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中科仪公司研究报告：半导体干式真空泵国产替代龙头，募投产能释放与技术迭代共驱成长。中科仪：国内干式真空泵集成电路领域出货量最大，唯一实现先进制程 批量应用的国产企业。中科仪作为中国科学院下属企业，长期专注于洁 净与超高真空技术研发，是国内领先的半导体核心部件及真空科学仪器 供应商。公司干式真空泵已满足 14nm 逻辑芯片及 128 层以上 3D NAND 工艺要求，在国内主流晶圆厂批量应用，出货量居国产厂商首位，并进 入台积电、SK 海力士等知名厂商供应链；同时为北京正负电子对撞机、 上海光源等 11 项国家重大科技基础设施提供关键真空组件，在科研级 MBE 设备领域保持领先地位。公司产品广泛应用于半导体、光伏、科研 等领域，具备自主可控的全链条制造能力。

国家战略支持叠加自主化加速，半导体零部件及科学仪器领域前景广 阔。在半导体产业自主化与清洁能源转型驱动下，干式真空泵作为集成 电路及光伏制造核心设备，迎来国产替代与市场扩容双重机遇。1）集 成电路领域：2024 年全球市场规模达 125.74 亿元，中国大陆达 52.11 亿 元，受益于先进制程扩产与国产设备导入。2）光伏领域：2024 年中国 市场规模约 47.0-57.2 亿元，晶硅电池生产中晶体生长与电池片制造工 序形成稳定需求，受新增装机高增长及技术迭代带动设备更新。

自主核心技术与先进制程批量应用优势，受益半导体设备国产替代红 利。1）多领域产品矩阵：形成了以高端干式真空泵为核心、多品类协 同的产品体系，其中，干式真空泵产品主要为罗茨干泵，广泛支持国内 外主流设备厂商机台；真空薄膜仪器设备产品主要包括 PVD、CVD 设 备，主要面向高等院校、科研院所等科研机构进行薄膜材料的研究与小 批量制备；并向高能物理大科学装置提供前端区、光束线、波荡器、真 空互联及传输系统等关键部件。2）行业领先地位：牵头或参与编制 13 项国家、行业与团体标准，2024 年公司在集成电路领域干式真空泵收入 达 6.63 亿元，测算国内市场占有率约 12.72%，为国产厂商中最高。产 品已大批量导入国内知名半导体设备厂商及光伏厂商，经过长期产线运 行验证，具备高可靠性与工艺适配能力。3）募投项目赋能成长：募投 项目建成后将形成年产 2 万台干式真空泵的生产能力，实现物流移动 50%自动化，90%以上加工产线的自动化及智能化；并建设高端半导体 设备生产、研发及配套设施，布局集成泵组系统与大尺寸分子束外延设 备，丰富产品矩阵。