半导体行业分析：半导体设备国产替代趋势月度跟踪，3月招标以研磨抛光清洗设备为主，Q1国产中标比例显著.pdf

半导体行业分析：半导体设备国产替代趋势月度跟踪，3月招标以研磨抛光清洗设备为主，Q1国产中标比例显著。3月合计4项招标，主要为中芯国际、华虹半导体和燕东微电子招标， 招标设备主要包括研磨抛光和清洗等品类。根据采招网的数据，2025 年3月，统计样本中的晶圆产线合计产生4项招标。主要为中芯国际、 华虹半导体和燕东微电子招标。招标设备主要包括研磨抛光和清洗等 品类。2025年1-3月，统计样本中的晶圆产线合计招标15项，其中， 积塔半导体、燕东微电子、中芯国际的招标量位居前三。整体而言，设 备招标以检测、研磨抛光等为主。

1-3月合计11项中标，以检测和离子注入设备居多，中标设备里国产 设备整体中标比例约82%。中标方面，根据采招网的数据，2025年3 月，统计样本中的晶圆产线上中标1台检测设备。2025年1-3月，统 计样本中的晶圆产线合计中标11台设备，以检测和离子注入设备居 多；国产设备整体中标比例约82%，其中，刻蚀、退火、去胶、研磨 抛光、离子注入设备的国产中标比例较高。

1-3月统计样本中的国内设备厂商共中标4台设备，主要为中科飞测、 华海清科、中科信中标。根据采招网的数据，2025年1月，统计样本 中的国内半导体设备厂商合计中标3台设备，中科信中标的2台离子 注入设备，在对应工艺环节的中标比例为100%，华海清科中标的1台 研磨抛光设备，在对应工艺环节的中标比例为100%。2025年2月， 中科飞测中标的1台检测设备，在对应工艺环节的中标比例为33%。 2025年1-3月，统计样本中的国内半导体设备厂商合计中标4台设 备，统计样本中的国内半导体设备厂商合计中标量在对应工艺环节的 中标比例为57%。其中，华海清科的研磨抛光设备、中科信的离子注 入设备、中科飞测的检测设备在对应工艺环节的中标比例分别为 100%/100%/25%。