半导体零部件之阀门行业研究：国产替代方兴未艾，优质厂商有望快速放量.pdf

半导体零部件之阀门行业研究：国产替代方兴未艾，优质厂商有望快速放量。阀门为真空和流体系统核心零部件之一，要求极为严苛。阀门是半导体真空 系统和流体系统中的核心元件，起到开闭、控制流量/流向、调节压力等作 用。阀门种类众多，如真空阀按作用可分为隔离阀、控制阀、传输阀等，按 工作方式则包括闸阀、角阀、蝶阀、摆阀、球阀等；流体系统中则需要用到 隔膜阀、调压阀、波纹管阀、单向阀等。半导体对阀门要求极为严苛，对密 封性、真空度、洁净度等参数指标都有极高要求，尤其是流体系统中的隔膜 阀等产品，要求超高纯、耐腐蚀、流体控制精度高等，在材料的选择、表面 处理等方面都给厂商带来了较大的难度。

全球市场空间巨大，海外厂商主导。全球半导体阀（不含调压阀 regulators） 市场规模近21亿美元，市场空间较大，其中各类真空阀合计约十多亿美元， 隔膜阀约 5+亿美元，其余为单向阀等。此外。若再加上流体系统中应用较多 的调压阀，则整体市场规模将比21亿美元要再高出不少。半导体阀市场整体 上由海外厂商主导，真空阀领域主要是瑞士 VAT 一家独大，占据全球七成以 上份额，而流体系统的隔膜阀、调压阀等产品主要由美国 Swagelok、美国 Parker Hannifin、日本 Fujikin 等厂商主导，国内厂商整体上市占率还相对较 小，尤其是在流体系统阀门还处于刚突破的起步阶段。

半导体阀国产替代方兴未艾，优质厂商有望迎来快速放量。当前趋势下美国 不断加大对我国半导体产业的限制，尤其是半导体设备进口受到明显影响， 而作为半导体设备上游的零部件环节，其供应稳定性也在逐渐面临越来越大 的风险，因此设备厂商对于零部件自主可控的紧迫性也愈发凸显。半导体阀 作为目前国产化率还相对较低的关键零部件，尤其是流体系统阀门市场美国 厂商地位突出，更是亟待国产替代。国内部分优质厂商如新莱应材不断突 破，正面临着国产替代加速的良机，有望迎来快速放量。