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芯源微（688037）研究报告：涂胶显影突破垄断，尽享充裕市场空间。芯源微 2022 年营收增长 67.12%，三年复合增长率约为 87.3%， 我们认为公司作为国内涂胶显影设备和单片式湿法设备头部企 业，将在半导体设备国产化的趋势下快速发展。

涂胶显影设备国内厂商独家，突破日系厂商垄断

根据中商产业研究院，当前中国大陆涂胶显影市场日本厂商 TEL、DNS 占据了超过 95%市场，芯源微是国内唯一上榜的企业。 根据公司年报，2022 年公司前道涂胶显影机签单实现了快速放 量，其中 offline、I-line、KrF 机台均实现批量销售，完成晶 圆加工环节 28nm 及以上工艺节点全覆盖。随着公司产品的不断 成熟，同时叠加国际贸易的不确定性增强，国内越来越多的晶圆 厂正在加速公司前道涂胶显影机的导入进程。

我们认为芯源微在涂胶显影技术处于国内领先，并不断升级精 进，涂胶显影设备一般与光刻机紧密配合，积累的技术经验也是 芯源微重要的竞争壁垒。面对广阔的市场空间，涂胶显影设备国 内市场份额有望实现快速提升。

前道物理清洗行业领先，化学清洗持续研发

芯源微前道单片式物理清洗设备可用于 28 nm 及以上工艺节点， 凭借其高产能、高颗粒去除能力、高性价比等优势受到下游客户 的广泛认可，并确立了市场领先优势。目前在清洗领域化学清洗 占主流。芯源微尝试拓展产品线，在化学清洗品类寻求突破，研 发在 28nm 以下工艺节点的应用。

我们认为芯源微在巩固物理清洗的基础下，积极探索更广阔的化 学清洗市场，打开了未来成长空间。