华特气体各品类布局进展如何？

国产替代空间较大，公司不断加码新品类。

1.公司特气布局种类多，行业地位较为领先

公司的特种气体主要面向集成电路、显示面板、光伏新能源等产业，实现了包括高纯四氟 化碳、高纯六氟乙烷、光刻气、高纯二氧化碳、高纯一氧化碳、高纯氨等众多产品的进口 替代。公司专注于特种气体的研发，不断提高国内半导体材料行业的市场地位。据 23 年报， 公司产品已超 20 个供应到 14nm、7nm 等产线，并且公司的部分氟碳类产品、氢化物已进 入到 5nm 的先进制程工艺中使用并不断扩大覆盖范围。

2.光刻及混合气体：获得 ASML 和 GIGAPHOTON 认证，占据国内领先地位

光刻机是半导体制造的核心设备，光刻气体是光刻机产生深紫外激光的光源。不同的光刻 气能产生不同波长的光源，其波长直接影响了光刻机的分辨率，是光刻机的核心之一。公 司的拳头产品光刻气（Ar/Ne/Xe、Kr/Ne、F2/Kr/Ne、F2/Ar/Ne）通过了 ASML 和 GIGAPHOTON 的认证，是国内唯一通过两家认证的气体公司，主要对手包括林德集团、 液化空气集团、普莱克斯集团、凯美特气等。公司在光刻气上的突破年份为 2014 年，量产 年份为 2016 年，主要通过外购粗品纯化的方式进行生产，直接材料成本占比较高。据中国 电子材料行业协会，2017 年公司在国内光刻气市场占有率达到 60%，并且此后一直维持较 高市占率。 光刻气的制备主要涉及两个过程：1、纯化：对原料中的杂质通过物理吸附、化学反应消耗 吸附，进行纯化；2、混配：根据特定的浓度配比计算组分重量，通过精密压力表、电子秤 等进行混配。技术指标上，与混合气中国家标准要求最高的标准气相比，标准气的控制误 差在±5%以内，1 年内量值变化不超过 1%（不含 F2），而公司的光刻气能实现误差控制±2% 以内，Kr/Ne、Ar/Ne 混合气 2 年内量值变化不超过 1%（不含 F2），Ar/F/Ne、Kr/F/Ne（含 F2）的 1 年内量值变化不超过 1%。以光刻气为例，公司的 Ar/F/Ne、Ar/Ne、Kr/Ne 等光 刻气产品的配气误差可控制在±2%以内，组分气从 5N（99.999%）纯化到 5N5（99.9995%）， 对于充装管线上的颗粒物过滤控制，可以控制 0.003μm 颗粒，达到国际先进水平。

据公司公告，公司 21 年光刻气产能 3288.20 吨，在投项目中超纯氪气/氖气/氙气/氦气稀有 气体共 135 吨，预计 25 年投产。23 年公司光刻气销量 2961 吨，同比+14%，均价 8.5 万 元/吨，同比-63%，22 年均价为 23 万元/吨主要系 22 年上半年俄乌冲突下供给端受限，造 成在供需错配情况下价格大幅波动。未来在下游半导体行业增长下光刻气销量有望增长。

3.氟碳类气体：刻蚀类重要气体，公司积极布局新品类

干法刻蚀常用到氟碳类气体，常用的氟碳化合物有三种，即饱和氟碳化合物、不饱和氟碳 化合物、氢氟烃类（HFCs）。由于饱和氟碳化合物和氢氟烃类均面临着大气温暖化潜值 （GWP）高，逐渐受到环境保护部门的管控，六氟丁二烯等不饱和氟碳化合物的应用逐渐 开启，也有一些氢氟烯烃类（HFOs）和掺了杂原子的气体产品可能被应用。

