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京仪装备研究报告：半导体温控及废气处理设备龙头，国产替代、先进扩产驱动成长。公司是半导体温控设备、废气处理设备龙头，产品已规模应用于国内长存、长 鑫、华虹、中芯国际等晶圆厂和北方华创、中微、屹唐等设备厂，覆盖 90nm 到 14nm 逻辑芯片、64 到 192 层 3D NAND 存储芯片等工艺。2022 年公司实现营收 6.6 亿元，同比+32%，2020-2022 年复合增长率 37%；实现归母净利润 0.91 亿 元，同比+55%，2020-2022 年复合增长率 289%。2022 年公司主营产品半导体温 控、废气处理、晶圆传片设备营收占比分别为 49%、35%、3%。公司温控、废 气处理技术国内领先、国际先进，深度受益于先进制程扩产、国产替代加速。

半导体温控设备国内市场规模 11 亿元，先进制程扩产驱动市场扩容

半导体温控设备主要为工艺制程提供反应温度，直接影响晶圆良率及产线产能利 用率，技术壁垒较高。根据 QY Reaearch， 2022 年全球半导体温控设备市场规模 约 47 亿元，CR5 市占率为 64%，公司市占率全球第六；我国市场规模 11 亿元， CR3 市占率为 65%，公司市占率 36%居第一。公司半导体温控设备在温控范 围、温控精度和冷却能力等关键技术指标处于国内领先、国际先进水平，2018- 2022 年我国半导体温控设备市场规模复合增长率达 10%，预计未来先进制程扩 产下市场规模继续增长，龙头市占率有望继续提升。

废气处理设备国内市场规模 15 亿元，公司市占率有望继续提升

半导体废气处理设备用于处理工艺制程产生的工艺废气，保障产线安全。根据 QY Reaearch，2022 年全球半导体废气处理设备设备市场规模约 85 亿元，我国市 场规模 15 亿元，CR6 市占率 90%左右，公司市占率 15.6%居国内第四，4 年市占 率+12.5pct。随着国内半导体设备国产化加速，叠加公司优秀的客户资源，未来 公司尾气处理设备的市占率有望继续提升。

客户资源优秀、技术研发领先，公司护城河深厚

半导体设备验证周期长，客户及技术是核心壁垒。2016 年起，公司与国内外头 部晶圆厂和设备厂逐步开展合作，2022 年长江存储、华虹集团、中芯国际在公 司营收占比分别为 28.4%、14.3%、13.8%。半导体专用设备技术壁垒高，产品迭 代快，公司凭借客户+技术优势充分构建公司护城河。