAT 公司不断扩大市场份额，2021 年，公司全产 业、半导体及相关产业、半导体产业的真空阀市场份额分别达到 58%、65%、75%，七年 来份额不断提升，是当之无愧的真空阀行业领军者。

Parker（派克汉尼汾）是 VAT 之后的美国半导体阀件领域领先企业，公司有 V01 高频阀、 SQ2 MICRO 系列减压阀、FR1000 系列调节阀、PFA/PTFE 阀门和接头等半导体阀门产品。 半导体阀占 Parker 营收比重较小，2020 年 Parker 营收 14347.64 百万美元，根据 QYResearch 数据，2020 年 Parker 半导体阀营业额为 136.93 百万美元，约占全球半导体阀总市场的 11.13%。Fujikin（富士金）是制造流体和气体自动控制设备、专用控制单元以 及超高纯度阀门和配件的半导体零部件厂商，拥有 MEGA 系列、标准系列、双流量阀和电 控阀等阀门产品，能够生产成品低于 5Ra 的阀门，从而在很大程度上减少半导体制造过程 中的杀伤性颗粒。

目前，国内生产半导体阀门的企业主要包括新莱应材和晶盛机电。新莱应材在半导体阀门 已经能实现对海外零部件的替代，下游客户包括国内外知名的半导体设备厂商，并与制造 公司长江存储、合肥长鑫等在高端真空阀门等产品方面也有深入合作。 晶盛机电近年来积极布局半导体阀门等零部件业务，2022 年 5 月 19 日，晶盛机电宣布其 子公司晶鸿精密和日本 primet 合资成立的绍兴普莱美特真空部件有限公司跨国合作的第一 批国产半导体真空阀门产品上市。4 月份，该公司首批 6 款真空隔膜阀通过客户认证并实现 量产，为打造半导体核心精密真空阀门部件国产化基地迈出重要一步。