存储器行业专题研究：3D NAND技术演进及产业格局.pdf
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- 时间：2019/11/05
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国内设备厂商在刻蚀机、物理气相沉积设备(PVD)、等离子体增强化学气相 沉积(PECVD)、立式炉设备、清洗机设备、干法去胶设备、化学机械抛光设备等主要领域都实现了突破，代表性的企业包 括刻蚀设备龙头A公司、北方华创、盛美半导体、Mattson、沈阳拓荆、、华海清科等
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