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至纯科技（603690）研究报告：国内半导体清洗设备与高纯工艺系统龙头，前景可期.pdf

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2022/12/06
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开源证券

至纯科技（603690）研究报告：国内半导体清洗设备与高纯工艺系统龙头，前景可期。高纯工艺系统广泛应用于泛半导体及生物制药等领域。下游集成电路、光伏及生物制药行业产能扩张以及因技术进步带来的技术改造将为高纯工艺系统带来新的需求动力。客户依赖性强及高技术要求导致了较高的行业壁垒，从而行业呈现出高等级市场集中度较高、低等级市场分散的竞争格局。公司作为本土供应商，深耕高纯工艺系统，在客户资源、技术积累方面等均具有优势，未来增长可期。半导体清洗设备国产替代空间大，公司积极扩产，布局细分赛道，前景可期据SEMI数据及预测，2021年全球半导体设备销售额1026亿美元，同比增长44%，预计2022年达11...

标签：至纯科技半导体清洗设备清洗设备半导体

至纯科技（603690）研究报告：中国半导体清洗设备巨头高速成长，气体等半导体服务业务空间广阔.pdf

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2022/09/21
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光大证券

至纯科技（603690）研究报告：中国半导体清洗设备巨头高速成长，气体等半导体服务业务空间广阔。至纯科技是中国半导体清洗设备巨头企业。公司主业包括半导体制程设备、工艺支持设备的研发和生产销售，以及由此衍生的高纯工艺系统建设、电子材料、部件清洗及晶圆再生等服务。至纯科技半导体湿法清洗设备控股子公司至微科技通过增资扩股引入战略投资者，目前战略投资者持有至微科技比例约22%，增资方包括大基金二期、混改基金、中芯聚源、装备材料基金、芯鑫鼎橡、远致星火等。公司2022H1实现收入11.2亿元；实现扣非归母净利润0.97亿元，同比增长128%。公司2022年目标新增订单40亿元，其中湿法设备订单20亿元以...

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至纯科技（603690）研究报告：低估的半导体清洗设备龙头，布局零部件和服务业务寻求新增长点.pdf

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2022/09/16
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东吴证券

至纯科技（603690）研究报告：低估的半导体清洗设备龙头，布局零部件和服务业务寻求新增长点。公司主要从事高纯工艺系统和半导体湿法清洗设备，覆盖中芯国际、北京燕东、TI、华润等高端客户资源，业绩持续快速增长。1）收入端：2015-2021年营业收入CAGR为47%，2021年达到20.84亿元，同比+49%。2020年以来半导体清洗设备快速放量，2021-2022H1分别实现收入7.01和4.66亿元，分别同比+222%和+73%，2022H1收入占比达到42%，成为收入端增长重要驱动力。2）利润端：2015-2021年归母净利润CAGR达到59%，高于收入端。2022H1为0.81亿元，同比...

标签：至纯科技半导体清洗设备清洗设备半导体

芯源微（688037）研究报告：涂胶显影+清洗设备持续发力，前道市场突破打开成长空间.pdf

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2022/08/04
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华创证券

芯源微（688037）研究报告：涂胶显影+清洗设备持续发力，前道市场突破打开成长空间。公司是国内涂胶显影设备龙头，正发力清洗设备市场打开远期成长空间。公司自2002年成立起专注于半导体设备领域，2012年承担国家02重大专项“300mm晶圆匀胶显影设备研发”项目，2018年首台国产高产能前道涂胶设备出厂并在上海华力进行设备工艺验证，2019年前道用单片式清洗设备出厂并在中芯国际深圳厂进行设备工艺验证。目前公司在前道涂胶显影和物理清洗领域都取得突破性进展，其中涂胶显影设备已获得多个前道大客户订单及应用，下游客户覆盖逻辑、存储、功率器件及其他特种工艺等多家国内厂商，单片物理...

