半导体制造核心的三大工艺分别是什么?

半导体制造核心的三大工艺分别是什么?

最佳答案 匿名用户编辑于2022/10/08 13:55

这个我知道,答案都来自报告《半导体设备行业之中微公司(688012)研究报告:刻蚀设备执牛耳者,MOCVD再创佳绩》,如果有兴趣了解更多相关的内容,请下载原报告阅读。

光刻工序是在匀胶工序(把光刻胶涂抹在薄膜上)后,将光罩上的图形转移到光刻胶的步骤;光刻后,经过显影工序, 光罩未覆盖部分的光刻胶被去除。

 刻蚀是通过物理和/或化学方法对薄膜进行精密加工,去除未被光刻胶覆盖的部分,从而将光刻胶上的图形转移到薄膜 的工艺,去除光刻胶后,即完成图形从光罩到晶圆的转移。

 薄膜沉积即在晶圆上沉积一层待处理的薄膜。 半导体制造需要此三大工艺循环往复数十次,将光罩上的设计图形逐层转移到晶圆上。

参考报告

半导体设备行业之中微公司(688012)研究报告:刻蚀设备执牛耳者,MOCVD再创佳绩.pdf

公司是国产刻蚀设备和MOCVD设备双龙头。中微公司成立于2004年,2019年7月登陆科创板。公司核心产品为刻蚀设备(集成电路制造关键设备)和MOCVD设备(LED/MiniLED外延关键设备),享有全球竞争力。2021年公司业绩快报披露实现营收31.08亿元(+36.7%),其中刻蚀设备、MOCVD设备收入分别为20.04亿元、5.03亿元,占比分别为64.5%、16.2%。2021年公司归母、扣非净利润分别为10.11亿元(+105.5%)和3.22亿元(+1281.9%)。近4年公司收入和归母净利润CAGR分别高达33.7%、140.9%,业绩保持高速增长。

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