半导体设备行业业绩与盈利能力如何？

国内半导体设备行业收入增 速保持在 50%以上。

1、 2022 年国内半导体设备整体保持强劲增长，Q4 延 续高增长

2022 年中国半导体设备 16 家上市公司的总收入达到 335 亿元，同比增长 57%。 其中： （1）2022 年收入增速最高是拓荆科技，同比增长 125%，其次是华海清科，同 比增长 105%； （2）制程设备（拓荆科技、华海清科、盛美上海、芯源微、中微公司、北方华 创、中科飞测、上海精测、凯世通）2019-2022 年同比增速依次是 28%、42%、 61%、60%； （3）封测设备（长川科技、华峰测控、联动科技、金海通）2019-2022 年同比 增速依次是 26%、82%、99%、40%。

中国半导体设备 16 家上市公司的合计收入，从 2017 年 41 亿元，增长至 2022 年 335 亿元，2017-2022 年复合平均增速为 52%，2018-2022 年复合平均增速 为 50%。

根据中国半导体设备企业已披露的 2022 年收入数据排名（屹唐股份未披露数 据），北方微（北方华创子公司）、中微公司、盛美上海位居前三名。拓荆科技 从 2021 年排名从第 8 位攀升至 2022 年的第 5 位。华海清科从 2021 年排名从 第 7 位攀升至 2022 年的第 6 位。

根据中国半导体设备企业已披露的 2022 年收入数据统计（屹唐股份未披露数 据），本土设备厂商龙头北方微在国内大部分设备厂商的份额达到 36.0%，行 业前三名的份额达到 60%，前五名份额达到 74%，前八名的份额达到 86%，国 内市场竞争格局也比较集中在头部设备企业。

根据中国半导体设备上市公司已披露的 2022 年扣非净利润数据（屹唐股份未披 露数据），全行业扣非净利润 56.25 亿元，同比增长 133%，扣非净利润率达到 17.3%。其中： （1） 拓荆科技：实现 2022 年扣非净利润扭亏为盈； （2） 北方华创：扣非净利润 21.06 亿元位居行业第一； （3） 中微公司：扣非净利润 9.19 亿元位居行业第二； （4） 盛美上海：扣非净利润 6.90 亿元位居行业第三。

1.2、 季度数据：22Q4、23Q1 行业收入同比增长 50% 以上

2022 年第四季度、2023 年第一季度，本土半导体设备上市公司的单季度收入继 续保持 55%、57%的强劲增长，其中： (1) 制程设备：23Q1 单季度收入同比增长 73%，而 22Q1-22Q4 增速依次是 58%、66%、74%、49%： a)拓荆科技：22Q4 确认 7 亿元收入同比增长 86%，23Q1 确认 4 亿元收入 同比增长 274%； b)华海清科：22Q4 确认 5 亿元收入同比增长 97%，23Q1 确认 6 亿元收入 同比增长 77%； c) 北方华创：23Q1 单季度收入 39 亿元，同比增长 81%。 (2) 封测设备：23Q1 单季度收入大幅下滑 34%，其中长川科技、华峰测控单季 度收入分别下滑 40%、23%。

2、 盈利能力：半导体制程设备行业毛利率 和扣非净利率逐年上升趋势显著

2.1、 扣非净利率：显著上升，规模效应明显

2022 年，主要半导体设备上市公司扣非净利率的平均值达到 17.2%，2017-2021 年扣非净利率依次是-4.3%、2.8%、3.4%、4.9%、11.5%，逐年上升趋势显著。 2022 年，主要半导体制程设备（也有称“前道设备”）上市公司扣非净利率的 平均值达到 15.7%，2017-2021 年扣非净利率依次是-8.3%、-0.1%、2.4%、2.6%、 8.3%，逐年上升趋势显著。

拓荆科技、华海清科、中科飞测成立时间相较于中微、北方华创、盛美较晚，产 品验证和批量订单释放节奏晚于中微、北方华创、盛美，收入规模效应主要体现 在 2020 年及以后，扣非净利润率持续上升，拓荆、华海清科 2022 年分别实现 10.4%、23.0%的扣非净利率，相比 2021 年分别有 21.3 个百分点、8.9 个百分 点的提升。

从 2022 年度扣非净利率看，制程设备上市公司华海清科、盛美上海、中微公司 的扣非净利率超过 15%，拓荆科技、芯源微的扣非净利率位于 10%上下；后道 测试设备的扣非净利率普遍位于 30%以上，仅长川科技的扣非净利率低于 20%。

从 2022 年相比 2021 年的扣非净利率变动幅度看，半导体设备行业平均上升 5.6 个百分点，前道制程设备平均上升 7.4 个百分点，其中上升幅度从大到小，依次 是拓荆科技、盛美上海、中微公司、华海清科、北方华创，其中拓荆科技上升 21.3 个百分点，盛美上海上升 12.0 个百分点。

2023 年第一季度，部分主要半导体设备上市公司的平均扣非净利率达到 14.8%， 相比 2022 年第一季度扣非净利率 13.1%，上升了 1.8 个百分点； 2023 年第一季度，部分主要半导体前道制程设备上市公司的平均扣非净利率达 到 15.9%，相比 2022 年第一季度扣非净利率 11.1%，上升了 4.8 个百分点； 上升幅度最大的是拓荆科技，收入规模效应最为显著；其次是盛美上海，单季度 扣非净利率提升了 11 个百分点。

2.2、 净利率：逐年显著上升

2022 年，国内半导体设备行业平均净利率达到 21.0%，2017-2021 年净利率依 次是 8.8%、7.6%、7.1%、15.5%、18.8%，逐年上升趋势显著。 2022 年，国内半导体前道制程设备行业平均净利率 19.8%，2017-2021 年净利 率依次是 6.0%、5.2%、6.0%、13.9%、16.7%，逐年上升趋势显著。

2.3、 半导体前道制程设备毛利率逐年上升

2022 年，国内半导体设备行业平均毛利率达到 47.4%，2017-2021 年毛利率依 次是 41.4%、41.2%、41.7%、40.8%、44.3%，2022 年提升了 3.1 个百分点。 2022 年，国内前道制程设备企业的平均毛利率 45.1%，2017-2021 年毛利率依 次是 37.8%、38.2%、39.1%、37.8%、41.0%，2022 年提升了 4.1 个百分点。

制程设备企业拓荆科技、华海清科、盛美、中微公司、中科飞测的毛利率均超过 45%，芯源微因前道 Track 收入占比暂时较低以致于总体毛利率不高但也达到 38%。

从 2022 年相比 2021 年的毛利率变动幅度看，半导体设备行业平均上升 3.1 个 百分点，制程设备企业平均上升 4.1 个百分点。制程设备毛利率上升幅度从高到 低，依次是盛美上海、拓荆科技、北方华创、华海清科。 从 2022 年相比 2018 年的毛利率变动幅度看，半导体设备行业平均上升 6.1 个 百分点，制程设备企业平均上升 6.9 个百分点。制程设备毛利率上升幅度从高到 低，依次是中科飞测、华海清科、拓荆科技、中微公司、北方华创、盛美上海。

制程设备企业拓荆科技、华海清科、中科飞测毛利率，2018 年分别为 31.7%、 25.3%、23.7%，逐年攀升至 2022 年的 49.3%、47.7%、48.7%。

从 2023 年第一季度相比 2021 年第一季度的毛利率变动幅度看，制程设备的单 季度毛利率上升幅度从高到低，依次是拓荆科技、芯源微、盛美上海、中微公司、 华海清科、北方华创，毛利率持续攀升的主要两大原因是收入规模效应、产品结 构优化。