标签：芯源微涂胶显影清洗设备

盛美上海（688082）研究报告：从半导体清洗设备龙头到平台型设备企业.pdf

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2022/05/13
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中信证券

盛美上海（688082）研究报告：从半导体清洗设备龙头到平台型设备企业。半导体清洗设备龙头，技术国际领先。公司主要产品包括半导体清洗设备（2021年营收占比65.14%）、电镀设备和立式炉等其他半导体设备（占比16.88%）、先进封装湿法设备（占比13.44%）等，对应市场空间超70亿美元。其中半导体清洗设备为核心产品，2020年及之前占公司营业收入超过80%，公司坚持差异化竞争和创新的发展战略，全球首创SAPS、TEBO兆声波清洗等技术，在清洗设备领域，公司兆声波技术超越SCREEN、TEL、LAM等传统国际龙头，在国产设备厂商中获采购数量最多，未来有望随客户开拓继续提升份额。全面布局湿法设...

标签：盛美上海半导体清洗设备

盛美上海（688082）研究报告：清洗设备龙头，平台化初具规模.pdf

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2022/05/06
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国联证券

盛美上海（688082）研究报告：清洗设备龙头，平台化初具规模。半导体污染物对半导体制造生产良率影响重大，清洗步骤数量约占所有芯片制造工序步骤的33%，是制造工艺步骤中占比最大工序，且随着技术节点进步，清洗工序数量将继续提升。湿法清洗中的单片清洗设备由于清洗能力优秀在清洗设备中应用最广，市场份额最大。国产清洗设备市占率低下，国产清洗设备替代空间巨大目前日本Screen、东电等国外企业仍占据全球半导体清洗设备主要市场份额。公司2019年全球市占率3%，产品已获得海力士、华虹、长江存储等领先Fab厂重复订单，在华虹、长江存储近期招标中清洗设备中标率已超20%，仅次于Screen，认可度高。公司组合...

标签：盛美上海清洗设备

半导体清洗设备行业之盛美上海（688082）深度研究报告.pdf

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2022/01/13
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民生证券

盛美上海：国产半导体清洗设备龙头。通过差异化的开发，公司于湿法清洗领域获得了突破，同时在电镀、抛铜设备上崭露头角。公司近三年的营收增速迅猛，从2017年的2.54亿元增长到2020年的10.07亿元，年复合增长率高达58%。凭借先进的自研产品，公司与大量国际知名企业建立了密切的合作关系，华虹集团、长江存储、SK海力士、长鑫存储等企业都是公司的长期伙伴。21年来在多位海外新客户取得订单。

标签：盛美上海清洗设备半导体清洗设备电镀设备

盛美上海（688082）研究报告：晶圆厂扩产卖铲人，正在崛起的中国Lam.pdf

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2022/01/05
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方正证券

加速平台型设备企业布局，是国内半导体清洗设备的龙头企业。盛美上海基于多年自主研发的SAPS兆声波技术，实现清洗设备差异化，取得国内外海力士、中芯国际等头部企业的认可，并逐步拓展先进封装湿法、电镀和立式炉等设备，打造平台型设备企业。

标签：晶圆半导体清洗设备清洗设备电镀设备盛美上海

芯源微（688037）研究报告：精准卡位涂胶显影领域，受益国产化浪潮.pdf

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2021/12/29
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申万宏源研究

涂胶显影设备国内领先供应商，湿法设备布局有望打开第二成长曲线。公司产品主要包括涂胶显影设备（覆盖集成电路制造前道、后道及小尺寸领域），以及清洗设备。受益于行业景气度提升，公司开启加速成长阶段，公司营业收入从2016年1.48亿增长至2020年的3.29亿元，年均复合增长率为22%。受益于公司产品较高的技术壁垒及客户稳定性，2016-2020年，公司毛利率稳定在40%以上，盈利能力稳定。

标签：半导体半导体设备集成电路清洗设备芯源微

盛美上海（688082）研究报告：全球半导体清洗设备新星，平台化布局打开成长空间.pdf

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2021/12/08
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东吴证券

