北方华创研究报告：先进制程扩产叠加政策支持，平台化布局加速成长.pdf

北方华创研究报告：先进制程扩产叠加政策支持，平台化布局加速成长。北方华创为国内平台型半导体设备龙头企业，持续受益于国产替代大潮和先进 制程扩产。经过不断的研发，公司逐步积累了刻蚀技术、薄膜沉积技术、氧化/ 扩散技术、清洗技术、晶体生长技术、精密气体计量及控制技术，以及高真空、 高压、高温热处理技术和高精密电子元器件工艺技术等核心技术，应用于集成电 路领域的刻蚀、薄膜、清洗和炉管设备不断实现技术突破和产业化应用，工艺覆 盖度及市场占有率持续提升。2023年公司新签订单超过300亿元，其中集成电 路领域占比超70%，在手订单饱满。

刻蚀：实现12英寸硅、金属、介质刻蚀机全覆盖。公司在ICP刻蚀领域已深耕 多年，已实现多个客户端大批量量产并成为基线设备。CCP介质刻蚀设备实现 逻辑、存储、功率半导体等领域多个关键制程的覆盖。

薄膜沉积：国内PVD设备先行者，实现了对逻辑和存储芯片金属化制程的全覆 盖。CVD设备方面，截至2023年底，已经实现30余款产品量产应用。

清洗和炉管：槽式清洗机实现工艺全覆盖，单片清洗机实现前段高端工艺新突破。 立式炉系列设备在逻辑和存储工艺制程应用也实现全面覆盖。

强化平台运营优势，公司量产交付水平不断提升，规模效应逐步显现，盈利能 力不断增强。经过多年的持续自主创新，公司成功研发了多款的半导体工艺设备， 刻蚀、薄膜、清洗和炉管设备已在多家客户实现稳定量产，并获得客户的一致认 可。公司净利率水平从2019年的9%，提升到2023年的18%。