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中科仪公司研究报告：国产半导体真空泵龙头，技术壁垒深厚，为“专精特新”小巨人。中科仪是中国领先的半导体制造设备核心部件提供商及真空科学仪器设备供应商，主营业务涵盖干式真空泵和真空科学仪器设备的研发、生产、销售及相关技术服务。公司起源于 20 世纪50 年代中国科学院下属真空科研单位，实际控制人为中国科学院控股有限公司，国家集成电路产业投资基金为公司第二大股东。干式真空泵为公司主要收入来源，主要客户覆盖长江存储、长鑫科技、中芯国际、北方华创、隆基绿能等头部企业。

干式真空泵行业受半导体、光伏及大科学装置需求拉动，国产替代加速，市场空间持续扩大。全球集成电路市场规模预计2026年将增至8,743亿美元，中国大陆半导体设备市场已连续四年成为全球最大市场，2024 年市场规模达495.5 亿美元。据测算，2024 年全球集成电路领域干式真空泵需求约12.57万台，市场规模约 125.74 亿元；中国大陆需求约5.21 万台，市场规模约52.11亿元。光伏产业在"双碳"目标驱动下中长期向好，2024 年我国光伏新增装机277.57GW。全球干式真空泵市场长期由英国Edwards、日本Ebara等外资巨头垄断，但国产厂商正加速追赶。此外，我国科研经费投入持续高速增长，2024 年全社会研发投入达 36,130 亿元，国家重大科技基础设施建设进入快速发展期，为真空科学仪器带来巨大市场需求。

中科仪是国内半导体真空装备龙头，具备显著的技术积淀与市场竞争优势。公司是国内唯一在集成电路先进制程实现干式真空泵批量应用的国产企业，也是唯一在清洁、中等、苛刻工艺均实现批量应用的国产企业，产品满足 14nm 先进逻辑芯片及 128 层以上 3DNAND 存储器工艺需求，已在中芯国际、长江存储、台积电、SK 海力士等国内外领先企业实现大批量应用或小批量出货，打破欧美及日本企业长期垄断。公司拥有真空技术装备国家工程研究中心等三个国家级研发平台，构建了包含1500 多项生产工艺的应用方案数据库，集成电路领域干式真空泵出货量超3 万台。公司已形成沈阳、南通双基地架构，2025 年产能达 10,000 台，募投项目达产后总产能将达2.65万台。同时，公司是国内具备整合 SUBFAB 全类型设备数据能力的龙头企业，客户验证周期长、门槛高所形成的客户资源壁垒显著，全方位服务体系与高素质人才团队支撑公司持续发展。