京仪装备研究报告：国内半导体温控设备龙头，乘风破浪未来可期.pdf

京仪装备研究报告：国内半导体温控设备龙头，乘风破浪未来可期。半导体温控设备壁垒高、竞争格局好。半导体专用温控设备对半导体设备使用 的循环液的温度、流量和压力进行精密控制，以实现半导体工艺制程的控温需求， 是集成电路制造过程中不可或缺的关键设备，温控精度和温控范围要求高，应用 在刻蚀、薄膜沉积、涂胶显影、离子注入、CMP 等设备，其中 2022 年刻蚀（61%）、 薄膜沉积（18%）、涂胶显影（10%）三大环节占比最高。根据 QY Research， 2022 年我国约 6 成的半导体专用温控设备市场被海外厂商所占据，2018-2022 年 CR6 在 90%左右，国内市场参与者包括京仪装备、SMC、ATS 等，京仪装 备为唯一一家国内厂商，2022 年京仪装备市占率排名第一，市场份额约 36%。

京仪打破国外垄断，是目前国内唯一一家实现半导体专用温控设备大规模装机 应用的设备制造商，也是目前国内极少数实现半导体专用工艺废气处理设备大 规模装机应用的设备制造商，2022 年分别实现市占率 35.73%、15.57%，在国 内市场分别排名第一、第四。公司技术水平国内领先，温控设备在 14-90nm 逻 辑芯片和 64-192 层 3D NAND 等存储芯片制造中若干关键步骤已大规模量产， 客户包括长江存储、中芯国际、华虹集团、大连英特尔、广州粤芯、长鑫科技等 国内主流集成电路制造产线。

中国大陆本土晶圆代工产能仍未满足需求，京仪受益本土晶圆厂扩产带来的 国产化需求。近年来中国半导体行业迅速发展，行业资本开支快速增长，为 公司发展提供了良好的产业环境。2021 年温控设备在产线设备投资中占比 约 0.62%，工艺废气处理设备占比约 1%，EFEM 及传片设备占比约 0.67%， 公司三大产品合计产线投资占比约 2.29%。京仪作为国内半导体温控设备龙 头，将受益于晶圆厂扩产以及国产化率提升。