六氟乙烷具有高蚀刻率、高精确性、高稳定性等优点，被广泛应用在半导体与微电子工业 中的等离子蚀刻气体、器件表面清洗剂，还可用于光纤生产与低温制冷等，可以极好地满 足线宽较小的制程的要求。中国的六氟乙烷主要依赖进口，国产替代空间较大，国内半导 体级六氟乙烷生产企业主要有华特气体（6N）、中船特气（5N）等。四氟化碳是微电子行 业中用量最大的等离子蚀刻气体之一，广泛用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等 薄膜材料的蚀刻与清洗，在刻蚀 SiO2 方面具有独有优势。国内生产四氟化碳的企业主要有 雅克科技、福建德尔、昊华科技、华特气体等，公司 23年拥有六氟乙烷/四氟化碳产能550/400 吨，纯度分别为 6N/5N。

六氟丁二烯的 C/F 比最高，具有高选择性、高蚀刻精度、高蚀刻效率、低环境污染等优点， 《中国氟化工行业“十三五”规划》中将 C4F6 列为下一代蚀刻气体的主要候选物，既可 满足蚀刻技术的发展要求，又可最大程度地减少对环境影响。2019 年前，六氟丁二烯国内 主要以进口为主，伴随中船特气、中巨芯等国产企业陆续投产，国产化率有所提高。据日 本富士经济统计数据，2021 年全球市场需求为 900 吨，2026 年有望达到 4000 吨以上， CAGR 达 35%。国内南大光电、金宏气体等企业开始布局，公司六氟丁二烯已达到小试阶 段，未来有望建设 4N 级合成纯化生产线。据 23 年报，公司高纯二氟甲烷进入规模化建设 阶段，八氟环丁烷产品规模化生产阶段，六氟丙烷在小试阶段。

4.氢化物：种类繁多，公司布局高价值量品种

氢化物产品主要包括硅烷、乙硅烷、锗烷、高纯氨等。据公司公告，23 年公司氢化物销量 2619 吨，同比-1%，均价 9.3 万元/吨，同比+13%。在投项目中，公司气体中心建设及仓储 经营项目中的锗烷/硒化氢/磷烷/砷烷/乙硼烷产能分别为 10/40/10/10/3 吨，预计 24 年将逐步 贡献业绩；1764 吨半导体材料建设项目中的电子级溴化氢/超高纯氢气产能分别为 300/9 吨， 预计 25 年投产；电子化学品生产基地项目中的高纯氨/乙硼烷/超高纯氢气产能分别为 10000/10/10 吨，预计 26 年投产。

乙硅烷相较于目前所用的甲硅烷，具有更高薄膜的致密度，可大幅提高沉积薄膜的平滑性、 连续性及良好掺杂兼容性等。目前乙硅烷以进口为主，核心厂商主要包括三井化学，液化空 气集团，台湾特品化学，SK Materials 等。据 Global Info Research，2021 年中国/全球乙硅 烷市场规模分别为 0.4/2.0 亿美元，预计 2028 年分别达到 1.1/4.5 亿美元，CAGR 分别为 14%/13%。随着 14nm、7nm 制程占比提高，在更多场景下将用乙硅烷替代硅烷的应用。据 公司公告，乙硅烷售价高达数千万元/吨，公司布局 15 吨产能对应数亿元产值。据 23 年报， 公司 4N8 乙硅烷项目已处于量产线建设中。据环评书，特品化学已建产能 26.4 吨。

锗烷也仍以进口为主，且价值量较高。据公司公告，2019 年锗烷价格达 2700 万/吨。据百川 盈孚，锗烷原料二氧化锗 24H1 均价达 679 万元/吨。从供给端来看，法国液化空气集团收购 Voltaix 后成为全球最大的锗烷供应商。公司现有锗烷产能 10 吨，锗烷已成功打入了海力士、 三星等并产生订单，并由纯化环节向上游合成环节延伸。未来伴随下游增长，乙硅烷、锗烷 等高价值量氢化物将陆续为公司贡献利润。