公司是本土半导体清洗设备龙头，掌握SAPS、TEBO、Tahoe等独创技术，技术水平全球先进，产品涵盖半导体清洗设备、先进封装湿法设备和半导体电镀设备三大类，已成功供货海力士、华虹集团、长江存储、中芯国际等国内外知名晶圆厂。下游客户持续突破同时，公司业绩实现快速增长：①收入端：2017-2020年营收CAGR为58.38%，2020年达到10.07亿元，收入规模快速扩大；②利润端：2017年归母净利润仅0.11亿元，2020年达到1.97亿元，2017-2020年CAGR高达162.65%，远高于收入端增速，盈利水平明显提升。

标签：盛美上海半导体清洗设备清洗设备电镀设备

盛美上海（688082）研究报告：引领半导体清洗设备国产化，加速平台化布局.pdf

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2021/11/25
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国金证券

盛美上海为国产半导体清洗设备龙头，下游客户主要为华虹半导体、长江存储、海力士等。公司是一家深耕半导体湿法设备的全球化布局企业，清洗设备占营收比例84%，并持续向半导体电镀设备和先进封装湿法设备、立式炉等方向拓展。2017-2020年收入/归母净利润CAGR分别为58%/62%，整体毛利率45%比肩ASML、AMAT等国际巨头。公司IPO发行4336万股，实际募资37亿元人民币投入设备研发制造中心、高端半导体设备研发项目，加码清洗、电镀、先进封装及炉管等设备的研发和生产。

标签：半导体清洗设备清洗设备半导体设备电镀设备盛美上海

盛美上海（688082）新股分析：国内清洗设备龙头，多产品线布局建立平台化优势.pdf

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2021/11/18
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招商证券

盛美上海是我国清洗设备行业龙头，单片清洗设备导入国内外主流晶圆厂，公司基于湿法技术推出电镀和先进封装产品线，外延拓展干法技术布局立式炉管。经过多年深耕，先进封装、电镀和炉管类等产品将在2022-2023年迎来快速放量。

标签：清洗设备半导体设备电镀设备盛美上海

盛美上海（688082）研究报告：半导体设备领先厂商，差异化发展拓宽空间.pdf

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2021/11/18
308
6
广发证券

半导体专用设备领先厂商，获国内外半导体行业龙头认可。公司成立以来，持续拓展产品线，已形成了以半导体清洗设备、半导体电镀设备、先进封装湿法设备和立式炉管设备为核心的产品线。得到了海力士、中芯国际、华虹集团等公司的订单，客户分布在晶圆制造、先进封装、半导体硅片制造及回收和科研院所等领域。

标签：半导体设备清洗设备电镀设备盛美上海

盛美上海（688082）研究报告：国内清洗设备龙头，加速布局平台化.pdf

3积分
2021/11/18
222
3
浙商证券

公司半导体设备平台化企业，是国内半导体设备的龙头企业，拥有较强的研发能力，产品得到国内外半导体头部企业的认可。公司从清洗设备出发，逐步拓展到半导体电镀设备、先进封装湿法设备和立式炉管等半导体设备，逐渐打造平台型半导体设备企业。

标签：清洗设备半导体设备电镀设备盛美上海

半导体清洗设备行业研究：芯片良率的重要保障，国产替代正当时.pdf

3积分
2021/11/18
1132
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安信证券

清洗步骤是芯片良率的重要保障，单片成为先进制程清洗设备的主流发展趋势：为了最大限度降低杂质对芯片良率的影响，在实际生产过程中不仅需要确保高效的单次清洗，还需要在几乎所有的制程前后都进行频繁的清洗，清洗贯穿硅片制造、晶圆制造、芯片封装各环节。根据清洗的介质不同，清洗技术可以分为湿法清洗和干法清洗两种，湿法清洗技术是目前市场上的主流清洗方法。根据结构，清洗设备主要包括单片清洗设备、槽式清洗设备、批式旋转喷淋清洗设备和洗刷器等，单片清洗具备良率高的优点，槽式清洗具备效率高的优点，单片清洗在先进工艺中逐步取代槽式清洗成为主流。根据东京电子的预测，预计未来单片清洗将占据主要份额。

标签：清洗设备半导体设备芯片

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